单晶炉异常处理操作
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日常状况三：电极故障报警
在装热场时，加热器和电极之间有粉尘之类的东西或有直接 接触。这样就会导致炉子报电极故障报警。 而在拉制单晶的熔料过程中，发生电极故障报警时，如果刚 刚开始，停止加热，测量加热器绝缘电阻，如果正常继续加 热，接下来我们就要注意观察电流曲线的变化了，一旦出现 波动过大就要及时向上级报告，以防出重大的事故。
(注意：用氦质谱检验法时检漏次序要从上到下，从靠近 检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行)
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日常状况七：液压泵的问题
当副室、炉盖和主炉室升不起、下降不了、速度太快或太 慢时，我们首先要查看各限位是否正常，然后再排除电气 故障，最后就会是液压泵的问题了。其故障原因有： 1. 液压泵里的油太少，液压泵有漏油点 2. 油压太高或太低
B类事故处理方法
单晶炉局部超温，设备会第一时间发出报警并在模拟面板 上指示出具体超温位置，操作人员应及时报告班组长或机 修人员进行疏通。
水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后 ，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路 事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。
应当按照相关操作规程操作，并由班里指定人员通知相关 部门和领导。
在出现断电断水的时候，我们如果处理的好是不会出现漏硅的。这时 要采取以下方法： 1. 首先马上通知动力部发电或冷水班启动冷却水备用水，保证炉内
冷却水循环正常。 2. 关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。 3. 手动将坩埚位置下降30-40mm，使晶体脱离液面。（可调节下轴
升将旋转手柄，顺时坩埚轴下降，逆时针坩埚轴上升）先将籽晶 上升，待液面结晶时再将坩埚上升至坩埚最高位置。（以防涨破 加热器）
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单晶炉异常的分类
单晶炉异常主要分为以下两类： 一、 突发状况 二、 日常状况5Fra bibliotek突发状况
突发状况主要有以下几点： 1. 断电断水引起漏硅。 2. 晶棒掉落。 3. 真空泵皮带轮松脱，皮带断裂。 4. 冷却水水管爆裂或脱落。
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突发状况一：断电断水引起漏硅
当单晶炉出现这种现象时，已经是属于严重的会危及人员生命安全和 引起重大财产损失的事故了。这时首先要将加热器和真空泵关闭，再 打开快充氩气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。
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日常状况四：晶晃和液晃过大问题
晶晃和液晃这两种现象会发生在整个拉晶的各个阶段：引 晶/等径/收尾。其产生的原因有很多，主要有： 1. 钢丝绳老化 2. 提拉部位水平、对中不行 3. 炉体、坩埚轴水平不行，轴摆过大 4. 坩埚轴、丝杆、导轨本身出了问题 5. 热场、气流影响 针对以上的原因我们要一步一步的检查、重新调试好炉子。
培训对象：硅单晶机修电工 培训讲师：习勇
硅单晶分厂
内容
1.单晶炉异常处理操作
培训目的 单晶炉异常分类 突发状况 日常状况
2.单晶炉安全常识
安全基本原则 安全事故分类 单晶机修安全操作规程
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一、单晶炉异常操作
培训目的
为进一步改善硅单晶分厂现场管理秩序，根据 公司的岗位编制， 公司培训中心组织开展生产 部门关键岗位上岗资格认证工作 。其目的是使 员工技能知识得到丰富，工作技能得到提高， 从 而确保硅单晶更好的生产。
下面是24#炉漏硅图片：
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24#炉漏硅现象
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突发状况二：晶棒掉落
晶棒掉落主要产生的原因是： 1. 籽晶断裂。 2. 钢丝绳断裂。 其处理方法是： 1. 关闭加热器和真空泵。 2. 将坩埚升至最高位，以防结晶时撑破三瓣锅和加热器。 3. 籽晶断裂时，注意观察是否漏硅，再看拉晶时间、晶体
单晶机修安全操作规程（暂）
蹲在地上或设备下面工作时，应戴上安全帽，站起来时应 慢慢站起，同时要注意顶部和周围，以防碰伤。
二人或以上维修时，要注意相互间的配合，搬运重物时， 要注意不要闪着腰。
发现电气设备损坏或失灵时，机修要及时通知电气人员修 理，严禁无证上岗。
设备在运转时不能接触机器的传动部分，禁止在设备运转 时维修运转部位。
长度来决定是否回溶重新拉晶。
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钢丝绳断裂
钢丝绳断裂
籽晶断裂
突发状况三：真空泵皮带轮松脱，皮带断裂
真空泵皮带轮松脱的原因是由于①皮带轮前的螺母松动从而使 其松脱的,②销子和销子槽损坏引起。这就要求我们多巡视，发 现情况及时处理。(因为真空泵皮带轮松脱，皮带断裂，将会引 起严重的后果，我们将无法正常拉制单晶) 下组图是26#真空泵皮带轮松脱的现象：
日常状况
日常状况主要有以下几点： 1. 水温过高报警 2. 炉压过高报警 3. 电极故障报警 4. 晶晃和液晃过大问题 5. 极限真空抽不下的问题 6. 泄露率过大的问题 7. 液压泵的问题
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日常状况一：水温过高报警
在拉制单晶的过程中，我们有时会发现水温过高报警。产 生原因有: 1. 冷水塔进水水温偏高 2. 冷却水或管道中有杂质将局部直径较小的水管堵塞 3. 进水和回水之间的压力值相差太小 根据以上产生原因，我们分别要采用以下方法来处理： 1. 向上级报告并通知冷水班将进水水温调低 2. 关闭并拔出堵塞处的进水管，利用回水压力冲出杂质
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日常状况六：泄露率过大的问题
当极限真空可以抽下，而检漏时却泄漏过大时，其原因 主要有： 1. 密封圈未擦拭干净或有微损 2. 波纹管有漏 3. 炉体本身有泄漏点
在检漏时我们要采取分节检漏，要做到细心、耐心。大 漏用静压升压检验法（泄漏率在100MTORR以上），小 漏就要用氦质谱检验法（泄漏率在100MTORR以下50MTORR以上）会更好的处理问题！
单晶机修安全操作规程（暂）
真空泵在运行时，严禁放油。炉子在正常运转拉晶时， 严禁爬上梯子检查设备。 随时检查各种工具处于完好状态，不准用扳手或其它工 具当锤子使用。
Thanks！
A类事故处理方法2
长时间断电时，先将晶体上升，再将坩埚上升至适当位 置，等完全冷却后再拆炉。
电器意外短路起火时应立即切断主电源，并大声求助， 第一时间通知现场的最高领导，并报告安全办、及时抢 救。
出现漏硅时首先将加热器和真空泵关闭，再打开快充氩 气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。
B类事故
炉体局部超温 炉体冷却水水管爆裂或脱落 区域性电力闪断或水压气压偏低
压伤、扭伤、摔伤时应立即进行简单处理，不能处理的通 知班组长何现场管理值班人员。
单晶机修安全操作规程（暂）
严格执行公司的安全工作规程。 积极配合操作工处理炉子出现的问题，保证设备完好运转。 维修设备时，必须挂上严禁开机类的安全标示牌，必要时切 断电源卸下皮带，防止在维修时出现安全事故。 设备维修完毕后，在试开钱，应将维修时松过的部位都检查 一遍螺丝是否旋紧，以免运转时发生事故。 维修时拆下的零配件，做好标识后，一定要送到规定的地点 ，不准随便乱丢，地面油污要擦洗干净，以防滑跌伤人。
安全事故分类
根据单晶炉区的生产流程和工作环境对可能发生的事故作 如下分类： A类：会危及人员生命安全和引起重大财产损失的事故 B类：对人员产生较严重伤害以及较严重的设备事故 C类：对人员不会产生严重伤害以及轻微设备事故
A类事故
区域性断水断电 电气意外短路起火 漏硅
A类事故处理方法1
出现断电断水时马上通知动力部发电或冷水班启动冷却备 用水，保证炉子冷却水循环正常。 关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。 手动降坩埚30-40MM，使晶体脱离液面。 短时间断电的话，在电源恢复正常后，启动真空泵，缓慢 打开抽空阀门，打开氩气充气阀至设定值，开启加热电源 ，将功率设定到熔料功率。 将须回熔的晶体按回熔操作步序操作。 不须回熔的晶体按规定时间进行冷却。 回熔或隔离结束后，按正常拉晶程序操作。
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日常状况五：极限真空抽不下的问题
拉制单晶过程中，会发生上一炉正常，而下一炉极限真空抽不 下的现象，这主要是由于： 1. 单晶炉某个密封部件未装好或有破损 2. 下真空管路有泄漏 3. 真空泵油太脏、太少或断水 根据这些原因，我们就要采取： 1. 从新安装好密封部件或将其更换 2. 找到泄漏点并将其修复 3. 将真空泵的油更换或加油，找到断水原因并修复
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二、单晶炉安全常识
安全基本原则
树立安全第一的基本思想，贯彻安全责任重于泰山的精神。
对于安全的保障要以预防为主，当安全事故发生时要按照应 急预案，服从统一指挥，以达到最大限度的自救，做到提前 发现问题并及时整改。
要以优先保护人身安全、优先保护大多数人身安全、优先保 护贵重财产为主的抢救原则。
要达到使紧急情况不扩大，尽可能地排除它们、尽可能地减 少事故造成的人员伤亡和财产损失。
C类事故
硅料、冷坩埚碎片掉入眼中 被高温烫伤 员工工作时不慎的压伤、摔伤、扭伤。
C类事故处理方法
第一时间分开眼睑叫他人用嘴吹去或用纸巾粘除，切记不 可用手擦，并同时叫周边员工报告班组长，由现场管理值 班人员进行评估，必要时报告厂安全办。
烫伤时应当立即用自来水冲洗30分钟左右，处理不了的应 及时报告班组长和现场管理值班人员。
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突发状况四：冷却水水管爆裂或脱落
冷却水水管爆裂或脱落的主要原因是①水管抱箍松动或损 坏②进水压力太高③水管本身有破损或老化④限位开关失 灵
水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后 ，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路 事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。
在不可以停炉时，应迅速的将坏水管更换。以防出现大事 故。
，再将水管复位 3. 开大进水压力。（让进出水压差为1.5-2.0）
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日常状况二：炉压过高报警
炉压过高的原因主要是： 1. 真空泵油太脏或太少 2. 除尘筒未清理干净 3. 真空管路太脏 在没办法停炉时，我们可以采取保压，将真空泵关闭，然 后迅速将真空泵、除尘筒问题处理。 （注意：时间一定要控制在10分钟之间）
日常状况三：电极故障报警
在装热场时，加热器和电极之间有粉尘之类的东西或有直接 接触。这样就会导致炉子报电极故障报警。 而在拉制单晶的熔料过程中，发生电极故障报警时，如果刚 刚开始，停止加热，测量加热器绝缘电阻，如果正常继续加 热，接下来我们就要注意观察电流曲线的变化了，一旦出现 波动过大就要及时向上级报告，以防出重大的事故。
(注意：用氦质谱检验法时检漏次序要从上到下，从靠近 检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行)
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日常状况七：液压泵的问题
当副室、炉盖和主炉室升不起、下降不了、速度太快或太 慢时，我们首先要查看各限位是否正常，然后再排除电气 故障，最后就会是液压泵的问题了。其故障原因有： 1. 液压泵里的油太少，液压泵有漏油点 2. 油压太高或太低
B类事故处理方法
单晶炉局部超温，设备会第一时间发出报警并在模拟面板 上指示出具体超温位置，操作人员应及时报告班组长或机 修人员进行疏通。
水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后 ，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路 事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。
应当按照相关操作规程操作，并由班里指定人员通知相关 部门和领导。
在出现断电断水的时候，我们如果处理的好是不会出现漏硅的。这时 要采取以下方法： 1. 首先马上通知动力部发电或冷水班启动冷却水备用水，保证炉内
冷却水循环正常。 2. 关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。 3. 手动将坩埚位置下降30-40mm，使晶体脱离液面。（可调节下轴
升将旋转手柄，顺时坩埚轴下降，逆时针坩埚轴上升）先将籽晶 上升，待液面结晶时再将坩埚上升至坩埚最高位置。（以防涨破 加热器）
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单晶炉异常的分类
单晶炉异常主要分为以下两类： 一、 突发状况 二、 日常状况5Fra bibliotek突发状况
突发状况主要有以下几点： 1. 断电断水引起漏硅。 2. 晶棒掉落。 3. 真空泵皮带轮松脱，皮带断裂。 4. 冷却水水管爆裂或脱落。
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突发状况一：断电断水引起漏硅
当单晶炉出现这种现象时，已经是属于严重的会危及人员生命安全和 引起重大财产损失的事故了。这时首先要将加热器和真空泵关闭，再 打开快充氩气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。
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日常状况四：晶晃和液晃过大问题
晶晃和液晃这两种现象会发生在整个拉晶的各个阶段：引 晶/等径/收尾。其产生的原因有很多，主要有： 1. 钢丝绳老化 2. 提拉部位水平、对中不行 3. 炉体、坩埚轴水平不行，轴摆过大 4. 坩埚轴、丝杆、导轨本身出了问题 5. 热场、气流影响 针对以上的原因我们要一步一步的检查、重新调试好炉子。
培训对象：硅单晶机修电工 培训讲师：习勇
硅单晶分厂
内容
1.单晶炉异常处理操作
培训目的 单晶炉异常分类 突发状况 日常状况
2.单晶炉安全常识
安全基本原则 安全事故分类 单晶机修安全操作规程
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一、单晶炉异常操作
培训目的
为进一步改善硅单晶分厂现场管理秩序，根据 公司的岗位编制， 公司培训中心组织开展生产 部门关键岗位上岗资格认证工作 。其目的是使 员工技能知识得到丰富，工作技能得到提高， 从 而确保硅单晶更好的生产。
下面是24#炉漏硅图片：
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24#炉漏硅现象
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突发状况二：晶棒掉落
晶棒掉落主要产生的原因是： 1. 籽晶断裂。 2. 钢丝绳断裂。 其处理方法是： 1. 关闭加热器和真空泵。 2. 将坩埚升至最高位，以防结晶时撑破三瓣锅和加热器。 3. 籽晶断裂时，注意观察是否漏硅，再看拉晶时间、晶体
单晶机修安全操作规程（暂）
蹲在地上或设备下面工作时，应戴上安全帽，站起来时应 慢慢站起，同时要注意顶部和周围，以防碰伤。
二人或以上维修时，要注意相互间的配合，搬运重物时， 要注意不要闪着腰。
发现电气设备损坏或失灵时，机修要及时通知电气人员修 理，严禁无证上岗。
设备在运转时不能接触机器的传动部分，禁止在设备运转 时维修运转部位。
长度来决定是否回溶重新拉晶。
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钢丝绳断裂
钢丝绳断裂
籽晶断裂
突发状况三：真空泵皮带轮松脱，皮带断裂
真空泵皮带轮松脱的原因是由于①皮带轮前的螺母松动从而使 其松脱的,②销子和销子槽损坏引起。这就要求我们多巡视，发 现情况及时处理。(因为真空泵皮带轮松脱，皮带断裂，将会引 起严重的后果，我们将无法正常拉制单晶) 下组图是26#真空泵皮带轮松脱的现象：
日常状况
日常状况主要有以下几点： 1. 水温过高报警 2. 炉压过高报警 3. 电极故障报警 4. 晶晃和液晃过大问题 5. 极限真空抽不下的问题 6. 泄露率过大的问题 7. 液压泵的问题
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日常状况一：水温过高报警
在拉制单晶的过程中，我们有时会发现水温过高报警。产 生原因有: 1. 冷水塔进水水温偏高 2. 冷却水或管道中有杂质将局部直径较小的水管堵塞 3. 进水和回水之间的压力值相差太小 根据以上产生原因，我们分别要采用以下方法来处理： 1. 向上级报告并通知冷水班将进水水温调低 2. 关闭并拔出堵塞处的进水管，利用回水压力冲出杂质
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日常状况六：泄露率过大的问题
当极限真空可以抽下，而检漏时却泄漏过大时，其原因 主要有： 1. 密封圈未擦拭干净或有微损 2. 波纹管有漏 3. 炉体本身有泄漏点
在检漏时我们要采取分节检漏，要做到细心、耐心。大 漏用静压升压检验法（泄漏率在100MTORR以上），小 漏就要用氦质谱检验法（泄漏率在100MTORR以下50MTORR以上）会更好的处理问题！
单晶机修安全操作规程（暂）
真空泵在运行时，严禁放油。炉子在正常运转拉晶时， 严禁爬上梯子检查设备。 随时检查各种工具处于完好状态，不准用扳手或其它工 具当锤子使用。
Thanks！
A类事故处理方法2
长时间断电时，先将晶体上升，再将坩埚上升至适当位 置，等完全冷却后再拆炉。
电器意外短路起火时应立即切断主电源，并大声求助， 第一时间通知现场的最高领导，并报告安全办、及时抢 救。
出现漏硅时首先将加热器和真空泵关闭，再打开快充氩 气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。
B类事故
炉体局部超温 炉体冷却水水管爆裂或脱落 区域性电力闪断或水压气压偏低
压伤、扭伤、摔伤时应立即进行简单处理，不能处理的通 知班组长何现场管理值班人员。
单晶机修安全操作规程（暂）
严格执行公司的安全工作规程。 积极配合操作工处理炉子出现的问题，保证设备完好运转。 维修设备时，必须挂上严禁开机类的安全标示牌，必要时切 断电源卸下皮带，防止在维修时出现安全事故。 设备维修完毕后，在试开钱，应将维修时松过的部位都检查 一遍螺丝是否旋紧，以免运转时发生事故。 维修时拆下的零配件，做好标识后，一定要送到规定的地点 ，不准随便乱丢，地面油污要擦洗干净，以防滑跌伤人。
安全事故分类
根据单晶炉区的生产流程和工作环境对可能发生的事故作 如下分类： A类：会危及人员生命安全和引起重大财产损失的事故 B类：对人员产生较严重伤害以及较严重的设备事故 C类：对人员不会产生严重伤害以及轻微设备事故
A类事故
区域性断水断电 电气意外短路起火 漏硅
A类事故处理方法1
出现断电断水时马上通知动力部发电或冷水班启动冷却备 用水，保证炉子冷却水循环正常。 关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。 手动降坩埚30-40MM，使晶体脱离液面。 短时间断电的话，在电源恢复正常后，启动真空泵，缓慢 打开抽空阀门，打开氩气充气阀至设定值，开启加热电源 ，将功率设定到熔料功率。 将须回熔的晶体按回熔操作步序操作。 不须回熔的晶体按规定时间进行冷却。 回熔或隔离结束后，按正常拉晶程序操作。
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日常状况五：极限真空抽不下的问题
拉制单晶过程中，会发生上一炉正常，而下一炉极限真空抽不 下的现象，这主要是由于： 1. 单晶炉某个密封部件未装好或有破损 2. 下真空管路有泄漏 3. 真空泵油太脏、太少或断水 根据这些原因，我们就要采取： 1. 从新安装好密封部件或将其更换 2. 找到泄漏点并将其修复 3. 将真空泵的油更换或加油，找到断水原因并修复
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二、单晶炉安全常识
安全基本原则
树立安全第一的基本思想，贯彻安全责任重于泰山的精神。
对于安全的保障要以预防为主，当安全事故发生时要按照应 急预案，服从统一指挥，以达到最大限度的自救，做到提前 发现问题并及时整改。
要以优先保护人身安全、优先保护大多数人身安全、优先保 护贵重财产为主的抢救原则。
要达到使紧急情况不扩大，尽可能地排除它们、尽可能地减 少事故造成的人员伤亡和财产损失。
C类事故
硅料、冷坩埚碎片掉入眼中 被高温烫伤 员工工作时不慎的压伤、摔伤、扭伤。
C类事故处理方法
第一时间分开眼睑叫他人用嘴吹去或用纸巾粘除，切记不 可用手擦，并同时叫周边员工报告班组长，由现场管理值 班人员进行评估，必要时报告厂安全办。
烫伤时应当立即用自来水冲洗30分钟左右，处理不了的应 及时报告班组长和现场管理值班人员。
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突发状况四：冷却水水管爆裂或脱落
冷却水水管爆裂或脱落的主要原因是①水管抱箍松动或损 坏②进水压力太高③水管本身有破损或老化④限位开关失 灵
水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后 ，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路 事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。
在不可以停炉时，应迅速的将坏水管更换。以防出现大事 故。
，再将水管复位 3. 开大进水压力。（让进出水压差为1.5-2.0）
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日常状况二：炉压过高报警
炉压过高的原因主要是： 1. 真空泵油太脏或太少 2. 除尘筒未清理干净 3. 真空管路太脏 在没办法停炉时，我们可以采取保压，将真空泵关闭，然 后迅速将真空泵、除尘筒问题处理。 （注意：时间一定要控制在10分钟之间）