PVD镀膜工艺

合集下载

PVD镀膜工艺设计

PVD镀膜工艺设计

PVD镀膜工艺设计PVD(Physical Vapor Deposition)镀膜工艺是一种利用物理能量将材料蒸发或溅射到基底表面形成薄膜的技术。

在PVD镀膜工艺设计中,需要考虑多方面的因素,如镀膜材料的选择、沉积条件的控制、工艺参数的优化等。

首先,选择合适的镀膜材料对于PVD工艺设计至关重要。

常见的镀膜材料包括金属、合金、金属氮化物等。

选择合适的材料需要考虑膜层功能要求、基底材料的特性以及应用环境等因素。

例如,如果需要耐腐蚀的膜层,则可选择具有良好耐蚀性能的合金材料,如不锈钢。

其次,控制沉积条件是确保膜层性能稳定的关键。

沉积条件包括沉积温度、沉积压力、沉积速率等。

沉积温度是指将镀膜材料加热到一定温度,使其蒸发或溅射到基底表面形成薄膜。

沉积压力是指在沉积过程中维持的气体压力,通常使用惰性气体如氩气来控制压力。

沉积速率是指单位时间内沉积的材料厚度,其控制与沉积压力、沉积温度等因素有关。

此外,优化工艺参数也是PVD镀膜工艺设计的重要环节。

工艺参数包括镀膜时间、预处理方式、沉积源功率等。

镀膜时间需要根据所需膜层厚度以及沉积速率来确定。

预处理包括清洗、退火等步骤,旨在提高基底表面的洁净度和结晶度,以增强膜层的附着力。

沉积源功率是指控制沉积源蒸发或溅射的能量输入,它对膜层的成分和结构具有重要影响。

在PVD镀膜工艺设计中,还需要考虑膜层的表面质量和均匀性。

有效控制沉积过程中的各项参数,如温度、压力、功率等,能够减少不均匀和缺陷的出现,提高膜层的质量。

此外,对于一些表面特殊性要求较高的镀膜,还可以采用控制沉积条件的方法,如倾斜沉积、旋转沉积等,以获得特殊的表面形貌和结构。

综上所述,PVD镀膜工艺设计需要考虑多方面的因素。

通过选择合适的镀膜材料、控制沉积条件、优化工艺参数以及保证膜层的表面质量和均匀性,能够得到具有良好性能的薄膜。

在实际应用中,还需根据具体的需求和情况进行不同的调整和改进,以获得更好的镀膜效果。

PVD加工工艺流程

PVD加工工艺流程

PVD加工工艺流程一、前处理工艺: 1.来料抽检 2.电镀件过碱去油 ,清水清洗.4.过酸表面洁化 ,清水清洗5.丙酮+滑石粉清洗6.擦洗.二、上挂三、PVD处理工艺: 1.烘烤:80摄食度2.镀膜: 真空抽到4.5-2帕保持真空度2.8-1帕成膜四、出炉五、下挂六、全检PVD简介1. PVD的含义—PVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写,中文意思是“物理气相沉积”,是指在真空条件下,用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。

2. PVD镀膜和PVD镀膜机—PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。

对应于PVD技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。

近十多年来,真空离子镀膜技术的发展是最快的,它已经成为当今最先进的表面处理方式之一。

我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜;通常所说的PVD镀膜机,指的也就是真空离子镀膜机。

3. PVD镀膜技术的原理—PVD镀膜(离子镀膜)技术,其具体原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。

4. PVD镀膜膜层的特点—采用PVD镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。

5. PVD镀膜能够镀出的膜层种类—PVD镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法,它能够制备各种单一金属膜(如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜(TiN、ZrN、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。

6. PVD镀膜膜层的厚度—PVD镀膜膜层的厚度为微米级,厚度较薄,一般为0.3μm ~5μm,其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.3μm ~1μm ,因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能,镀后不须再加工。

pvd真空渐变镀膜

pvd真空渐变镀膜

PVD真空渐变镀膜1. 简介PVD(Physical Vapor Deposition)真空渐变镀膜是一种常用的表面处理技术,通过在真空环境中将固体材料蒸发或溅射到基材表面,形成一层薄膜。

这种技术广泛应用于各个领域,如光学、电子、医疗器械等。

本文将详细介绍PVD真空渐变镀膜的工艺、应用以及未来发展趋势。

2. 工艺流程PVD真空渐变镀膜的工艺流程包括以下几个主要步骤:2.1 清洗与预处理在进行镀膜之前,需要对基材进行清洗和预处理。

清洗可以去除表面的污染物和氧化层,提高镀膜的附着力。

预处理包括去除气体和水分,保证后续步骤在真空环境中进行。

2.2 蒸发或溅射源选择根据需要制备的薄膜材料,选择相应的蒸发或溅射源。

常见的源材料有金属、合金、氧化物等。

蒸发源通过加热使材料蒸发,溅射源则通过离子轰击使材料溅射到基材表面。

2.3 真空系统建立将基材和蒸发源或溅射源放置在真空室中,建立所需的真空环境。

通常使用机械泵和分子泵组成的真空系统,将压力降至10-6至10-8 mbar的范围。

2.4 蒸发或溅射过程开始加热或离子轰击蒸发源,使材料蒸发或溅射到基材表面。

通过控制温度、功率、气压等参数,可以调节镀层的厚度和性质。

2.5 混合气体控制在一些特殊的镀膜工艺中,需要添加混合气体来改变镀层的成分和性质。

混合气体可以通过质量流量控制器精确地加入到真空室中。

2.6 膜层监测与控制在镀膜过程中,需要对膜层进行实时监测和控制。

常用的方法包括光学薄膜监测仪、椭偏仪等。

通过反馈控制系统,可以实现对膜层厚度和光学性能的精确控制。

2.7 冷却与退火镀膜完成后,需要进行冷却和退火处理,以提高薄膜的致密性和结晶度。

冷却过程中要避免快速温度变化,以防止薄膜出现应力和裂纹。

3. 应用领域PVD真空渐变镀膜技术在各个领域都有广泛的应用,下面列举几个常见的应用领域:3.1 光学镀膜PVD真空渐变镀膜在光学领域中应用广泛。

通过控制材料的组分和厚度,可以实现对光的透射、反射和吸收特性的调控。

pvd工艺流程最简单方法

pvd工艺流程最简单方法

VD (Physical Vapor Deposition) 即物理气相沉积,分为:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。

我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜;通常说的NCVM镀膜,就是指真空蒸发镀膜和真空溅射镀。

真空蒸镀基本原理:在真空条件下,使金属、金属合金等蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,电子束轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,历史上,真空蒸镀是PVD法中使用最早的技术。

溅射镀膜基本原理:充氩(Ar)气的真空条件下,使氩气进行辉光放电,这时氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+),氩离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。

溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。

离子镀基本原理:在真空条件下,采用某种等离子体电离技术,使镀料原子部分电离成离子,同时产生许多高能量的中性原子,在被镀基体上加负偏压。

这样在深度负偏压的作用下,离子沉积于基体表面形成薄膜。

离子镀的工艺过程:蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。

离子镀的作用过程如下:蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生辉光放电。

由于真空罩内充有惰性氩气,在放电电场作用下部分氩气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。

带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。

随后,接通蒸发源交流电源,蒸发料粒子熔化蒸发,进入辉光放电区并被电离。

带正电荷的蒸发料离子,在阴极吸引下,随同氩离子一同冲向工件,当抛镀于工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。

PVD镀膜工艺设计

PVD镀膜工艺设计

PVD镀膜工艺PVD镀膜工艺1.装饰件材料(底材)(1)金属。

不锈钢、钢基合金、锌基合金等。

(2)玻璃、陶瓷。

(3)塑料。

abs、pvc、pc、sheet、尼龙、水晶等。

(4)柔性材料。

涤纶膜、pc、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。

2.装饰膜种类(1)金属基材装饰膜层:tin、zrn、tic、crnx、ticn、crcn、ti02、al等。

(2)玻璃、陶瓷装饰膜层:tio2、cr2o3、mgf2、zns等。

(3)塑料基材装饰膜层:ai、cu、ni、si02、ti02、ito、mgf2。

(4)柔性材料装饰膜层:al、lto、ti02、zns等。

3.部分金属基材装饰膜颜色金属基材装饰膜的种类和色调很多。

表1为部分金属基材装饰膜的种类及颜色。

表1 部分金属基材装饰膜的种类及颜色膜层种类色调tinx浅黄、金黄、棕黄、黑色tic浅灰色、深灰色ticxny赤金黄色、玫瑰金色、棕色、紫色tin+ au金色zrn金黄色zrcxny金色、银色tio2紫青蓝、绿、黄、橙红色crnx银白色tixal-nx金黄色、棕色、黑色金黄色3.装饰膜的镀制工艺一.金属件装饰膜镀制工艺比较成熟的镀膜技术有电弧离子镀、磁控溅射离子镀和复合离子镀。

下面分别从各类镀膜技术中选取一种具有代表性的典型镀制工艺进行介绍。

1)用电弧离子镀的方法为黄铜电镀亮铬或镍手表壳镀制ticn膜。

采用小弧源镀膜机和脉冲偏压电源;(1)工件清洗、上架、入炉工件在入炉之前要经过超声波清洗、酸洗和漂洗三道工序。

首先是在超声波清洗槽中放入按使用要求配制的金属清洗剂,利用超声波进行脱脂、清洗。

清洗之后,进行酸洗,它可以中和超声波清洗时残余的碱液,还能起到活化处理的作用。

然后进行漂洗以彻底除去酸液,漂洗时必须采用去离子纯净水或蒸馏水。

经过三洗后,即时进行烘干,温度一般控制在100℃左右,时间为1h左右。

也可以风吹干后马上人炉。

(2)镀膜前的准备工作①清洁真空镀膜室。

用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍。

PVD镀膜工艺设计

PVD镀膜工艺设计

PVD镀膜工艺设计PVD(Physical Vapor Deposition)镀膜工艺设计是一种利用物理方法将金属、合金等材料通常在真空条件下沉积在基材表面的技术。

这种技术主要应用于制备薄膜材料,以改善基材的性能和外观。

首先,选择目标材料是PVD镀膜工艺设计的首要任务。

目标材料的选择应根据使用要求和性能需求。

例如,如果需要制备具有较高硬度的镀膜材料,则可以选择金属氮化物或金属碳化物作为目标材料。

选择合适的目标材料有助于提高镀膜的质量和性能。

接下来,需要设定真空环境。

PVD镀膜是在真空条件下进行的,因此需要选择适当的真空设备,并设定合适的真空度。

真空度的选择应根据目标材料和镀膜方法来确定。

较高的真空度可以提高材料的纯度,从而改善镀膜的质量。

选择镀膜方法是PVD镀膜工艺设计的关键一步。

常见的PVD镀膜方法包括物理汽相沉积、溅射、电弧镀等。

不同的镀膜方法具有不同的优势和适用范围。

例如,物理汽相沉积适用于制备具有较高耐磨性的镀膜材料,而溅射适用于制备薄膜材料。

选择工艺参数是确保镀膜质量和性能的重要一步。

工艺参数包括沉积温度、沉积速率、气压、电流等。

这些参数的选择应根据目标材料和镀膜方法的要求来确定。

例如,沉积温度过高可能导致材料晶粒长大,从而降低镀膜的硬度。

进行材料沉积时,需要注意控制沉积速率和沉积时间,以确保镀膜的质量和均匀性。

沉积速率过高可能导致材料的沉积不均匀,从而影响镀膜的性能和外观。

最后,需要对镀膜进行膜层分析,以评估镀膜质量和性能。

膜层分析可以包括表面形貌、结构分析和物理性能测量等。

这些分析结果可用于优化工艺参数和改进镀膜质量。

综上所述,PVD镀膜工艺设计是一项复杂的任务,需要综合考虑材料选择、真空环境、镀膜方法、工艺参数和膜层分析等多个因素。

通过合理设计和优化,可以获得质量优良的镀膜材料,满足不同应用的需求。

PVD镀膜工艺简介

PVD镀膜工艺简介

PVD镀膜工艺简介PVD镀膜(Physical Vapor Deposition)是一种利用物理气相沉积的技术,在高真空环境下,通过蒸发、溅射等方式将金属、合金、化合物等材料以薄膜的形式沉积到基材表面的一种工艺。

PVD镀膜工艺被广泛应用于各个领域,如光学、电子、机械、汽车、建筑等。

蒸发是PVD镀膜中最早应用的一种工艺。

通过加热源将材料加热至蒸发温度,使其转变为气态,然后在真空室内的基板上形成薄膜。

蒸发工艺可以通过电阻加热、电子束加热等方式来进行。

这种工艺的特点是操作简单,成本较低,但适用于蒸发温度较低的材料。

溅射是PVD镀膜中应用较广泛的一种工艺。

通过高能粒子的轰击使靶材表面的原子或离子脱落,然后被沉积在基板表面上形成薄膜。

溅射工艺一般可分为直流溅射、射频溅射、磁控溅射等不同方式。

这种工艺具有较高的沉积速率和较好的膜层均匀性,适用于多种材料的沉积。

离子镀是一种利用离子轰击作用在基材表面上形成薄膜的工艺。

通过向沉积膜层的材料供应高能离子,使其在基板表面发生化学反应并沉积形成薄膜。

离子镀工艺能够提高薄膜的致密性和附着力,适用于复杂形状的基板和高精密要求的镀膜。

在PVD镀膜过程中,需要注意以下几个关键环节。

首先,要确保真空室内的气压稳定,并保持高真空状态,以避免杂质对薄膜质量的影响。

其次,镀膜前需对基材进行表面处理,如清洗、抛光等,以提高薄膜的附着力。

再次,镀膜材料的纯度和均匀性对薄膜性能起着重要影响,因此需要对材料进行精细的处理和选择。

最后,要通过适当的加热、冷却以及离子轰击等方式,使沉积的薄膜具有良好的致密性和均匀性。

PVD镀膜工艺具有许多优点。

首先,它可以在室温下进行,避免了高温对基材产生的热应力和变形。

其次,沉积的薄膜具有较高的质量和均匀性,具有良好的机械性能和化学稳定性。

再次,PVD镀膜可用于多种材料的沉积,如金属、合金、化合物等,具有较大的灵活性和可扩展性。

此外,PVD镀膜还具有低污染性、无溶剂使用、高效节能等环保优势。

pvd电镀工艺

pvd电镀工艺

pvd电镀工艺PVD电镀工艺摘要:PVD(Physical Vapor Deposition)电镀工艺是一种新型的电镀技术,它通过将材料以固态的形式加热,使其转化为气相,然后在材料表面形成薄膜。

PVD电镀工艺具有很多优势,如高度均匀的薄膜质量、较高的附着力、较低的工件变形以及对环境的友好等。

本文将重点介绍PVD电镀工艺的原理、应用以及未来的发展方向。

第一部分:PVD电镀工艺的原理PVD电镀工艺的原理是利用高能粒子(离子、原子或分子)对材料表面进行沉积而形成薄膜。

PVD电镀工艺通常包括以下几个步骤:1. 蒸发:将金属材料以固态形式加热,使其转化为气相。

这个过程通常发生在真空环境中,以防止杂质的存在。

2. 沉积:将蒸发的金属材料沉积到待镀件表面。

沉积过程中,高能粒子会与金属材料表面发生反应,形成均匀的薄膜。

3. 附着:通过控制沉积条件,使薄膜附着在待镀件表面。

PVD电镀工艺通常具有很好的附着力,可以在各种形状和材料的表面形成均匀的薄膜。

4. 后处理:经过沉积和附着后,薄膜需要进行一些后处理步骤,如退火、抛光等,以提高膜层的性能。

第二部分:PVD电镀工艺的应用PVD电镀工艺由于其优秀的性能,在许多领域得到广泛应用。

以下是一些常见的PVD电镀工艺应用:1. 防腐蚀镀膜:PVD电镀工艺可以镀制出高硬度、高耐磨、高附着力的膜层,能够有效延长物件的使用寿命,提高物件的耐腐蚀能力。

2. 装饰镀膜:PVD电镀工艺可以通过调整沉积条件,制备出具有不同颜色、光泽度和纹理的膜层,用于制作高档家居产品、手表、珠宝等。

3. 刀具涂层:PVD电镀工艺可以制备出高硬度、高刚度的涂层,用于制作刀具,提高刀具的切削性能和耐磨性。

4. 光学薄膜:PVD电镀工艺可以制备出具有特殊光学性能的薄膜,如折射率控制膜、反射膜、透明导电膜等,广泛应用于光学器件和显示器件中。

第三部分:PVD电镀工艺的发展方向随着科技的不断发展和社会对环境友好和可持续发展的需求,PVD 电镀工艺也在不断进步和改进。

PVD镀膜工艺简介

PVD镀膜工艺简介

11
12
二、真空溅射镀膜
13
1.真空溅射镀膜的定义
给靶材施加高电压(形成等离子状态),使正荷电气体离子撞击靶材、金属 原子飞弹,而在样品表面形成金属皮膜的方法。
14
15
2.磁控溅射镀膜的定义
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的 氩离子和电子,电子飞向基片,氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量 的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。
爱是什么? 一个精灵坐在碧绿的枝叶间沉思。 风儿若有若无。 一只鸟儿飞过来,停在枝上,望着远处将要成熟的稻田。 精灵取出一束黄澄澄的稻谷问道:“你爱这稻谷吗?” “爱。” “为什么?” “它驱赶我的饥饿。” 鸟儿啄完稻谷,轻轻梳理着光润的羽毛。 “现在你爱这稻谷吗?”精灵又取出一束黄澄澄的稻谷。 鸟儿抬头望着远处的一湾泉水回答:“现在我爱那一湾泉水,我有点渴了。” 精灵摘下一片树叶,里面盛了一汪泉水。 鸟儿喝完泉水,准备振翅飞去。 “请再回答我一个问题,”精灵伸出指尖,鸟儿停在上面。 “你要去做什么更重要的事吗?我这里又稻谷也有泉水。” “我要去那片开着风信子的山谷,去看那朵风信子。” “为什么?它能驱赶你的饥饿?” “不能。” “它能滋润你的干渴?” “不能。”爱是什么? 一个精灵坐在碧绿的枝叶间沉思。 风儿若有若无。 一只鸟儿飞过来,停在枝上,望着远处将要成熟的稻田。 精灵取出一束黄澄澄的稻谷问道:“你爱这稻谷吗?” “爱。” “为什么?” “它驱赶我的饥饿。” 鸟儿啄完稻谷,轻轻梳理着光润的羽毛。 “现在你爱这稻谷吗?”精灵又取出一束黄澄澄的稻谷。 鸟儿抬头望着远处的一湾泉水回答:“现在我爱那一湾泉水,我有点渴了。” 精灵摘下一片树叶,里面盛了一汪泉水。 鸟儿喝完泉水,准备振翅飞去。 “请再回答我一个问题,”精灵伸出指尖,鸟儿停在上面。 “你要去做什么更重要的事吗?我这里又稻谷也有泉水。” “我要去那片开着风信子的山谷,去看那朵风信子。” “为什么?它能驱赶你的饥饿?” “不能。” “它能滋润你的干渴?” “不能。”

PVD镀膜工艺简介

PVD镀膜工艺简介

生物医疗
用于制造具有生物相容性和耐 腐蚀性能的医疗器械和人工关
节等。
02
PVD镀膜工艺流程
前处理
清洗
去除工件表面的污垢、油脂和杂 质,确保工件清洁,以便进行后 续镀膜。
干燥
将清洗后的工件进行干燥处理, 以去除残留的水分,避免对镀膜 效果产生影响。
真空镀膜
蒸发源选择
根据需要镀制的膜层材料,选择相应 的蒸发源,如电子束蒸发、激光脉冲 蒸发等。
PVD镀膜工艺简介
目 录
• PVD镀膜技术概述 • PVD镀膜工艺流程 • PVD镀膜材料 • PVD镀膜工艺的特点与优势 • PVD镀膜工艺的应用实例
Байду номын сангаас1
PVD镀膜技术概述
PVD镀膜技术的定义
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD)是一 种表面处理技术,利用物理方法将固体材料转化为气态原子或 分子,并将其沉积在基材表面形成薄膜。
类金刚石镀膜
具有极高的硬度和优良的 耐磨性,常用于机械零件、 光学元件、医疗器械等领 域的表面处理。
碳化物镀膜
具有高硬度、高耐磨性等 特点,常用于切削工具、 模具等领域的表面处理。
复合镀膜材料
氧化铝/氮化钛镀膜
氧化锆/类金刚石镀膜
具有高硬度、优良的耐磨性和耐腐蚀 性等特点,广泛用于切削工具、刀具 等领域的表面处理。
适用范围广
PVD镀膜工艺适用于各种金属材料, 如不锈钢、钛、铝、钴等,也可应用 于陶瓷、玻璃等非金属材料。
优良的结合力
PVD镀膜层与基材之间具有优良的结 合力,不易剥落,提高了产品的可靠 性和安全性。
长寿命
PVD镀膜层具有较长的使用寿命,可 大幅减少维修和更换的频率,降低生 产成本。

真空镀膜(PVD)工艺介绍

真空镀膜(PVD)工艺介绍

编撰:张学章真空镀膜(PVD)工艺介绍真空镀膜(PVD)工艺知识介绍2010年01月20日拟订:张玉立讲解:刘红彪目录1. 真空镀膜技术及设备发展;2. 真空镀膜的工艺基本流程;3.真空镀膜的工艺特性;4.真空镀膜工艺对素材的适镀性及要求;5.真空镀膜工艺关键技术与先进性;6.真空镀膜新工艺展示;7.东莞劲胜精密组件股份有限公司PVD专利介绍;前言真空镀膜行业兴起背景;随着欧盟RoHS指令的实施及各国针对环保问题纷纷立法。

传统高污染之电镀行业已不符合环保要求,必将被新兴环保工艺取代。

而真空镀膜没有废水、废气等污染,在环保上拥有绝对优势,必将兴起并普及。

1:真空镀膜技术及设备发展1. 制膜(或镀膜)方法可以分为气相生成法、氧化法、离子注入法、扩散法、电镀法、涂布法、液相生成法等。

气相生成法又可分为物理气相沉积法(简称PVD法)化学气相沉积法和放电聚合法等。

我们今天主要介绍的是物理气相沉积法。

由于这种方法基本都是处于真空环境下进行的,因此称它们为真空镀膜技术。

惰性气体等离子状态Ar+2:真空镀膜的工艺基本流程素材检检组装治具擦拭产品底涂上下料喷底涂、IR镀膜上下料镀膜(PVD)喷面漆、IR(颜色)下治具检验包装IR 烘烤不导电真空上料PVD 技术操作简易流程图片技术操作简易流程图片:塑胶件采用专用的UV 涂料,用自动涂装线喷涂,对素材进行封闭、增加基材平整性。

高纯度锡金属作为蒸发材料进行物理气相沉积镀膜,镀层金属膜层厚度为纳米级(30-50NM )金属原子微观上不连接,从而保证不导电性能,同时具备较强的金属质感。

塑胶件采用专用的UV 涂料,用自动涂装线喷涂,对素材进行封闭、增加基材平整性。

UV 涂层膜厚,表面硬度(IR 烤箱温度、UV 紫外光固化能量、波峰值)精确控制,严格测试。

通过制程各项工程参数(如真空度、电流、电压、时间、膜材用量)的精确控制及严格的品质监测流程、设备(镀层阻抗测量、网络分析仪RF 射频测试)确保制程品质稳定。

PVD镀膜工艺范文

PVD镀膜工艺范文

PVD镀膜工艺范文PVD(Physical Vapor Deposition)是一种通过物理手段将具有良好特性的薄膜沉积在基底材料表面的工艺。

它是一种干法沉积工艺,主要适用于金属、陶瓷和有机材料的沉积。

1.蒸发法:蒸发法主要通过加热源将材料加热到高温,使其蒸发成气态后,通过凝结在基底材料表面。

蒸发法主要分为电子束蒸发和电弧蒸发两种。

电子束蒸发是将材料放置在真空腔中,利用加热的钨丝或电铲,通过加热材料使其蒸发成气态,然后通过真空腔中的电子束,将材料蒸发沉积在基底材料表面。

这种方法最大的优点是沉积速度快,但腔体设计复杂,设备价格较高。

电弧蒸发是将材料放置在电弧区域中,通过电弧的高温熔化材料,使其蒸发成气态,然后通过电弧区域的高能电子束,将材料蒸发沉积在基底材料表面。

这种方法的优点是设备价格较低,但沉积速度较慢,由于电弧区域会产生气体等污染物质,膜的制备也较为复杂。

2.溅射法:溅射法是利用高能离子轰击材料表面,将材料溅射成离子,然后沉积在基底材料表面。

溅射法主要分为磁控溅射、电弧溅射、激光溅射等。

磁控溅射是最常见的溅射方法之一,它通过在真空腔中施加磁场,电离气体形成的离子在磁场的作用下,从材料表面溅射。

这种方法优点是可以得到均匀的膜厚,且适用于多种材料的沉积。

电弧溅射是在电弧区域形成高温电弧,使材料表面离子化并溅射出去,然后通过磁场将离子引导到基底材料表面。

这种方法主要适用于贵金属和高熔点材料的沉积。

激光溅射是通过激光束在材料表面进行高能量的瞬间轰击,使材料离子化并溅射出去,然后通过磁场将离子引导到基底材料表面。

这种方法的优点是可以对不同材料进行选择性的溅射,适用于薄膜和纳米颗粒的制备。

1.防护涂层:PVD镀膜可以形成一层坚硬、耐磨的薄膜,可以增加材料的抗腐蚀性和耐磨性。

在汽车工业、机械工业和航空航天工业中得到广泛应用。

2.装饰涂层:PVD镀膜可以制备出具有不同颜色和光泽度的薄膜,可以用于制作首饰、钟表、厨具等装饰品。

pvd离子镀膜

pvd离子镀膜

PVD离子镀膜一、什么是PVD离子镀膜?1.1 PVD的定义物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD)是一种常用的薄膜制备技术,通过将固体材料蒸发或溅射成蒸汽或离子,然后沉积在基底表面上形成薄膜。

1.2 离子镀膜的概念离子镀膜是PVD技术的一种应用,它利用离子束轰击基底表面,使蒸发或溅射的材料以离子形式沉积在基底上,从而形成一层均匀、致密、具有优异性能的薄膜。

二、PVD离子镀膜的工艺过程2.1 蒸发法蒸发法是PVD离子镀膜的一种常用工艺,它通过将固体材料加热至蒸发温度,使其转变为蒸汽,然后沉积在基底表面上。

蒸发法可以分为热蒸发和电子束蒸发两种方式。

2.1.1 热蒸发热蒸发是利用电阻加热或电子束加热的方法将固体材料加热至蒸发温度,使其蒸发成蒸汽。

蒸汽经过减压系统传输到基底表面,并在表面形成薄膜。

2.1.2 电子束蒸发电子束蒸发是利用电子束轰击固体材料,将其加热至蒸发温度,使其蒸发成蒸汽。

蒸汽经过减压系统传输到基底表面,并在表面形成薄膜。

电子束蒸发具有高能量密度、高蒸发速率等优点。

2.2 溅射法溅射法是PVD离子镀膜的另一种常用工艺,它通过将固体材料置于溅射靶材的位置,然后利用离子束轰击靶材,使其溅射成蒸汽或离子,最后沉积在基底表面上。

2.2.1 直流溅射直流溅射是利用直流电源,通过离子轰击靶材,使其溅射成蒸汽或离子。

直流溅射具有操作简单、成本低等优点,但膜层质量较低。

2.2.2 射频溅射射频溅射是利用射频电源,通过离子轰击靶材,使其溅射成蒸汽或离子。

射频溅射具有溅射效率高、膜层质量好等优点,但设备成本较高。

三、PVD离子镀膜的应用领域3.1 光学领域PVD离子镀膜在光学领域有广泛的应用,如镀膜玻璃、反射镜、透镜等。

离子镀膜可以提高光学元件的透过率、反射率和耐磨性,提高光学元件的性能。

3.2 电子领域PVD离子镀膜在电子领域的应用也非常广泛,如集成电路、显示器、光伏电池等。

不锈钢pvd镀膜工艺

不锈钢pvd镀膜工艺

不锈钢pvd镀膜工艺不锈钢PVD(Physical Vapor Deposition)镀膜工艺是一种采用物理手段将金属离子沉积到不锈钢表面的技术。

该技术通过在真空环境中利用高能束缚离子将金属蒸汽分子沉积到不锈钢表面,形成一层均匀、致密、光滑的金属膜,提高不锈钢的光亮度、硬度和耐磨性。

不锈钢PVD镀膜工艺主要包括以下几个步骤:1.清洗:首先将不锈钢表面进行清洗,去除表面的油污、污垢和杂质,以确保镀膜的附着力和光亮度。

2.预处理:对清洗后的不锈钢表面进行必要的预处理,如打磨、去划痕等,以提高表面的平整度和光洁度。

3.蒸镀:将不锈钢件放置在真空镀膜机内,通过电子束蒸发、直流或射频辅助磁控溅射等方式产生高纯金属蒸汽,使其在真空环境下沉积到不锈钢表面。

蒸镀过程中,可以调节蒸发速率、沉积时间和气压等参数,以控制膜层的厚度、颜色和光洁度。

4.后处理:在镀膜完成后,可以进行必要的后处理,如退火、氧化处理等,以增强膜层的附着力和耐腐蚀性。

不锈钢PVD镀膜工艺具有以下优点:1.高硬度:采用PVD镀膜工艺可以形成坚硬的金属膜层,提高不锈钢的硬度和耐磨性。

2.良好的附着力:PVD镀膜工艺可以将金属膜层与不锈钢基材紧密结合,具有良好的附着力和耐磨性。

3.高光洁度:PVD镀膜工艺可以使得不锈钢表面形成光滑、致密的金属膜层,提高不锈钢的光亮度和表面平整度。

4.良好的耐蚀性:金属膜层能够有效阻挡外界氧、水和腐蚀性物质的侵蚀,延长不锈钢的使用寿命。

5.多样化的颜色选择:通过调节镀膜参数和工艺条件,可以在不锈钢表面形成不同颜色的金属膜层,提供了丰富的选择。

不锈钢PVD镀膜工艺在各个领域都有广泛的应用,特别是在艺术品、建筑装饰、家居用品和电子产品等领域具有重要的地位。

其具备的优点使得不锈钢更加美观、耐用,满足了人们对于高品质、高性能材料的需求。

pvd真空渐变镀膜

pvd真空渐变镀膜

pvd真空渐变镀膜摘要:1.PVD真空渐变镀膜的概述2.PVD真空渐变镀膜的工艺原理3.PVD真空渐变镀膜的应用领域4.PVD真空渐变镀膜的优点与缺点5.我国在PVD真空渐变镀膜技术的发展现状6.未来PVD真空渐变镀膜的发展趋势与展望正文:一、PVD真空渐变镀膜的概述PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)真空渐变镀膜是一种在低温条件下,通过真空蒸发、溅射等方法在基材表面沉积一层渐变膜的技术。

这种镀膜技术能够在基材表面形成具有良好性能的薄膜,具有广泛的应用前景。

二、PVD真空渐变镀膜的工艺原理PVD真空渐变镀膜工艺主要包括真空蒸发、溅射等沉积过程。

在真空环境中,将靶材与基材置于同一腔体内,通过控制真空泵、蒸发源、溅射源等设备,使靶材表面逐渐形成一层渐变的薄膜。

这种薄膜具有优异的性能,如耐磨、耐腐蚀、导电等。

三、PVD真空渐变镀膜的应用领域PVD真空渐变镀膜技术在许多领域都有广泛的应用,如电子、光学、建筑、汽车、航空航天等。

在电子产品中,PVD真空渐变镀膜可以提高散热性能,延长产品使用寿命;在建筑领域,PVD真空渐变镀膜可提高玻璃的隔热性能,降低能耗;在汽车工业中,PVD真空渐变镀膜可提高零部件的耐磨性和耐腐蚀性。

四、PVD真空渐变镀膜的优点与缺点优点:1.优异的薄膜性能,如耐磨、耐腐蚀、导电等;2.低温沉积,对基材影响小;3.工艺过程可控,可实现对薄膜厚度、成分等参数的精确控制;4.广泛的应用领域。

缺点:1.设备投入高,成本较高;2.生产效率相对较低;3.薄膜性能与靶材、基材的选择及工艺参数密切相关,优化过程复杂。

五、我国在PVD真空渐变镀膜技术的发展现状近年来,我国在PVD真空渐变镀膜技术方面取得了显著的成果,不仅在薄膜制备工艺方面有所突破,还成功应用于多个领域。

然而,与发达国家相比,我国在PVD真空渐变镀膜技术方面仍有一定差距,尤其是在设备研发、工艺优化、应用领域等方面。

真空镀膜(PVD)工艺知识介绍

真空镀膜(PVD)工艺知识介绍

真空镀膜(PVD)工艺知识介绍简介真空镀膜(Physical Vapor Deposition,简称PVD)是一种常用于表面修饰和功能改善的工艺。

通过在真空环境中蒸发或溅射物质来形成薄膜,将薄膜沉积在基材上,以改变基材的性质和外观。

本文将介绍PVD工艺的原理、应用和优势。

PVD工艺原理在PVD工艺中,基材和目标材料被放置在真空环境中。

通过热蒸发或物理溅射的方式,目标材料从固态转化为气态。

这些气体分子会沉积在基材上,形成一层薄膜。

PVD工艺常用的方法有热蒸发和物理溅射。

热蒸发是将目标材料加热至其沸点以上,使其转化为气态,然后沉积在基材上。

而物理溅射则是通过向目标材料表面轰击高能粒子,将其击打下来沉积在基材上。

PVD工艺的应用PVD工艺在多个领域得到了广泛应用。

装饰性涂层PVD工艺可以制备具有不同颜色、质感和光泽度的涂层,用于装饰各种产品,如钟表、珠宝、手袋、饰品等。

常见的装饰性涂层有黄金色、玫瑰金色、银色和黑色等。

防腐蚀涂层PVD工艺可以形成陶瓷涂层、金属涂层或复合涂层,这些涂层具有良好的耐腐蚀性能,可保护基材免受化学腐蚀、氧化和磨损的影响。

这些涂层常用于汽车、航空航天、电子产品等领域。

功能性涂层PVD工艺还可以制备具有特殊功能的涂层,如光学涂层、导电涂层和磁性涂层。

光学涂层可用于改善光学性能,导电涂层可用于制作导电膜,磁性涂层可用于制造磁性材料。

PVD工艺的优势相比其他表面处理工艺,PVD工艺具有以下几个优势:高质量涂层PVD工艺可以制备高质量的涂层,具有高硬度、低摩擦系数、耐磨损和耐腐蚀等特性。

这些特性使得PVD涂层在各种应用中表现出色。

环保节能PVD工艺不需要使用有机溶剂和其他有害化学物质,对环境友好。

同时,PVD 涂层具有较高的附着力和耐用性,可延长基材的使用寿命,减少资源消耗。

精密控制PVD工艺可以实现对涂层厚度、成分和结构的精确控制。

通过调整工艺参数,可以得到所需的涂层特性,以满足不同应用的需求。

pvd离子镀膜原理

pvd离子镀膜原理

pvd离子镀膜原理PVD离子镀膜原理离子镀膜技术是一种常用的表面处理方法,广泛应用于电子、光学、航空航天等领域。

其中,PVD (Physical Vapor Deposition) 离子镀膜技术是一种通过物理方法将固态材料转化为离子态并沉积到基材表面的技术。

本文将详细介绍PVD离子镀膜的原理及其应用。

一、PVD离子镀膜原理PVD离子镀膜技术是通过将材料加热至高温,使其处于气体、液体或固态的离子态,并利用真空条件下的物理过程将离子沉积到基材表面,形成一层薄膜。

主要包括蒸发、溅射和离子镀三种主要工艺。

1. 蒸发法蒸发法是通过加热材料使其升华,然后蒸发在基材上。

在真空情况下,将固态材料加热至其熔点以上,使其升华为气体。

升华后的气体通过控制温度和压力,使其在基材表面沉积,形成薄膜。

2. 溅射法溅射法是利用高能粒子轰击材料表面,使材料从固态转变为气态,然后沉积在基材表面。

在溅射过程中,通过在真空室中加入一定气体压力,利用离子轰击和反应气体,可以得到所需的薄膜。

3. 离子镀法离子镀法是通过电场将离子加速,然后撞击基材表面,将离子沉积在基材上。

在真空室中加入一定的气体,使其电离成离子,然后通过电场加速离子,并控制其在基材表面的沉积。

二、PVD离子镀膜的应用1. 电子行业PVD离子镀膜技术在电子行业中广泛应用于集成电路、显示屏、光学薄膜等领域。

通过在基材表面沉积金属薄膜或氧化物薄膜,可以提高电子元器件的导电性、抗氧化性和光学性能。

2. 光学行业PVD离子镀膜技术在光学行业中用于制备反射镜、透镜、光学滤波器等光学元件。

通过在基材表面沉积特定的金属薄膜或多层膜,可以改善光学元件的反射率、透过率和抗反射性能。

3. 航空航天行业PVD离子镀膜技术在航空航天行业中常用于制备航空发动机叶片、航天器表面保护层等。

通过在基材表面沉积陶瓷薄膜或合金薄膜,可以提高材料的耐磨性、耐腐蚀性和高温性能。

4. 医疗行业PVD离子镀膜技术在医疗行业中应用广泛,常用于制备人工关节、牙科种植体等。

pvd真空镀膜

pvd真空镀膜

PVD真空镀膜简介PVD(Physical Vapor Deposition)真空镀膜是一种常用的表面涂层技术,通过在真空环境中将固体材料转变成蒸汽或离子态,将其沉积在基材表面上进行涂层。

PVD镀膜技术具有高附着力、优异的质量性能、较长的使用寿命等优点,被广泛应用于自动化设备、汽车、电子器件、建筑装饰等领域。

工艺过程PVD真空镀膜的工艺过程包括蒸发、溅射、离子镀等步骤。

1.蒸发:在真空腔室中加热固体材料,使其转变成蒸汽状态。

蒸发材料通常为金属或合金,如铝、铜、钛等。

这些金属材料通常具有较高的沉积速率和较好的光学性能。

2.溅射:通过电弧或磁控溅射等方法将固体材料的离子或原子从靶材表面释放,进而沉积到基材表面上。

溅射技术可以实现材料的复杂合金结构涂层,具有较高的镀膜均匀性和较好的附着力。

3.离子镀:利用离子源将离子束引导到基材表面,在表面形成均匀的离子沉积层。

离子镀技术可用于增强涂层材料的致密性和硬度,提高涂层的耐磨性和抗腐蚀性能。

应用领域PVD真空镀膜技术在多个行业和领域得到广泛应用。

以下是一些常见的应用领域:汽车PVD镀膜广泛应用于汽车行业,主要用于改善汽车外观和提高其耐腐蚀性能。

常见的应用包括车轮、车门把手、排气管等,通过PVD镀膜技术使其表面具有金属光泽、抗刮擦和抗腐蚀等特性。

建筑装饰PVD镀膜技术在建筑装饰领域被广泛应用于不锈钢表面处理,使其呈现出不同颜色和纹理,提高装饰效果和耐腐蚀性能。

常见的应用包括不锈钢门、窗户、护栏等。

电子器件PVD镀膜技术在电子器件领域被广泛应用于制作涂层薄膜和改善器件性能。

常见的应用包括显示屏保护膜、光学镜片、太阳能电池板等。

其他PVD镀膜技术还可应用于其他领域,如机械零件、医疗设备、航空航天等。

通过PVD镀膜技术改善材料的表面性能,提高其耐磨性、耐高温性、抗腐蚀性等。

优势和挑战PVD真空镀膜技术具有以下优势:1.高附着力:PVD涂层与基材表面结合紧密,具有较高的附着力,不易剥落或脱落。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

PVD镀膜工艺PVD镀膜工艺1.装饰件材料(底材)(1)金属。

不锈钢、钢基合金、锌基合金等。

(2)玻璃、陶瓷。

(3)塑料。

abs、pvc、pc、sheet、尼龙、水晶等。

(4)柔性材料。

涤纶膜、pc、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。

2.装饰膜种类(1)金属基材装饰膜层:tin、zrn、tic、crnx、ticn、crcn、ti02、al等。

(2)玻璃、陶瓷装饰膜层:tio2、cr2o3、mgf2、zns等。

(3)塑料基材装饰膜层:ai、cu、ni、si02、ti02、ito、mgf2。

(4)柔性材料装饰膜层:al、lto、ti02、zns等。

3.部分金属基材装饰膜颜色金属基材装饰膜的种类和色调很多。

表1为部分金属基材装饰膜的种类及颜色。

表1 部分金属基材装饰膜的种类及颜色膜层种类色调tinx浅黄、金黄、棕黄、黑色tic浅灰色、深灰色ticxny赤金黄色、玫瑰金色、棕色、紫色tin+ au金色zrn金黄色zrcxny金色、银色tio2紫青蓝、绿、黄、橙红色crnx银白色tixal-nx金黄色、棕色、黑色金黄色3.装饰膜的镀制工艺一.金属件装饰膜镀制工艺比较成熟的镀膜技术有电弧离子镀、磁控溅射离子镀和复合离子镀。

下面分别从各类镀膜技术中选取一种具有代表性的典型镀制工艺进行介绍。

1)用电弧离子镀的方法为黄铜电镀亮铬或镍手表壳镀制ticn膜。

采用小弧源镀膜机和脉冲偏压电源;(1)工件清洗、上架、入炉工件在入炉之前要经过超声波清洗、酸洗和漂洗三道工序。

首先是在超声波清洗槽中放入按使用要求配制的金属清洗剂,利用超声波进行脱脂、清洗。

清洗之后,进行酸洗,它可以中和超声波清洗时残余的碱液,还能起到活化处理的作用。

然后进行漂洗以彻底除去酸液,漂洗时必须采用去离子纯净水或蒸馏水。

经过三洗后,即时进行烘干,温度一般控制在100℃左右,时间为1h左右。

也可以风吹干后马上人炉。

(2)镀膜前的准备工作①清洁真空镀膜室。

用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍。

当经过多次镀膜时,真空镀膜室的内衬板还需作定期清洗,一般是半个月清洗一次。

②检查电弧蒸发源。

工作前,要确保电弧蒸发源发源安装正确,绝缘良好,引弧针控制灵活,程合适,恰好能触及阴极表面。

③检查工件架的绝缘情况。

工件架与地之间的绝缘必须须良好,负偏压电源与工件架的接触点点必须接触良好。

以上几项工作确保没有问题后,才可以关闭真空镀膜室的门,进行抽气和镀膜。

(3)抽真空真空抽至6.6 x 10-3pa。

开始是粗抽,从大气抽至5pa左右,用油扩散泵进行细抽。

在粗抽时,可以烘烤加热至150℃。

伴随镀膜室温度的升高,器壁放气会使真空度降低,然后又回升,等到温度回升到6.6 x 10-3pa时方可进行镀膜工作。

(4)轰击清洗①氩离子轰击清洗真空度:通人高纯度氩气(99.999%)真空度保持在2~3pa。

轰击电压:800~1000v。

轰击时间:10min.此刻在真空镀膜室内发生辉光放电,放电产生的氩离子以较高的能量撞击工件表面,将工件表面吸附的气体、杂质和工件表面层原子溅射下来,露出材料的新鲜表面。

真空度:通人高纯度氩气使真空度保持在2 x 10-2pa。

脉冲偏压:400~500v,占空比20%。

电弧电流:60~80a,轮换引燃电弧蒸发源,每个电弧蒸发源引燃1~2min。

(5)镀膜①镀钛真空度:通人高纯度氩气,真空度保持在2 x 10-2pa。

脉冲偏压:200~300v,占空比50 %。

电弧电流:60~80a,引燃全部弧源,时间2~3min.②镀ticn真空度:通人高纯度氮气使真空度保持在(3~8) x 10-1pa,然后再逐渐加大c2h2气体,随着c2h2气体量增大,色泽由金黄一赤金黄一玫瑰金一黑色变化。

控制n2与c2h2两种气体的比例可以达到预定的色度。

电弧电流:50~70a。

脉冲偏压:100~150v,占空比60 %~80 %。

沉积温度:200℃左右。

镀膜时间:10~20min,膜层厚度0.2~0.5μm。

(6)冷却镀膜工序结束后,首先关闭电弧电源和偏压电源,然后关闭气源、停转架。

工件在真空镀膜室内冷却至80~100℃时,向镀膜室内充大气,取出工件。

2)用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制zrn膜。

采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源,以及脉冲偏压电源。

(1)抽真空5 x 10-3~6.6 x 10-13pa本底真空。

加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100~150℃。

2)轰击清洗真空度:通人氩气真空度保持在2~3pa。

轰击电压:800~1000v,脉冲占空比20%。

轰击时间:10min。

(3)镀膜①沉积锆底层真空度:通入氩气,真空度保持在s x lo-1pa。

靶电压:400—550v,靶功率15 n 30w/crrr2。

脉冲偏压:450~500v,占空比20 %。

镀膜时间:5~10min。

②镀zrn膜真空度:通入氮气,真空度保持在(3~5) x 10-1pa。

靶电压:400~550v,靶电流随靶的面积增大而加大。

脉冲偏压:150~200v,占空比80 %。

镀膜时间:20~30min。

由于磁控溅射技术中金属离化率低,不容易进行反应沉积,获得化合物膜层的工艺范围比较窄。

可采用气体离子源将反应气体离化,扩大反应沉积的工艺范围。

也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源,柱状弧源还是辅助镀膜源。

(4)冷却镀膜结束后,首先关闭磁控溅射靶电源、偏压电源,然后关闭气源、停转架。

工伫件在真空镀膜室中冷却到100℃时,向镀膜室充大气,取出工件。

3)用复合涂层离子镀方法为黄铜电镀亮镍的手表壳镀制tin十au+ si02膜。

采用电弧、磁控溅射、中频或射频溅射离子镀多功能镀膜机,在真空镀膜室壁上安装6个小平面弧源钛靶镀tin,中心安装柱状磁控溅射黄金靶镀金,壁上安装2个矩形平面磁控溅射si02靶或si靶镀si02。

采用直流偏压电源。

(1)工件清洗、上架、入炉。

方法同前。

(2)抽真空:本底真空最好达到6.6 x 10-3pa,烘烤加热温度为150℃左右。

(3)轰击清洗。

方法同前,包括氩轰击和钛轰击两种方法。

(4)镀膜①沉积钛底层真空度:通入高纯氩气,真空度保持在5 x 10-2pa。

电弧电流:50~70a,引燃全部弧源,时间为2~3min。

偏压:400~500v。

②沉积tin膜真空度:通入高纯氮气,真空度保持在s x lo-1pa。

偏压:100~200vo电弧电流:60~80a。

沉积时间:10~20min,膜层厚度0.1~0.5μm。

③掺金镀真空度:通入高纯氮气,真空度保持在5 x 10-2pa。

偏压:100~150v。

电弧电流:60a(真空镀膜室上、中、下各点燃1个源)。

磁控溅射金靶电压:400—500v,电流3~5a;时间:1min。

④镀金真空度:通入氩气,真空度保持在3 x 10-1pa。

偏压:100~150v。

溅射靶电压:400~550v。

时间:5-10min。

⑤沉积si02真空度:通入高纯氩气,真空度8 x 10-2pa或5x 10-1pa。

中频(射频)电源功率:200~500w。

时间:10~20min。

4)冷却:首先关闭中频(或射频)电源,然后关气源,停转架。

工件在真空室内冷却到80-100℃时,向真空室充空气,取出工件。

该工艺也叫掺金镀或ipg,最后一层si02是透明的,是保持金膜的,它可以延长金膜的磨损时间,根据客户的要求可有可无。

二.塑料件装饰膜的镀制工艺采用pvd技术可在玻璃、陶瓷、塑料、水晶、木材、纸张等非金属工件上镀制金属膜及氮化膜、氧化膜。

此处重点介绍塑料制品装饰膜的镀制技术,塑料制品镀金属膜的工艺也称塑料金属化。

为了填充塑料制品毛坯上的缺陷,提高表面光亮度和塑料与金属膜的结合力,在镀膜之前需要上底漆。

为保护膜层还需上面漆。

底漆、面漆由溶剂、树脂、助剂组成,按比例、顺序加入,混合搅拌。

底漆、面漆一般采用溶剂型涂料,近几年出现了紫外线硬化涂料,它可以扩展塑料制品的应用领域。

塑料制品装饰膜的pvd技术有两种:真空蒸发镀和磁控溅射镀。

真空蒸发镀设备结构简单、操作简便并且生产效率高,是目前广泛采用的塑料件的镀膜技术。

1)塑料制品装饰膜的真空蒸发镀工艺一般塑料制品的真空蒸发镀膜机有卧式和立式双室(蚌形)两种。

镀膜的工艺流程是:清洗脱脂——上架——涂底漆一固化——蒸发镀膜一涂面漆一固化——下架一染色——检验。

下面具体介绍镀膜的流程。

(1)来料检验。

(2)干燥。

待镀件来料时含较多水分,需进行干燥处理3~5h,温度为50~60℃。

3)上架。

一般注塑时基本按真空镀膜要求生产,因此待镀件表面一般油污较少,经过一般的擦拭就可上架,但是来料油污多时需进行去污处理。

方法是用市售洗洁剂逐件刷洗、漂洗、烘干。

油污严重时还需用清洗剂在50~60℃,浸泡15~20min进行脱脂处理。

(4)除尘。

这道工序是保证镀膜质量的关键之一,方法有两种:一种是用吸尘器对准上好架的待镀件仔细地除尘,能取得较理想的效果;另一种是用高压气“吹尘”的方法,这种方法必须装有油水分离器,但在实际工作中这种方法并不是很理想;还有一种方法是用静电除尘的方法,对质量要求较高时采用。

(5)涂底漆。

涂底漆是保证镀膜质量的关键之二,涂底漆的目的是提高镀件表面的光洁度和光亮度;提高膜层结合力。

(6)烘干。

涂漆流平后需进行干固处理,方法有红外线加热法、电热加热法及紫外线(uv)固化法等。

固化温度为60~70℃,固化时间为1.5~2.5h。

(7)镀膜。

镀膜是保证镀膜质量的关键。

镀膜前的准备工作:①钨丝的处理:一般采用φ0.75mm的3根绞合钨丝,用金属清洗剂将钨丝浸泡20~30min,60~90℃进行脱脂之后,彻底地漂洗烘干备用;②铝丝的处理:用纯度为99.9%~99.99%的铝丝或铝箔制成的蒸发舟进行碱处理,将铝丝浸泡在10%~15%的naoh溶液中2~3min,进行水汝洗3-5次,烘干2h备用。

镀膜操作:待镀件上架,并装上钨丝,然后入炉,检查接触是否良好,转动正常,关真空室。

抽真空:油扩散泵已预热1h;开机械泵,开粗抽阀、进行粗抽3—5min;开罗茨泵,开真空计测量真空达2~2.5pa;关粗抽阀,开前置阀,开高阀,进行细抽至(1~2) x 10-2pa即可蒸镀。

真空度越高,膜层质量越好。

蒸镀:预熔的目的是除去铝丝、钨丝上的残余气体。

此时,从真空计上可以看见真空度是下跌的,当真空由下跌转为上升,并回到本底真空时,可进行蒸发。

蒸铝:作为装饰膜蒸铝时的真空控制在(1~2) x 10-2pa,蒸发采用快速蒸发可减少氧化概率,又不会使膜层的组织结构变粗;因而,可减少散射损失,提高反射率。

冷却充气:蒸铝以后,即可充气出炉。

(8)涂面漆。

保护金属膜层,为着色工序做准备。

(9)着色。

面漆彻底固化后可进行染色处理。

相关文档
最新文档