真空常用名词术语
真空术语
1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
15、冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
真空专业术语
真空专业术语随着低碳经济的到来，真空泵在化工、能源、医药、冶金、食品、建筑、矿山等领域的应用越来越多，下面简要介绍一下与真空泵相关的一些知识，希望有可以帮助广大顾客了解这个行业。
1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
真空术语
真空术语辨析
由于众多的原因，在日常使用过程中出现了一些含义相近、易混淆的术语，现加以辨析：
1. 真空度与极限压力
在本质上真空度与极限压力两者并没有差别，均为表示气体的稀薄程度的术语。
只是在表征真空的程度时真空度用百分数来表示，而极限压力用压强值（Pa）来表示。
在表述上，二者正好相反。
极限压力低，则真空度高；极限压力高，则真空度低。
2. 分压强与全压强
分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。
全压强则指包括气体中的所有气体的压强。
在真空应用中，分压强与全压强各有其应用范围。
现行的真空泵的考核标准中，如果不指明为全压强，极限压力指标均为分压强。
3.储气罐与维持泵
由于扩散泵和油增压泵起动时间长，在周期性的操作的设备，当装料和卸料的时候，往往为了缩短工作周期而不停止主泵。
将高真空阀和前级管道阀门关闭，
使主泵仍处于工作状态。
由于阀门等总是有少量漏气和表面放气，使主泵的出口压力升高从而导致油蒸气氧化。
为了解决这个问题，一个办法是用前级泵继续抽除主泵内的气体，但此时系统的气体流量非常小，用前级泵浪费许多电能。
因此可以采用在主泵入口设置维持泵或者储气罐的方法，这样就可以保证既可以排出主泵内的气体，又可以减少能源消耗。
储气罐不能做的很大，它只能用
在以扩散泵为主泵的小型系统上。
而维持泵可以用在大型主泵上。
储气罐的优点是无振动，用在工艺过程中要求无振动的系统上具有突出的优点。
真空测量方法
一、前言本文涉及到的有关名词和术语：1.真空度：当以mmHg（Torr）或Kpa、Pa为单位时，指的是绝压，又称残压、压力，剩余压力或吸入压力。
当以Mpa为单位时，指的是弹簧真空表的表压，例：-0.078Mpa。
那么绝压应为0.1-0.078=0.022Mpa。
2.抽气量：单位时间通过泵入口处气体的质量流量，常以当量不凝气和当量可凝气标称，单位为kg/hr。
3.当量不凝气，对非20℃空气或其它不凝性气体,按其分子量和温度折算成20℃的空气质量流量，单位为kg/hr。
4.当量可凝性流量：对非20℃的水蒸汽或其它可凝性气体，按其分子量和温度折算成20℃的水蒸汽质量流量，单位为kg/hr。
5.工作蒸汽耗量：在额定工况下，单位时间内通过拉瓦尔喷嘴的工作蒸汽的质量流量，多级喷射泵则指通过全部拉瓦尔喷嘴的总质量流量，单位为kg/hr。
6.冷却水循环量：在额定工况下，单位时间冷却水的体积流量，多只冷凝器则指总体积流量，单位为M3/ hr。
7.冷却水耗量：在额定工况下，循环冷却水在冷却塔中降温时在单位时间内蒸发和损失的水量（估计值）。
单位为kg/hr。
二、真空度的测量测量真空度一般有五种方法：1. 与外界大气压力相比较。
在图一中，装有水银的U形管两端开口。
一端直通大气，另一端与真空系统连接（设压力为P A），两端的水银柱的差为△h，若设大气压为P大，有P大－P A=△h则P A=P大-△h mmHg但是，我们必须注意，大气压并非为760mmHg，气压计只有在海拔高度为零时，其读数才代表当地当时的大气压。
设若在某地区某一时，大气压计读数为P B，而海拔高度为H，则该地区实际大气压为：P大=P B－H/10 mmHg因此，真空系统的压力为：P A=P大－△h=P B－H/10－△h mmHg这一例子的实用形式即为了弹簧真空表。
弹簧真空表是按0.1Mpa这一压力作为基准而设计，制造的，因此，在实际使用中应根据本地区的实际气压情况进行修正。
真空技术名词术语
真空技术名词术语一、一般术语1．标准环境条件：温度为20℃，相对湿度为65%，大气压力为101325Pa。
2．气体的标准状态：温度为0℃，压力为101325Pa。
3．压力（压强）：气体分子从某一假想平面通过时，沿该平面的正法线方向的动量改变率，除以该平面面积或气体分子作用于其容器表面上的力的法向分量，除以该表面面积。
4．帕斯卡（符号：Pa）：国际单位制压力单位，1 Pa=1N/m2。
5．分压力：混合气体中某一组分的压力。
6．全压力：混合气体中所有组分压力的总和。
7．真空：在指定空间内，低于一个大气压力的气体状态。
8．真空度：表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示9．气体：不受分子间相互作用力的约束且能自由地占据任意空间的物质。
（注：在真空技术中，“气体”一词不严格地应用于非可凝性气体和蒸汽。
）10．非可凝性气体：在临界温度以上的气体，即单纯增加压力不能使其液化的气体。
11．蒸汽：在临界温度以下的气体，即单纯增加压力能使其液化的气体。
12．饱和蒸汽压：在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
13．饱和度：蒸汽压对其饱和蒸汽压之比。
14．饱和蒸汽：在给定温度下，压力等于其饱和蒸汽压的蒸汽。
15．未饱和蒸汽：在给定温度下，压力小于其饱和蒸汽压的蒸汽。
16．分子数密度（单位：m-3）：在某瞬时，气体中某点周围体积内的分子数，除以该本积。
17．平均自由程：一个分子与其它气体分子每连续二次碰撞走过的路程，叫自由程。
相当多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。
18．碰撞率：在给定时间间隔内，一个分子（或其他规定粒子）相对于其它气体分子（或其它规定粒子）运动，受到的平均碰撞次数，除以该时间。
这个平均碰撞次数是应在足够多的分子数和足够长的时间间隔下取得。
19．体积碰撞率：在给定时间间隔内，在围绕规定一点的空间范围内，气体分子间的平均碰撞次数除以该时间和该空间范围体积。
所取时间间隔和体积不应太小。
真空名词及术语解释
真空名词及术语解释一：阀门类1.粗抽阀：连接罗茨泵与真空室间的阀门，打开粗抽阀，则机械泵与罗茨泵可对真空室进行抽空，该阀一般为气动阀。
2.高阀：位于百叶窗后，连通分子泵（扩散泵），打开高阀则进入精抽，通常为气动。
3.节流阀：离子清洗及成膜阶段，为避免抽气过快，浪费太多Ar，所以设置节流阀来调节抽速，既有气动也有电动。
4.充气阀：真空炉内为副压，开门进出炉必须与大气压一致，才能把门打开，充气阀起到给炉内充气的作用。
5.球阀：分水器控制冷却水进出的水阀门，人工手动6.维持阀：连通维持泵与分子泵（扩散泵）的阀门，只要分子泵在旋转，维持泵与维持阀就要一直打开。
7.前置阀：用机械泵，罗茨泵给分子泵作尾抽时，需开启的阀门。
二：炉内零部件：1.热电偶：即热力传感器，将温度信号转换成电信号，用于测量真空室和扩散泵油的温度。
2.热偶规：用于测量低真空度的规管通常为金属外壳。
3.电离规：用于测量高真空度的规管，通常为玻璃外壳，工作钨丝发射出电子，会发光。
4.转架：我司为下转架，工件挂在转架上转动才能镀膜，通常由变频器、电机、皮带、齿轮、大盘、立柱、平面滚珠轴承等组成，PVD行业转架一般有公转、自转、拨叉三种。
5.视窗：为方便看清炉内状况面设置视窗。
6.靶：由靶座、铜板、靶材、磁铁等组成，是磁控溅射的核心。
7.靶座：是安装靶材的载体，上端有接线端子，接380V动力线，背面有两根铜水管，接冷却水，靶座底板有A3铁板一块，用以屏敝磁场，防止靶座背板启辉被溅射。
我司靶座上布置的是平衡磁场，磁铁间隔通冷却水，靶面磁场强度不低于350GS，靶座上压有铜板，以保证靶材能良好散热，磁铁一般为粉未冶金压制，我司使用铁氧体型弱磁。
8.磁铁：Ar气电离后加速靠磁铁完成，一般用钕铁硼或铁氧体、钐钴。
但钐钴价格昂贵，很少使用，我司磁铁是用的铁氧体。
9.加热管：给炉子加热用的加热管，里面有电炉丝埋在石英砂里面。
10百叶窗：让炉内气体更加均匀，百叶窗起流导的作用。
真空知识
基础知识1、真空的概念“真空”一词来自拉丁语“vacuum”，原意为“虚无”、“空的”。
真空是指在给定空间内低于环境大气压力的气体状态，即该空间内的气体分子密度低于该地区大气压力的气体分子密度，并不是没有物质的空间。
水环真空泵应用于低真空（105—103 Pa）领域2、真空的测量单位在真空技术中，表示处于真空状态下气体稀薄程度的量称为真空度，可用压力、分子数密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间常数等来表征，但通常用气体的压力（剩余压力）值来表示。
气体压力越低，表示真空度越高；反之，压力越高，真空度越低。
法定的压力计量单位为帕［帕斯卡］，符号为Pa1Pa=1N.m-2 此外，还可用真空度的百分数作测量单位。
δ——真空度百分数（%）P——绝对压力（Pa）Pb-P 表示真空压力表读数，表压力（用Pe表示）真空度百分数δ（%）与压力P对照表3、单位换算1atm（标准大气压）=1013.25hPa（百帕）1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕）1bar（巴）=1000 hPa（百帕）1mbar（毫巴）=1 hPa（百帕）１inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa （百帕）4、相关术语◇气量——水环真空泵的气量是指入口在给定真空度下，出口为大气压1013.25hPa时，单位时间通过泵人口的吸入状态下的气体容积，m3/min或m3/h 。
◇最大气量——水环真空泵的最大气量是指气量曲线上的气量最大值，m3/min或m3/h。
◇真空度（或称作压力）——水环真空泵的真空泵是指入口处在真空状态下气体的稀薄程度，以绝对压力表示，Pa、hPa、kPa。
◇极限真空度（或称作极限压力）——水环真空泵的极限真空度是指入口处气量为零时的真空度，Pa、hPa、kPa。
◇压缩比——吸入压力下气体容积与压缩后气体容积之比◇饱和蒸汽压——在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
真空概念及真空常用计算公式
真空概念及真空常用计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
真空概念及真空计算公式
真空概念及真空计算公式真空概念及真空计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用"真空度高'和"真空度低'来表示。
真空度高表示真空度"好'的意思，真空度低表示真空度"差'的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.510-3托5、平均自由程作无规章热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号"'表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用"Q'表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的力量。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作"U'。
U＝Q/（P2- P1）8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用"P'表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最终一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在肯定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极放射电子电离气体分子，离子被收集极收集，依据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
常用镀膜真空术语中英文对照
镀膜真空术语全集1.一般术语1-1.压力计pressure gauge：1-2.真空计vacuum gauge：⑴.规头(规管)gauge head：⑵.裸规nude gauge ：⑶.真空计控制单元gauge control unit ：⑷.真空计指示单元gauge indicating unit ：2.真空计一般分类2-1.压差式真空计differential vacuum gauge：2-2.绝对真空计absolute vacuum gauge：2-3.全压真空计total pressure vacuum gauge:2-4.分压真空计；分压分析器partial pressure vacuum gauge; partial pressure analyser：2-5.相对真空计relative vacuum gauge ：3.真空计特性3-1.真空计测量范围pressure range of vacuum gauge：3-2.灵敏度系数sensitivity coefficient：3-4. 电离规系数（压力单位倒数）ionization gauge coefficient (in inverse pressure units)：3-5.规管光电流photon current of vacuum gauge head：3-6.等效氮压力equivalent nitrogen pressure ：3-7.X射线极限值X-ray limit：3-8.逆X射线效应anti X-ray effect：3-9.布利尔斯效应blears effect：4.全压真空计4-1.液位压力计liquid level manometer：4-2.弹性元件真空计elastic element vacuum gauge：4-3.压缩式真空计compression gauge：4-4.压力天平pressure balance：4-5.粘滞性真空计viscosity gauge ：4-6.热传导真空计thermal conductivity vacuum gauge ：4-7.热分子真空计thermo-molecular gauge：4-8.电离真空计ionization vacuum gauge：4-9.放射性电离真空计radioactive ionization gauge：4-10.冷阴极电离真空计cold cathode ionization gauge：4-11.潘宁真空计penning gauge：4-12.冷阴极磁控管真空计cold cathode magnetron gauge：4-13.放电管指示器discharge tube indicator：4-14.热阴极电离真空计hot cathode ionization gauge：4-15.三极管式真空计triode gauge：4-16.高压力电离（中真空）真空计high pressure (medium vacuum) ionization gauge：4-17.B-A型电离真空计Bayard-Alpert gauge：4-18.调制型电离真空计modulator gauge：4-19.抑制型电离真空计suppressor gauge：4-20.分离型电离真空计extractor gauge：4-21.弯注型电离真空计bent beam gauge：4-22.弹道型电离真空计orbitron gauge ：4-23.热阴极磁控管真空计hot cathode magnetron gauge：vacuum plating 真空镀膜; 真空敷涂法vacuum coating 真空镀膜; 真空涂层vacuum deposition 真空沉积; 真空淀积; 真空镀膜vacuuming metalling 真空镀膜vacuum evaporation coating 真空镀膜vacuum plating 真空镀膜vapor deposition 真空镀膜; 汽相沉淀evaporation coating 真空镀膜; 蒸发涂敷vacuum coating machine 真空镀膜机vacuum coating system 真空镀膜系统vacuum coater 真空镀膜装置high vacuum coating machine 高真空镀膜机high vacuum coating unit 高真空镀膜机high vacuum film plating table 高真空镀膜台ultrahigh vacuum coater 超高真空镀膜机box-type vacuum coating machine 箱式真空镀膜机oil-free ultra-high vacuum coating equipment 无油超高真空镀膜设备vacuum electroplating film machine 真空电镀膜机vacuum vapor plating 真空蒸发镀膜vaccum ion coater 真空离子镀膜机vacuum sputtering coated glass 真空溅射镀膜玻璃vacuum evaporation 真空喷镀; 真空蒸镀; 真空蒸发vacuum evaporating 真空喷镀; 真空蒸镀vacuum 真空; 真空装置; 真空吸尘器; 真空的vacuum metallizing 真空镀敷vacuum vapor deposition method 真空镀积法arsenic vacuum coating 砷真空镀层vacuum-deposited coating 真空镀敷法vacuum metallizing 真空镀敷金属vacuum casting 真空电流铸造机; 真空模铸; 真空外壳; 真空吸铸; 真空铸造high-vacuum evaporation technique 高真空蒸镀技术sputtering 溅射阴极真空喷镀; 阴极溅镀vacuum n.真空adj.真空的vt.用真空吸尘器打扫capsule type vacuum gauge 膜盒式真空计; 膜盒真空计vacuum tank 真空槽; 真空容器; 真空室; 整流器外壳; 抽气排水筒hollow cathode ion coater 中空阴极离子镀膜机vacuum cement 真空封泥; 真空气密水泥; 真空粘结剂evacuated capsule 真空膜盒aneroid cell 真空膜盒altitude capsule 高度计膜盒; 真空膜盒vacuum cleaner 真空除尘器; 真空净化器; 真空清洁器; 真空吸尘器vacuum vessel 真空瓶; 真空容器; 真空室vacuum deposited film 真空沉积膜capsule type vacuum gauge 膜盒真空计vacuum diaphragm chamber 真空膜片室capsule gauge 膜盒真空计vacuum 真空; 真空度稀薄的; 真空真空度真空吸尘器稀薄的vacuum diaphragm unit 真空膜片装置evacuated aneroid element 真空膜盒元件diaphragm vacuum gauge 膜片式真空计quartz membrane gauge 石英膜真空1.标准环境条件standard ambient condition：2.气体的标准状态standard reference conditions forgases：3.压力（压强）p pressure：4.帕斯卡Pa pascal：5.托Torr torr：6.标准大气压atm standard atmosphere：7.毫巴mbar millibar：8.分压力partial pressure：9.全压力total pressure：10.真空vacuum：11.真空度degree of vacuum：12.真空区域ranges of vacuum：13.气体gas：14.非可凝气体non-condensable gas：15.蒸汽vapor：16.饱和蒸汽压saturation vapor pressure：17.饱和度degree of saturation：18.饱和蒸汽saturated vapor：19.未饱和蒸汽unsaturated vapor：20.分子数密度n，m-3 number density of molecules：21.平均自由程ι、λ，m mean free path：22.碰撞率ψcollision rate：23.体积碰撞率χvolume collision rate：24.气体量G quantity of gas：25.气体的扩散diffusion of gas：26.扩散系数D diffusion coefficient; diffusivity：27.粘滞流viscous flow：28.粘滞系数ηviscous factor：29.泊肖叶流poiseuille flow：30.中间流intermediate flow：31.分子流molecular flow：32克努曾数number of knudsen：33.分子泻流molecular effusion; effusive flow：34.流逸transpiration：35.热流逸thermal transpiration：36.分子流率qN molecular flow rate; molecular flux：37.分子流率密度molecular flow rate density; density of molecular flux：38.质量流率qm mass flow rare：39.流量qG throughput of gas：40.体积流率qV volume flow rate：41.摩尔流率qυmolar flow rate：42.麦克斯韦速度分布maxwellian velocity distribution：43.传输几率Pc transmission probability：44.分子流导CN,UN molecular conductance：45.流导C,U conductance：46.固有流导Ci,Ui intrinsic conductance：47.流阻W resistance：48.吸附sorption：49.表面吸附adsorption：50.物理吸附physisorption：51.化学吸附chemisorption：52.吸收absorption：53.适应系数αaccommodation factor：54.入射率υimpingement rate：55.凝结率condensation rate：56.粘着率sticking rate：57.粘着几率Ps sticking probability：58.滞留时间τresidence time：59.迁移migration：60.解吸desorption：61.去气degassing：62.放气outgassing：63.解吸或放气或去气速率qGU desorption or outgassing or degassing rate：64.蒸发率evaporation rate：65.渗透permeation：66.渗透率φpermeability：67.渗透系数P permeability coefficient2. 1.真空泵vacuum pumps1-1.容积真空泵positive displacement pump：⑴.气镇真空泵gas ballast vacuum pump：⑵.油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：⑶.干封真空泵dry-sealed vacuum pump：⑷.往复真空泵piston vacuum pump：⑸.液环真空泵liquid ring vacuum pump：⑹.旋片真空泵sliding vane rotary vacuum pump：⑺.定片真空泵rotary piston vacuum pump：⑻.滑阀真空泵rotary plunger vacuum pump：⑼.余摆线真空泵trochoidal vacuum pump：⑽.多室旋片真空泵multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：⑾.罗茨真空泵roots vacuum pump：1-2.动量传输泵kinetic vacuum pump：⑴.牵引分子泵molecular drag pump：⑵.涡轮分子泵turbo molecular pump：⑶.喷射真空泵ejector vacuum pump：⑷.液体喷射真空泵liquid jet vacuum pump：⑸.气体喷射真空泵gas jet vacuum pump：⑹.蒸汽喷射真空泵vapor jet vacuum pump ：⑺.扩散泵diffusion pump ：⑻.自净化扩散泵self purifying diffusion pump：⑼.分馏扩散泵fractionating diffusion pump ：⑽.扩散喷射泵diffusion ejector pump ：⑾.离子传输泵ion transfer pump：1-3.捕集真空泵entrapment vacuum pump：⑴吸附泵adsorption pump：⑵.吸气剂泵getter pump：⑶.升华（蒸发）泵sublimation (evaporation)pump ：⑷.吸气剂离子泵getter ion pump：⑸.蒸发离子泵evaporation ion pump：⑹.溅射离子泵sputter ion pump：⑺.低温泵cryopump：2.真空泵零部件2-1.泵壳pump case：2-2.入口inlet：2-3.出口outlet：2-4.旋片（滑片、滑阀）vane; blade ：2-5.排气阀discharge valve：2-6.气镇阀gas ballast valve：2-7.膨胀室expansion chamber：2-8.压缩室compression chamber：2-9.真空泵油vacuum pump oil：2-10.泵液pump fluid：2-11.喷嘴nozzle：2-13.喷嘴扩张率nozzle expansion rate：2-14.喷嘴间隙面积nozzle clearance area ：2-15.喷嘴间隙nozzle clearance：2-16.射流jet：2-17.扩散器diffuser：2-18.扩散器喉部diffuser thoat：2-19.蒸汽导管vapor tube(pipe;chimney)：2-20.喷嘴组件nozzle assembly：2-21.下裙skirt：3.附件3-1阱trap：⑴.冷阱cold trap：⑵.吸附阱sorption trap：⑶.离子阱ion trap：⑷.冷冻升华阱cryosublimation trap：3-2.挡板baffle：3-3.油分离器oil separator：3-4.油净化器oil purifier：3-5.冷凝器condenser：4.泵按工作分类4-1.主泵main pump：4-2.粗抽泵roughing vacuum pump：4-3.前级真空泵backing vacuum pump：4-4.粗（低）真空泵roughing(low)vacuum pump：4-5.维持真空泵holding vacuum pump：4-6.高真空泵high vacuum pump：4-7.超高真空泵ultra-high vacuum pump：4-8.增压真空泵booster vacuum pump：5.真空泵特性5-1.真空泵的抽气速率（体积流率）s volume flow rate of a vacuum pump：5-2.真空泵的抽气量Q throughput of vacuum pump：。
真空系统常用术语一览表
等离子体热处理
是一种在等离子体作用下的热化学工艺，通过这种工艺可以大大降低工件在处理时的温度。
等离子体
在物理上，人们将等离子体成为具有电子特征的电离气体。如果向气体中施加巨大的能量使一部分原子电离出来，就会产生等离子体。等离子体总的来说是中性的，因为带正电和带负电粒子的数量基本上相同。
等离子体激活
在等离子体的作用下激活一个表面，例如通过去除钝化物（氧化层），以及为了后续（镀膜）工艺对表面进行准备，例如涂镀镀膜、涂漆等。
在真空术语里可以找到关于等离子体技术、感应加热和电源技术最重要概念的解释。
电弧
电弧是自发的电弧放电，从而对镀膜质量产生负面影响。
电弧管理
为了应对突然的电弧放电，人们使用了电弧管理系统。通过反应快速的传感器快速、准确地探测到正在产生的电弧，并作出响应。
布里兹曼•斯托克巴杰法
也称作垂直拉制法。在封闭杯的坩埚中加热多晶基材，然后以较低的冷却速率使其慢慢冷却。石墨感应器用于传递热量。将坩埚移出射频场时，晶体也随之冷却变硬。换个方法，也可以通过降低电源输出功率达到相同效果。
等离子体激发
当固体材料被加热后，其变成液体甚至气体。当温度继续升高，气体颗粒的热动能变得很高，以至于电子在碰撞过程中从分子或原子中分离，进而导致等离子体激发。
等离子体镀膜
工作气体离子轰击靶材表面，从而使靶材颗粒沉积在基板上的过程。等离子体在大多数先进的真空镀膜工艺（例如PVD、CVD）中都可以使用。成膜过程在等离子体中发生；等离子体的高能量可以提高镀膜质量（例如粘附）。现代的PVD及CVD工艺均基于等离子体。
真空简介
真空简介1、什么叫真空？真空是稀薄气体的一种形态，或者说是大气环境的一种形态；在给定的区间内压强低于一个大气压。
即P〈Patm。
2、气体状态三变量确定气体状态的三个变量是：压力、体积和温度。
2.1、压强（P）：所谓压强是指垂直作用在单位表面上A的压力F。
即：P=F/S。
压力单位为N/m2 和pa。
但在真空领域内经常使用的压强单位为mbar和bar。
它们之间的转换关系如下：总压：在一个密闭容器中所有气体和蒸汽的压力之和。
分压：在一个密闭容器中，某一气体单独存在时占有整个容器时的压力。
3、气体压力：在一个密闭容器中，大量气体分子无规则运动时撞击容器壁产生。
理想气体满足：pv=NTk，或者pv=nTk。
K为波尔兹曼常数。
其中K=1.38066×10-23j/k，n=N/v。
在真空系统中，压力经常表示成指数的形式，如：1×10-1，3×10-4。
这里我们引入一种新的记数方法来简化指数形式。
例如：1×10-1=1E-1，3×10-4=3E-4。
这种记数方法更简便灵活。
4、大气组成大气是一种气体混合物，主要成分是O2，N2，但其中还含有少量气体气体，如Ar、CO2。
其各气体所占体积百分比如下表：5、真空容器中的粒子运动三个重要概念：①粒子数目：可用阿伏加得罗常数计算。
②自由行程：指一粒子在和其它粒子发生碰撞时所能运行的平均距离。
粒子个数越少，单个粒子的运动距离就越长，自由行程就越大。
自由行程可有下列公式计算：λ=6.25×10-3cm／p(mbar).③热速度:温度越高,粒子热速度越快,从而真空容器中的压力就越大.6、热传导：气体分子在来回的作无规则运动，它们之间会发生碰撞，同时存在能量的交换，由于能量的传递而产生热的传导。
7、真空系统中气体的流动①粗中空：粗中空中气体的流动方式分为两种，一为淌流，气体分子的运动是狂暴的，杂乱无章的。
一为层流，气体分子有次序的流动。
真空名词术语
真空名词术语1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高"和“真空度低"来表示。
真空度高表示真空度“好"的意思，真空度低表示真空度“差"的意思。
3、真空度单位通常用托(Torr)为单位，近年国际上取用帕(Pa)作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ"表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q"表示，单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒(L/s)，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U"。
U ＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P"表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：(Atm)。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/(P－P0)12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计(又收热阴极电离计)由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
真空度名词解释
真空度名词解释
真空度是一个用来描述空间内气体稀薄程度的物理量。
在真空度较高的情况下，气体分子间的相互碰撞和相互作用较少，因而气体的压强和粒子浓度都较低。
真空度通常由两种方式来表示：绝对真空度和相对真空度。
绝对真空度是指一个空间内完全没有气体分子存在的程度。
实际上，并不存在完全的绝对真空，但我们可以通过移除空间中的大部分气体来达到较高的绝对真空度。
绝对真空度通常用压强来衡量，常用单位有帕斯卡（Pa）和托（Torr）。
相对真空度是指一个空间中气体分子数相对于该空间全封闭状态时的分子数的比例。
相对真空度可以通过空间内的气体分子数密度（即单位体积内的气体分子数）来衡量。
常用的相对真空度单位有百分数和分数表示。
真空度可以通过不同的方法来获得和控制，例如：机械泵抽气、扩散泵技术、离子泵技术等。
在实际应用中，我们通常可以通过设置真空度的目标值并采取相应的措施来控制和维持真空度的稳定。
真空度在多个领域都有重要的应用。
例如，在科学和工业实验中，高真空度的空间可以用于研究气体分子间的相互作用、观察材料在真空条件下的性质等。
在电子工业中，高真空度的环境可以用于制造集成电路和其他微电子设备。
在太空探索领域，真空度的控制和维持是航天器的设计和运行中的重要因素。
总之，真空度是描述空间内气体稀薄程度的物理量，可以通过绝对真空度和相对真空度来表示。
它在科学实验、工业制造、电子工程和太空探索等领域都有重要的应用。
【气体知识】真空知识
【气体知识】真空知识一、真空的基本概念真空技术中，“真空”泛指在给定的空间内，气体压强低于一个大气压的气体状态，也就是说，同正常的大气压相比，是较为稀薄的一种气体状态。
真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。
根据真空技术的理论，真空度的高低通常都用气体的压强来表示。
在国际单位制中，压强是以帕(Pa)为单位1Pa=1N/m2。
另外常用的单位还有托(Torr)、毫米汞柱(mmHg)、毫巴 (mbar)、工程大气压(公斤／厘米2)等。
真空区域的划分没有统一规定，我国通常是这样划分的：粗真空：(760～10)托低真空：(10～10-3)托高真空：(10-3～10-8)托超高真空：(10-8～10-12)托极高真空：10-12托托和帕的关系：1 托=1 毫米汞柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。
真空区域的特点不同其应用也不同，例如吸尘器工作于粗真空区域，暖瓶、灯泡等工作于低真空区域，而真空开关管和其它一些电真空器件则是工作在高真空区域。
二、真空间隙的绝缘特性真空中放置一对电极，加上高压时，在一定的电压下也会产生电极之间的电击穿。
它的击穿与空气中的电击穿有很大不同。
空气中的击穿是由于气体中的少量自由电子在电场作用下高速度运动，与气体分子碰撞产生较多的电子和离子，新生的电子和离子又同中性原子碰撞，产生更多的电子和离子。
这种雪崩式的电离过程，在电极间形成了放电通道，产生了电弧。
而真空中，由于压强较低，气体分子极少，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。
因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的电击穿。
正是因为气体分子十分稀少，真空间隙电击穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。
从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成电击穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，将低于理论计算值几个数量级。
真空常用名词术语
真空常⽤名词术语真空常⽤名词术语1、真空的定义真空系统指低于该地区⼤⽓压的稀簿⽓体状态2、真空度处于真空状态下的⽓体稀簿程度，通常⽤“真空度⾼”和“真空度低”来表⽰。
真空度⾼表⽰真空度“好”的意思，真空度低表⽰真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常⽤托（Torr）为单位，近年国际上取⽤帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760⼤⽓压＝1毫⽶汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均⾃由程作⽆规则热运动的⽓体粒⼦，相继两次碰撞所飞越的平均距离，⽤符号“λ”表⽰。
6、流量单位时间流过任意截⾯的⽓体量，符号⽤“Q”表⽰，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表⽰真空管道通过⽓体的能⼒。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压⼒或压强⽓体分⼦作⽤于容器壁的单位⾯积上的⼒，⽤“P”表⽰。
9、标准⼤⽓压压强为每平⽅厘⽶101325达因的⽓压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽⽓后，稳定在某⼀真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12⼩时炼⽓，再经12⼩时抽真空，最后⼀个⼩时每隔10分钟测量⼀次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽⽓速率在⼀定的压强和温度下，单位时间内由泵进⽓⼝处抽⾛的⽓体称为抽⽓速率，简称抽速。
即S p＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利⽤热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度⼜与⽓体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（⼜收热阴极电离计）由筒状收集极，栅⽹和位于栅⽹中⼼的灯丝构成，筒状收集极在栅⽹外⾯。
热阴极发射电⼦电离⽓体分⼦，离⼦被收集极收集，根据收集的离⼦流⼤⼩来测量⽓体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从⼤⽓~10-5Pa。
真空（3）
真空（3）一、真空概念及测量单位（一）真空概念“真空”是指在指定空间内低于环境大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子密度。
不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子数密度。
在标准状态（STP：即0℃，101325Pa）下，气体的分子数密度为2.6870x1025m-3,而在真空度为1.0x10-4Pa时，气体的分子密度只有2.65x1016m-3。
完全没有气体的空间状态称为绝对真空。
绝对真空实际上是不存在的。
（二）真空度及测量单位在真空技术中常用真空度来度量真空状态下空间气体的稀薄程度。
通常真空真空度用气体的压力值来表示。
压力值越高，真空度越低；压力值越低，真空度越高。
常用的压力单位有：1帕斯卡（Pa）：在国际单位制中的压力单位，我国法定压力单位。
1Pa压力就是1㎡面积上作用1N的力，即1Pa=1N/㎡2微巴（μbar）：1μbar的压力就是1㎝2面积上作用1dyn的力，即1μbar=1dyn/㎝23标准大气压（atm）:1927年在第七次国际计量大会上，给标准大气压下了定义，即在重力加速度为980.665㎝/s2,水银温度为0℃，水银密度为13.5951g/㎝3的条件下，760㎜高的汞柱产生的压力称为1atm，即1atm=760㎜Hg=1013250.144354dyn/㎝2这种标准大气压依赖于汞的密度的测量精度，是不够严格的。
1954年在第十次国际计量大会上，又重新定义了标准大气压，即1atm=1013250dyn/㎝2=101325Pa4工程大气压（at）:由于大气压力约为1㎏/㎝2,所以把1㎏/㎝2称为1at，即1at=1㎏/㎝2⑤毫米汞柱（㎜Hg）：1㎜Hg是指0℃时1㎜高水银柱（汞柱）作用在1㎝2面积上的力。
由于纯水银0℃时的密度为13.5951g/㎝3，所以1㎜Hg=13.5951g/㎝26托（Torr）:1Torr定义为1atm1Torr=760由于1927年与1954年定义的标准大气压有差值，因而造成1㎜Hg比1Torr大1.9x10-4dyn/㎝2但由于两者差值很小，故通常认为1㎜Hg≈1Torr7英寸汞柱（in Hg）:英制压力单位它是1英寸高水银柱作用在1㎝2面积上的力，即1in Hg=25.4㎜Hg⑧普西（psi）:英制压力单位，它是1平方英寸面积上作用1磅的力，即1psi=1lb/in2⑨真空度的百分数（￡%）：用真空度的百分数表示压力的大小，一般只有在压力高于100Pa时才采用。
认识真空
认识真空
一、认识真空
真空：真空是一种不存在任何物质的空间状态，是一种物理现象。
对于任何一个指定空间，当空间内部气体压力低于环境大气压力时，就可以称为真空。
气体压力值越低，表示真空度越大。
1真空常用帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）做为压力的单位。
目前在自然环境里，只有外太空堪称最接近真空的空间。
真空状态下的气体压力低于一个大气压，因此，处于地球表面上的各种真空容器中，必将受到大气压力的作用，其压强差的大小由容器内外的压差值而定。
由于作用在地球表面上的一个大气压约为101325N/m2(Pa)，因此如果我们在海平面地区作真空实验，当容器内压力很小时，则容器所承受的大气压力可达到一个大气压。
二、海拔高度的影响
三、工业真空分级
四、绝对压力、相对压力与真空度。
真空概论、DP、RP上课资料
在真空技術中應用波義耳定律;因為抽真空壓力降低，以760 Torr→10-3 torr為例，約改變105 ，因此系統中，原為一大氣 壓的吸附氣體(例如油脂含氣)將大大地膨脹，使真空PUMP難以 抽氣。 真空PUMP不但需要費長時間才能抽除由油脂所含氣體，而且該 等氣體通常慢慢放出(逸出)，必須待氣體召部份逸出後，才能 得到滿意的真空。 小量而突然的氣體逸出，通常給予抽氣PUMP沉重的負擔，以真 空中冷凍抽氣的氣體因溫度突升所造成的氣體逸出為例，逸出 之氣體試圖膨脹，但因器壁的局限，只有壓力跳升一途。
(a)依波義耳定律物質在真空中之膨脹 (b)膨脹產生之大體積使真空pump難以抽除
一、真空之定義與分類 (1)真空之定義
英文“VACUUM”，表示“EMPTY”或“NOTHIN”，空無一物，但 在真空技術裏，真空係針對大氣而言，表示一特定空間內的部 份氣體被排出，其壓力小於一大氣壓，通常稱此空間為真空或 真空狀態。
在海平面上標準的狀態下，1大氣壓(1atm)為760torr。 而氣體對氣壁碰撞會產生壓力，其大小為760毫米汞柱或
760torr，當容器內之氣體被抽除，氣體分子數目減少而處於 真空狀態。
在真空技術中，一密閉容器雖保持真空，但並非“真正的空”， 也就是說真空並不表示裏面全無氣體分子;事實上以目前技術 所及的超高真空狀態，其中仍有為數目可觀的氣體分子存在。 (二)真空之分類 真空技術中，將真空依壓力大小分為四個區域如下： 1、粗略真空(Rough vacuum) 2、中度真空(Medium vacuum) 760～1 torr 1～10-3 torr
二、氣體定律 壓力(P) 體積(V) 溫度(T)，是氣體性質的三個主要參數，氣體 定律描述彼此間的關係，並顯示氣體動態行為與真空技術的關 聯性。 如(一)氣體方程式 P=n KT G：氣體分子總質量
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1、真空的定义
真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
2、真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位
通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
4、托与帕的转换
1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托
5、平均自由程
作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量
单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导
表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)
8、压力或压强
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空
真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率
在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）
12、热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）
由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
15、冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
16、电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。
17、麦克劳真空计（压缩式真空计）
将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。
18、B－A规
这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。
收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。
19、水环真空泵
泵的叶轮转子旋转而产生水环。
由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。
20、往复真空泵
利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。
21、油封机械真空泵
用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。
22、罗茨真空泵
具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。
23、涡轮分子真空泵
有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
24、油扩散真空泵
扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。
在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。
25、低温真空泵
利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。
26、冷阱（水冷挡板）
置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
27、气镇阀
油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
28、真空冷冻干燥
真空冷冻干燥，也称升华干燥。
其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。
29、真空蒸镀
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。
30、真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
31、真空系统常用名称
(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。
如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。
如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。
为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。
如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。