ZnO薄膜的溶胶—凝胶法制备及其光学性质研究

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ＺＯ薄膜的溶胶一凝胶法制备ｎ及其光学性质研究
吴云沛，国营，罗时军刘
（北汽车工业学院理学系，湖北十堰４２０）湖４０２
ＰｒｐａａｉｎｆＺｎＯｅｒｔｏｏＴｈｉＦｉｍｓｂｌｅｅｈｏｎｄｎｌｙＳｏ－ｇｌＭｔｄａＲｅｅｒｈｆＯｐｔｃｌＰｒｐｅｔｅｓａｃｏｉａｏｒｉｓ
ＷｕＹｎｅ，ｉＧｏｉｇＬｏＳｉｎｕｐｉＬｕｕｙｎ，ｕｈｕｊ
光谱表明在带隙处存在吸收边：Ｐ从Ｌ光谱观察到了显著的紫外发射峰。
关键词：溶胶一凝胶法：ＺＯ薄膜：光学性质ｎ
中图分类号：４４０８．４
文献标志码：Ａ
文章编号：０８５８（０００ — ０５０１０ — ４３２１）３０５ — ４
摘
要：用溶胶一凝胶法分别在透明玻璃和Ｓ衬底上制备出了ＺＯ薄膜。分别采用Ｘ射线衍射仪（Ｒ、采ｉｎＸＤ）能
量分散谱仪（Ｄ）紫外可见分光光度计和荧光光谱仪对所制样品进行测试，究了样品的结构特性、分和光ＥＳ、研成学特性。Ｘ射线衍射结果表明．制备的ＺＯ薄膜为六角纤锌矿结构：ｎ薄膜的ＥＳ能谱图表明薄膜包含Ｏ元所ｎＺＯＤ素和ｚｎ元素；射光谱表明ＺＯ薄膜质量高，可见光范围内具有较高的透射率，均透射率在８％以上：收透ｎ在平５吸
第２卷第３期４
２０年９月０１
湖北汽车工业学院学报
ＪｕｎｌｆＨｕｅＡｕｏｔｅＩｄｓｒｅｎｔｕｅｏｒａｂｉｔｍｏｉｎｕｔｓＩＮｏ３Ｉ２．
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