透射电子显微镜培训——仪器操作

→检查电镜状态
提示窗口 样品杆位置 样品杆位置

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2. 装入样品杆
 样品杆选择：单倾杆或双倾杆（单晶电子衍射常用）；  确认坐标值近似为零，否则请UI-Search-Holder清零；  样品杆限位突针对准样品台5点方向的Close标线，沿水平插入样品杆  红灯亮，预抽开始 ；

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步长

样品台α 样 品 台 多功能键（X） 轨迹球 强度 消像散 左手面板

多功能键（Y） 荧光屏起落 倍率 聚焦

β 暗场

衍射 共心高度

摇摆
样品台的Z 样品位置（X,Y）

右手面板

左右控制面板功能说明

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 调消像散器: → 左控面板Stigmator-Condenser → 会聚的束斑变圆 → 聚光镜聚焦能力对称（消除散光）

光斑

校正像散

（用强度钮调整过焦或欠焦时）

是否需要合轴？ 如何判断调哪里？ 如何判断已调节好？

聚光镜消像散

束偏转线圈节点
同心高度 转动中心 物镜消像散 物镜光阑对中

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照明系统合轴

成像系统合轴

TEM模式时荧光屏上： 光斑圆、亮度均匀、同心收缩

贯穿于整个拍照过程

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电子枪合轴（Gun tilt，Gun shift）

UI软件

DM软件

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三、TF20透射电镜的操作使用
1. 实验前检查 2. 装入样品杆 3. 电镜合轴 4. 电镜实验（形貌、衍射、高分辨、能谱、STEM像） 5. 拔出样品杆 6. 结束实验

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透射电镜实验室

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讲在上机自主操作前的

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JEOL2100透射电子显微镜（C116）
主要配置和功能  LaB6灯丝，200kv  Oxford能谱仪  单倾样品台、双倾样品台  Gatan831 CCD，分辨率2k×2k  点分辨率：0.23 nm

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配 套 设 备（C117）
 块体制样设备（半导体、陶瓷、金属、薄膜等）
 低速金刚石圆盘锯  Gatan691/695机械预减薄设备  Gatan离子减薄仪  Fischione离子减薄仪（带冷冻功能）  Gatan950等离子清洗仪

 高分子材料制样设备

UI软件提示位置： 突针

5点

中国科学院宁波材料技术与工程研究所  数分钟后红灯熄灭，及时绕水平轴逆时针旋转样品杆至Open线，让样品 杆的下方销钉对准样品台的圆孔 ；  在真空吸力的作用下，手握样品杆将其沿水平轴平稳送到底；并确认样品 杆安装到位；  UI软件界面，点击Turbo on停止分子泵（由黄色变为黑色）

电子束与光轴相对位置示总意图

【操作】Direct Alignment-gun tilt: → 没有样品或样品的孔洞中 → 照明强度最大 （多功能键X，Y） → 电子束与光轴平行

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聚光镜消像散 （C2 astigmatism correction ） 【表现：荧光屏处光斑不圆】
 RMC pt-xl超薄切片机（带冷冻附件）  钻石刀

 Leica金相显微镜/Leica体式显微镜
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二、TF20 TEM各部分说明

C1光阑 C2光阑 物镜光阑 选区光阑 STEM附件 观察窗

能谱仪 样品台

液氮冷阱

控制面板 CCD相机

销钉
样品杆安装教学 视频（点击观看）

圆孔

【注意事项】    红色灯亮时，不能对样品杆做任何动作； 此操作务必保持样品杆水平进入；在样品杆推进过程中不可做旋转动作； 样品杆螺丝精密贵重且易丢失，请小心谨慎操作；

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三、合轴调整
需要做哪些合轴调整
电子枪合轴
聚光镜光阑对中

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TF20热场发射电子显微镜（C112）
主要配置和功能  热场发射灯丝，200kv  EDAX能谱仪  单倾样品台、双倾样品台  Gatan894 CCD，分辨率2k×2k  点分辨率：0.24 nm  扫描透射（STEM）附件  液氮冷冻样品杆（-170℃）

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电镜状态检查：打开Tecnai UI ，DigitalMicrograph（DM）
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
真空

真空

高压 高压

灯丝

电子枪

真空：Column：6（若大于6，请告知管理员） 高压：High Tension为黄色，滑块在200位置 灯丝：Operate为黄色 样品杆位置：X,Y,Z,A,B接近于零，否则请清零 （点击上部Search-Holder） 提示窗口：空白，无任何错误提示信息。 （若有，请联系管理员）

软件说明
User Interface（UI）：电镜控制软件 Digital Micrograph（DM）：图像获取及处理软件 TEM Imaging & Analysis（TIA）能谱及STEM软件 GenesisR TEM：能谱探头控制软件

DM

R-TEM

UI

TIA

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透射电子显微镜培训
（第二部分 仪器操作）
中科院宁波材料所公共技术服务中心 透射电镜实验室
卢焕明 陈国新 刘艳 孙可卿

2016年4月18日

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

主要内容
一、TEM实验室仪器情况 二、TF20基本结构及软件

三、TF20 的操作使用
四、JEM2100使用简介

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透射电镜实验室
透射电子显微镜是一个：
 高压设备  高真空设备  复杂的电子系统

 精密昂贵的大型仪器

请小心谨慎的操作，切勿尝试超出培训外的其它操作

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1. 实验前检查
 环境检查：温度21℃，空调、除湿机正常开启；  电镜检查：循环水正常（管理员检查） 冷阱液氮已添加（早上、中午各添加一次） UI软件界面各项参数正常（详见下页）