洁净室无尘室基础知识与管理

洁净室无尘室基础知识与管理

洁净室（亦称无尘室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

现行标准：GB50073-2013 洁净厂房设计规范。

各种条件下微尘状况

尘埃粒子直径的示意图：

灰尘又是如何产生的呢？

一般事务室里拍摄的例子

荧光灯全部消失的场合：

走路时候发尘样子对比

左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。

拍击工作服时产生的尘埃粒子对比

左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击洁净服时发尘的样子。

洁净室内的事例

作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。

浮游粒子

使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。

纸张的发尘对比

左边是普通纸，右边是无尘纸。

胶带和手套的发尘例子

左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。

电动工具的发尘例子

左边是电钻发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。

吸尘器排气的例子

吸尘器各地方排气泄漏的样子。

打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子：打喷嚏时瞬间发生的飞沫。

发汗现象：从胳膊发汗条件创造。

吸烟的例子：香烟烟雾的粒子。

运动时产生的尘埃粒子数量

灰尘是如何去除的呢？

洁净室的空气净化：

手持简易型激光粒子计数器

测量空气中微粒的数量：

限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采用电池或交流电工作。

这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。

由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。

高效过滤器

高效过滤器检漏：

卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声（即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。

风量罩

测量送风风速：

风量罩主要由三个部分构成：风量罩体、基座、PDA构成。

风量罩体主要用于采集风量，将风汇集至基础上的风速均匀器上。在风速均匀器上装有热式传感器，热式传感器将风速的变化，再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA，大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据。操作简单，可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录，以便对数据进行分析。测量和记录的数据被记录在存储卡上，不会丢失，可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用。

风罩的测量技术要求：

压差测定仪表

压差检测：普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa，某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10～-30Pa。

根据国家标准GB19489-2008“实验室、生物安全通用要求”的

规定：相对于大气压污染区为-40Pa，根据国家标准GB50346-2011“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。

在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。

温湿度计

测量温湿度：电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量等优点，在洁净室检测、监测中广泛使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。

电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。

它们都是利用了在不同湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。

氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长，工作稳定性好，使用较普遍。

电容式传感器：电容式湿度传感器基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。

照明：泪滴型照明灯具，嵌入式照明灯具。

照度计

照度测试：照度测试宜采用便携式数字照度计。

洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。

照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。

静电检测仪

测量静电：该类测试仪表不直接与带电体接触，而是运用静电感应的原理，间接测试带电体的静电电位。由于这种测试不是直接同带