干膜教育训练课程
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
22
*微蝕槽液配槽方法 (1)先行確認微蝕槽體積，以500L為例。 (2)先於建浴槽加水至500L，取50L純硫酸加入建
浴槽。 (3)取50L硫酸雙氧微蝕劑(安定劑)加入建浴槽。 (4)取50L雙氧水加入建浴槽。 (5)將上述已配好之藥液引入微蝕槽即可。
23
*銅面處理製程優缺比較表
表面處理方式
優點
1.4.顯影製程
2.無塵室管理 2.1.何謂無塵室 2.2.無塵室等級區分 2.3.無塵室人員及物品進出之管理與清潔 2.3.1.人員及物品進出 2.3.2.無塵室清潔 2.4.無塵室人員穿著
3
3.設備參數 3.1.刷磨機 3.2.壓膜機 3.3.曝光機 3.4.顯影機
4.乾膜製程缺點預防及改善方法 4.1.刷磨製程 4.2.壓膜製程 4.3.曝光製程 4.4.顯影製程
*連結劑(Binder) 例：Polyacrylate、Polyurehanes
Polystyrene、Polycarbonates Copolyester、Epoxy 主要為含酸基的線型熱可塑性高分子，目的在使 乾膜組成具成膜性，並提供酸基供乾膜顯像及剝 膜時與鹼液作用。其應注意要項如下： a.玻璃軟化程度(Tg)、壓膜時膠在銅面上流動性 、填孔隙能力、儲存時流膠程度。 B.分子量-乾膜蓋孔性(Tenting)能力。 C.酸價-顯像和剝膜速度及耐鹼能力。 d.溶劑-毒性、生產時烘乾操作條件。
起始劑吸收UV光後形成自由基型態，目的在提供 光反應單體聚合所需的自由基。通常會含有數種 起始劑以便吸收不同波長的UV光。其注意要點如 下： a.反應性-在越低曝光能量下仍有高濃度自由基生
成。 b.熱安定性-儲存、生產壓膜時不可有自由基生成
。
11
*可塑劑(Plasticizer) 例：Plthalic Esters 、Glycol Esters
缺點
刷輪磨刷
*投入成本低 *使用簡便 *低消耗 *低資本
*銅屑過濾問題 *軟板無法使用 *刷輪需整刷及調水 平
噴砂法
*極易維修 *幾乎不需停機 *初期投資低 *孔不會變形 *軟硬板皆可使用 *低水量需求 *無廢水處理問題 *可用於基板磨刷 *低使用成本
*較一般磨刷機略大 *如無回收設備成本 較高
化學微蝕
乾 膜 教 育 訓 練 課 程
1
【課程大綱】
1.乾膜光阻製程 1.1.銅面前處理製程 1.1.1.外觀檢查 1.1.2.酸洗 1.1.3.銅面處理 1.1.4.水洗 1.1.5.吸乾吹乾、烘乾
1.2.壓膜製程 1.2.1.壓膜前清潔 1.2.2.壓膜 1.2.3.壓膜後清潔
2
1.3.曝光製程 1.3.1.曝光前底片檢查、清潔 1.3.2.曝光 1.3.3.曝光後靜置
14
*安定劑(Stabilizer) 例：Hydroquinone、Nitrobenzene、
P-toluquinone、Cuprous Chloride 安定劑主要防止乾膜熱壓時 而產生聚合。它也 可延長乾膜儲存期限。其注意要點如下： a.安定性-不可妨礙乾膜其他元素之進行。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操 作。
Phosphoric Esters 可塑劑可增加壓膜時乾膜的流動性、增加填孔隙 能力，促進乾膜與銅面的密著度。其注意要點如 下： a.相容性-須與其他組成混合呈均勻狀態。
12
*染料(Dye) 例：Acid Green 、Ethyl Violet、
Methyl Green、Mehtyl Violet 染料可使乾膜本身具有顏色以便於辨識，一般以 藍色或綠色為主。其注意要點如下： a.吸光性-避免和光起始劑吸收相同波長的光。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操 作。
9
*光反應單體(Photomonomer) 例：單官能基(Monofunctional)BA、EA
雙官能基(Difunctional)HDDA、TPGDA、 PEGDA 多官能基(Multifunctional)TMPTA、 PETA、DTMPTA
含未飽和雙鍵的單體或寡聚體(Oligomer)，目的 在使曝光時進行自由基鏈聚合反應 (ChainReaction)。其注意要項如下： a.黏度-可與連結劑共同調整乾膜至適當黏度，而
13
*變色劑(Color Changing Agent) 例：Leuco Crystal Violet、Diphenylamine
Triphenylaniline、Dibenzylaniline
變色劑可促使乾膜在曝UV光時由無色變為有色， 以利作業員辨識。其注意要點如下： a.吸光性-避免和光起始劑吸收相同波長的光。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操 作。 c.發色率-變色要深，一般為藍色。
15
*黏著促進劑(Adhesion Promoter) 例：Thiohydrazide、Diphenyl Carbazone
2-Mercaptobenzothiazole 其主要目的為增進乾膜底部與銅面密著，主要成 分為含氮之雜環化合物(Hetero Cylic Nitrogen COM Pounds)。其注意要點如下： a.安定性-不可妨礙乾膜其他元素之進行。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操作。
磨劑抽成的塑鋼纖維為基材製成，其最大優點 為耐用。 2、不織布刷輪：以不織布磨片為基材製成的圓筒 狀刷輪，清潔力強，磨刷後銅面較平滑，缺點 為較不耐用，磨屑較多。 3、白毛清洗刷輪：以未滲有研磨劑的尼龍纖維為 基材，主要用在表面清洗。
21
二、噴砂法(Pumice) 噴砂法即為Pumice，其為約70%矽化物火山岩
27
1.2.2.壓膜 乾膜是由蓋膜層、感光阻劑層、隔膜層等三
者合而為一。為了將乾膜完整的貼附在銅面上， 因此利用壓膜機的捲輪將乾膜底部隔膜層撕開， 使中間的感光阻劑層藉由溫度已達110±10℃的壓 膜滾輪將其壓在加熱的銅面上，而乾膜在壓膜滾 輪高溫加熱下，感光阻劑層會形成流體狀，使其 能貼附在具有均勻粗化面的銅面上。
16
*溶劑(Solvent) 例：Acetone、Methyl Ethyl Ketone、
Methyl Acetate、Xylene、Ethyl Acetate 其主要用途在溶解各成份，使組成均勻，以利塗 膠(Coating)操作。
17
1.1.銅面前處理製程 製程：外觀檢查→酸洗→銅面前處理(刷磨)
7
百度文库
乾膜光阻主要以下列三種不同材料夾心而成 *蓋膜層(Cover Sheet材質為聚酯類Polyester，
簡稱PET，商名為Mylar)。 *感光阻劑層(Photopolymer Resist)。 *隔膜層(Separator Sheet材質為聚乙烯 Polyethyleve)
8
感光阻劑層為附著於銅面上之主體，下列針對其 結構作一介紹：
得到良好貼膜性且避免流膠。 b.毒性-沸點高、揮發性低、對皮膚刺激性低。 c.反應性-自由基鏈聚合反應速率越快越佳。 d.互溶性-與其他元素組成互溶性需佳。
10
*光起始劑(Photoinitiator) 例：Benzoin、Benzophenone、Irgacure 907、
Irgacure 651、Irgacure 369、ITX、 CTX、DETX
6
前者是指乾膜受到感光刺激的部分會發生分解作 用而被顯影液所洗掉；未感光的部分則留在物體 表面上。後者是指乾膜受到感光的部分會發生聚 合作用而硬化，未感光處則為原來的單體分子而 被顯像液所洗掉。目前乾膜製程以使用後者為 主。
乾膜依效能發展先後大致可分為下列三種： *溶劑顯像型 *半水溶液顯像型 *鹼(全)水溶液顯像型 目前業界均以使用鹼水溶液顯像型為主，前兩者 已近乎淘汰。
4
5.乾膜各製程機台保養程序 5.1.刷磨機 5.2.壓膜機 5.3.曝光機 5.4.顯影機
5
【1.乾膜光阻製程】 早在1950年代左右乾膜使用於印刷工業上取
代非感光性溼膜阻劑之塗佈作為影像轉移。到了 1968年美國杜邦公司首度發展出應用於電子工業 的感光性聚合物乾性移像膜，PCB製造也開始步入 另一個里程碑。而杜邦公司的專利權到1984年結 束後，陸續有多家世界級的公司也發展出自有品 牌加入商場競爭。例：Hitachi、Morton、 Eternal…等。 乾膜依其機轉作用可分為正片工作膜(Positive Work Film or Positive Image)及負片工作膜 (Negative Work Film or Negative Image)兩種
→水洗→微蝕 →水洗→吹乾、烘乾 1.1.1.外觀檢查
裸銅板在進入銅面前處理線前應先行檢查板 邊是否有空洞、銅面嚴重凹陷、銅皮脫落、三角 刮傷等影響刷磨品質之異常現象發生。若有上述 異常現象則應將板子退回前製程重工。
18
1.1.2.酸洗 其目的在於將銅面上的油脂、氧化物等異物
以稀硫酸噴洗的方式將其去除。調配藥水方式為 首先在酸洗槽內加入純水約八分滿，再緩慢倒入 純硫酸，調配成3~5%之稀硫酸。例：若酸洗槽為 500L則可加入15~25L純硫酸。
所組成，具有刷磨及吸收兩種功能。Pumice利用 其外表粗糙且多孔接觸到銅面時能將氧化物去 除，Pumice除粗化銅面外，尚可粗化非銅面 Epoxy(環氧樹脂)表面。
三、化學微蝕法(Microetch) 化學微蝕法只針對內層軟板(8mil以下)使用
以避免軟板遭刷磨輪損壞。然而隨著科技進步PCB 層次愈來愈高，化學微蝕法也會搭配刷磨法一起 針對外層板進行銅面處理，加強粗化作用，以利 獲得更加之銅面附著力，提昇壓膜品質。
20
一、刷磨(Brush) 利用刷磨輪均勻拋刷銅面使其平整且刷痕一
致，並獲得均勻粗糙度，如此對乾膜才有良好的 附著力，而為了了解銅面清潔度及粗化度是否合 格，可作水破實驗及刷幅試驗加以驗證。(水破至 少12秒,刷幅0.8~1.2cm)
刷磨輪可分為下列三種： 1、尼龍刷輪：大都以滲有Silicon Carbide等研
調配酸洗液時一定要穿著防護衣、橡膠手套 、護目鏡以避免皮膚沾附硫酸而受傷。另一注意 重點是一定要在酸洗槽內先注入純水，才可緩慢 倒入硫酸，以免硫酸因快速脫水作用而濺出，傷 害人體。
19
1.1.3.銅面處理 乾膜對板子的銅面附著力要求相當高，一般
需承受50分鐘以上的線路鍍銅及15分鐘左右的氟 硼酸錫鉛電鍍，而高分佈力錫鉛鍍液中含有游離 氟硼酸高達400g/L以上，因此銅面上的附著力特 顯重要，否則易出現間距區(Spacing)的滲鍍現 象，造成蝕銅的困難而成鋸齒狀線路，嚴重者甚 至形成短路。因此藉由機械刷磨法、化學法及噴 砂法等方式處理使附著於裸銅板面上油脂、異物 及板面氧化情形能夠排除，並獲得平整且粗糙度 一致的銅面，再經由吹、烘乾板子使其成為一片 具有良好附著力的待壓膜板，以利壓膜製程能順 利進行。為獲得良好的銅面，我們須對其進行加 工處理，隨著板子型態不同而有以下處理方式：
26
1.2.壓膜製程(Lamination) 製程：壓膜前清潔→壓膜→壓膜後清潔、靜置
1.2.1.壓膜前清潔 裸銅板經由刷磨前處理線處理後會產生甚多
銅粉等異物，故需經由清潔機予以黏除板上之異 物，以防止髒點產生。其注意要點如下： *需使用高黏度之黏塵紙。 *每清潔150~180panel則需將黏塵紙割除更新。 *上、下黏塵滾輪需平整，不得有凹陷、缺口等影 響清潔品質之情形發生。 *每日應要求作業人員使用酒精或異丙醇擦拭黏塵 滾輪，以防止其老化或沾附殘膠，而造成困擾。
*軟硬板皆可使用 *孔不會變形
*需用到較大場地 *廢液處理問題 *廢水處理問題
24
1.1.5.水洗 水洗最主要的用意在於將先前板子銅面經由
刷磨、化學微蝕處理後所產生之銅屑及化學微蝕 藥液沖洗乾淨，而顯露出完美之銅面。為能提供 良好的水洗效果，應注意下列事宜： *定時檢查噴嘴是否阻塞。 *噴嘴噴出的水型應為扇型，且應一致與滾輪軸 心平行。 *噴嘴方向應向入料方向偏移約5度左右，以防止 廢水殘留在銅面上。
25
1.1.6.吹乾、烘乾 因板子先前經由純水高壓噴洗，故在進入壓
膜製程時需將板子銅面上的水分藉由風刀強力吹 乾及烘乾，並將其板面工作溫度加溫至75±5℃左 右，以利板子能順利與乾膜結合。風刀的風源係 由鼓風機提供，為得到較潔淨之風源，一般而言 鼓風機均會加裝過濾罐，以過濾空氣中的雜質。 所以工作人員應定期清潔過濾罐及風刀出口，以 防止異物藉由風刀強力吹向板子而造成反沾。
*微蝕槽液配槽方法 (1)先行確認微蝕槽體積，以500L為例。 (2)先於建浴槽加水至500L，取50L純硫酸加入建
浴槽。 (3)取50L硫酸雙氧微蝕劑(安定劑)加入建浴槽。 (4)取50L雙氧水加入建浴槽。 (5)將上述已配好之藥液引入微蝕槽即可。
23
*銅面處理製程優缺比較表
表面處理方式
優點
1.4.顯影製程
2.無塵室管理 2.1.何謂無塵室 2.2.無塵室等級區分 2.3.無塵室人員及物品進出之管理與清潔 2.3.1.人員及物品進出 2.3.2.無塵室清潔 2.4.無塵室人員穿著
3
3.設備參數 3.1.刷磨機 3.2.壓膜機 3.3.曝光機 3.4.顯影機
4.乾膜製程缺點預防及改善方法 4.1.刷磨製程 4.2.壓膜製程 4.3.曝光製程 4.4.顯影製程
*連結劑(Binder) 例：Polyacrylate、Polyurehanes
Polystyrene、Polycarbonates Copolyester、Epoxy 主要為含酸基的線型熱可塑性高分子，目的在使 乾膜組成具成膜性，並提供酸基供乾膜顯像及剝 膜時與鹼液作用。其應注意要項如下： a.玻璃軟化程度(Tg)、壓膜時膠在銅面上流動性 、填孔隙能力、儲存時流膠程度。 B.分子量-乾膜蓋孔性(Tenting)能力。 C.酸價-顯像和剝膜速度及耐鹼能力。 d.溶劑-毒性、生產時烘乾操作條件。
起始劑吸收UV光後形成自由基型態，目的在提供 光反應單體聚合所需的自由基。通常會含有數種 起始劑以便吸收不同波長的UV光。其注意要點如 下： a.反應性-在越低曝光能量下仍有高濃度自由基生
成。 b.熱安定性-儲存、生產壓膜時不可有自由基生成
。
11
*可塑劑(Plasticizer) 例：Plthalic Esters 、Glycol Esters
缺點
刷輪磨刷
*投入成本低 *使用簡便 *低消耗 *低資本
*銅屑過濾問題 *軟板無法使用 *刷輪需整刷及調水 平
噴砂法
*極易維修 *幾乎不需停機 *初期投資低 *孔不會變形 *軟硬板皆可使用 *低水量需求 *無廢水處理問題 *可用於基板磨刷 *低使用成本
*較一般磨刷機略大 *如無回收設備成本 較高
化學微蝕
乾 膜 教 育 訓 練 課 程
1
【課程大綱】
1.乾膜光阻製程 1.1.銅面前處理製程 1.1.1.外觀檢查 1.1.2.酸洗 1.1.3.銅面處理 1.1.4.水洗 1.1.5.吸乾吹乾、烘乾
1.2.壓膜製程 1.2.1.壓膜前清潔 1.2.2.壓膜 1.2.3.壓膜後清潔
2
1.3.曝光製程 1.3.1.曝光前底片檢查、清潔 1.3.2.曝光 1.3.3.曝光後靜置
14
*安定劑(Stabilizer) 例：Hydroquinone、Nitrobenzene、
P-toluquinone、Cuprous Chloride 安定劑主要防止乾膜熱壓時 而產生聚合。它也 可延長乾膜儲存期限。其注意要點如下： a.安定性-不可妨礙乾膜其他元素之進行。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操 作。
Phosphoric Esters 可塑劑可增加壓膜時乾膜的流動性、增加填孔隙 能力，促進乾膜與銅面的密著度。其注意要點如 下： a.相容性-須與其他組成混合呈均勻狀態。
12
*染料(Dye) 例：Acid Green 、Ethyl Violet、
Methyl Green、Mehtyl Violet 染料可使乾膜本身具有顏色以便於辨識，一般以 藍色或綠色為主。其注意要點如下： a.吸光性-避免和光起始劑吸收相同波長的光。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操 作。
9
*光反應單體(Photomonomer) 例：單官能基(Monofunctional)BA、EA
雙官能基(Difunctional)HDDA、TPGDA、 PEGDA 多官能基(Multifunctional)TMPTA、 PETA、DTMPTA
含未飽和雙鍵的單體或寡聚體(Oligomer)，目的 在使曝光時進行自由基鏈聚合反應 (ChainReaction)。其注意要項如下： a.黏度-可與連結劑共同調整乾膜至適當黏度，而
13
*變色劑(Color Changing Agent) 例：Leuco Crystal Violet、Diphenylamine
Triphenylaniline、Dibenzylaniline
變色劑可促使乾膜在曝UV光時由無色變為有色， 以利作業員辨識。其注意要點如下： a.吸光性-避免和光起始劑吸收相同波長的光。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操 作。 c.發色率-變色要深，一般為藍色。
15
*黏著促進劑(Adhesion Promoter) 例：Thiohydrazide、Diphenyl Carbazone
2-Mercaptobenzothiazole 其主要目的為增進乾膜底部與銅面密著，主要成 分為含氮之雜環化合物(Hetero Cylic Nitrogen COM Pounds)。其注意要點如下： a.安定性-不可妨礙乾膜其他元素之進行。 b.污染性-不可有滲出情形，以免影響電鍍操作。
磨劑抽成的塑鋼纖維為基材製成，其最大優點 為耐用。 2、不織布刷輪：以不織布磨片為基材製成的圓筒 狀刷輪，清潔力強，磨刷後銅面較平滑，缺點 為較不耐用，磨屑較多。 3、白毛清洗刷輪：以未滲有研磨劑的尼龍纖維為 基材，主要用在表面清洗。
21
二、噴砂法(Pumice) 噴砂法即為Pumice，其為約70%矽化物火山岩
27
1.2.2.壓膜 乾膜是由蓋膜層、感光阻劑層、隔膜層等三
者合而為一。為了將乾膜完整的貼附在銅面上， 因此利用壓膜機的捲輪將乾膜底部隔膜層撕開， 使中間的感光阻劑層藉由溫度已達110±10℃的壓 膜滾輪將其壓在加熱的銅面上，而乾膜在壓膜滾 輪高溫加熱下，感光阻劑層會形成流體狀，使其 能貼附在具有均勻粗化面的銅面上。
16
*溶劑(Solvent) 例：Acetone、Methyl Ethyl Ketone、
Methyl Acetate、Xylene、Ethyl Acetate 其主要用途在溶解各成份，使組成均勻，以利塗 膠(Coating)操作。
17
1.1.銅面前處理製程 製程：外觀檢查→酸洗→銅面前處理(刷磨)
7
百度文库
乾膜光阻主要以下列三種不同材料夾心而成 *蓋膜層(Cover Sheet材質為聚酯類Polyester，
簡稱PET，商名為Mylar)。 *感光阻劑層(Photopolymer Resist)。 *隔膜層(Separator Sheet材質為聚乙烯 Polyethyleve)
8
感光阻劑層為附著於銅面上之主體，下列針對其 結構作一介紹：
得到良好貼膜性且避免流膠。 b.毒性-沸點高、揮發性低、對皮膚刺激性低。 c.反應性-自由基鏈聚合反應速率越快越佳。 d.互溶性-與其他元素組成互溶性需佳。
10
*光起始劑(Photoinitiator) 例：Benzoin、Benzophenone、Irgacure 907、
Irgacure 651、Irgacure 369、ITX、 CTX、DETX
6
前者是指乾膜受到感光刺激的部分會發生分解作 用而被顯影液所洗掉；未感光的部分則留在物體 表面上。後者是指乾膜受到感光的部分會發生聚 合作用而硬化，未感光處則為原來的單體分子而 被顯像液所洗掉。目前乾膜製程以使用後者為 主。
乾膜依效能發展先後大致可分為下列三種： *溶劑顯像型 *半水溶液顯像型 *鹼(全)水溶液顯像型 目前業界均以使用鹼水溶液顯像型為主，前兩者 已近乎淘汰。
4
5.乾膜各製程機台保養程序 5.1.刷磨機 5.2.壓膜機 5.3.曝光機 5.4.顯影機
5
【1.乾膜光阻製程】 早在1950年代左右乾膜使用於印刷工業上取
代非感光性溼膜阻劑之塗佈作為影像轉移。到了 1968年美國杜邦公司首度發展出應用於電子工業 的感光性聚合物乾性移像膜，PCB製造也開始步入 另一個里程碑。而杜邦公司的專利權到1984年結 束後，陸續有多家世界級的公司也發展出自有品 牌加入商場競爭。例：Hitachi、Morton、 Eternal…等。 乾膜依其機轉作用可分為正片工作膜(Positive Work Film or Positive Image)及負片工作膜 (Negative Work Film or Negative Image)兩種
→水洗→微蝕 →水洗→吹乾、烘乾 1.1.1.外觀檢查
裸銅板在進入銅面前處理線前應先行檢查板 邊是否有空洞、銅面嚴重凹陷、銅皮脫落、三角 刮傷等影響刷磨品質之異常現象發生。若有上述 異常現象則應將板子退回前製程重工。
18
1.1.2.酸洗 其目的在於將銅面上的油脂、氧化物等異物
以稀硫酸噴洗的方式將其去除。調配藥水方式為 首先在酸洗槽內加入純水約八分滿，再緩慢倒入 純硫酸，調配成3~5%之稀硫酸。例：若酸洗槽為 500L則可加入15~25L純硫酸。
所組成，具有刷磨及吸收兩種功能。Pumice利用 其外表粗糙且多孔接觸到銅面時能將氧化物去 除，Pumice除粗化銅面外，尚可粗化非銅面 Epoxy(環氧樹脂)表面。
三、化學微蝕法(Microetch) 化學微蝕法只針對內層軟板(8mil以下)使用
以避免軟板遭刷磨輪損壞。然而隨著科技進步PCB 層次愈來愈高，化學微蝕法也會搭配刷磨法一起 針對外層板進行銅面處理，加強粗化作用，以利 獲得更加之銅面附著力，提昇壓膜品質。
20
一、刷磨(Brush) 利用刷磨輪均勻拋刷銅面使其平整且刷痕一
致，並獲得均勻粗糙度，如此對乾膜才有良好的 附著力，而為了了解銅面清潔度及粗化度是否合 格，可作水破實驗及刷幅試驗加以驗證。(水破至 少12秒,刷幅0.8~1.2cm)
刷磨輪可分為下列三種： 1、尼龍刷輪：大都以滲有Silicon Carbide等研
調配酸洗液時一定要穿著防護衣、橡膠手套 、護目鏡以避免皮膚沾附硫酸而受傷。另一注意 重點是一定要在酸洗槽內先注入純水，才可緩慢 倒入硫酸，以免硫酸因快速脫水作用而濺出，傷 害人體。
19
1.1.3.銅面處理 乾膜對板子的銅面附著力要求相當高，一般
需承受50分鐘以上的線路鍍銅及15分鐘左右的氟 硼酸錫鉛電鍍，而高分佈力錫鉛鍍液中含有游離 氟硼酸高達400g/L以上，因此銅面上的附著力特 顯重要，否則易出現間距區(Spacing)的滲鍍現 象，造成蝕銅的困難而成鋸齒狀線路，嚴重者甚 至形成短路。因此藉由機械刷磨法、化學法及噴 砂法等方式處理使附著於裸銅板面上油脂、異物 及板面氧化情形能夠排除，並獲得平整且粗糙度 一致的銅面，再經由吹、烘乾板子使其成為一片 具有良好附著力的待壓膜板，以利壓膜製程能順 利進行。為獲得良好的銅面，我們須對其進行加 工處理，隨著板子型態不同而有以下處理方式：
26
1.2.壓膜製程(Lamination) 製程：壓膜前清潔→壓膜→壓膜後清潔、靜置
1.2.1.壓膜前清潔 裸銅板經由刷磨前處理線處理後會產生甚多
銅粉等異物，故需經由清潔機予以黏除板上之異 物，以防止髒點產生。其注意要點如下： *需使用高黏度之黏塵紙。 *每清潔150~180panel則需將黏塵紙割除更新。 *上、下黏塵滾輪需平整，不得有凹陷、缺口等影 響清潔品質之情形發生。 *每日應要求作業人員使用酒精或異丙醇擦拭黏塵 滾輪，以防止其老化或沾附殘膠，而造成困擾。
*軟硬板皆可使用 *孔不會變形
*需用到較大場地 *廢液處理問題 *廢水處理問題
24
1.1.5.水洗 水洗最主要的用意在於將先前板子銅面經由
刷磨、化學微蝕處理後所產生之銅屑及化學微蝕 藥液沖洗乾淨，而顯露出完美之銅面。為能提供 良好的水洗效果，應注意下列事宜： *定時檢查噴嘴是否阻塞。 *噴嘴噴出的水型應為扇型，且應一致與滾輪軸 心平行。 *噴嘴方向應向入料方向偏移約5度左右，以防止 廢水殘留在銅面上。
25
1.1.6.吹乾、烘乾 因板子先前經由純水高壓噴洗，故在進入壓
膜製程時需將板子銅面上的水分藉由風刀強力吹 乾及烘乾，並將其板面工作溫度加溫至75±5℃左 右，以利板子能順利與乾膜結合。風刀的風源係 由鼓風機提供，為得到較潔淨之風源，一般而言 鼓風機均會加裝過濾罐，以過濾空氣中的雜質。 所以工作人員應定期清潔過濾罐及風刀出口，以 防止異物藉由風刀強力吹向板子而造成反沾。