PVD真空镀膜机作业指导书

PVD真空镀膜机作业指导书

一．开机

1. 检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作

（水压需达到0.4Mpa以上）。

2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需

达到0.5Mpa）。

3．开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》，《扩散泵1、2》四个开关。即扩散泵升温（大约1小时左右）。

4. 距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分

钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。

二．生产操作

1. 确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置

完毕。

2. 开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开

《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。

3. 当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集

器制冷功能。

4. 此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详

述，即为口述。

5. 工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电

流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆）

6. 以上循环，即为正常操作流程。

三．停机

1. 将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关

的所有开关。（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2. 待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，

冷却塔，激进泵。

注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。

警告:本机器有多处高压变压器，电压高达8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。