半导体物理与器件第章
半导体物理与器件ppt课件
2.23
h h K为波数=2π/λ, λ为波长。 2mE 15 P
2.3薛定谔波动方程的应用
2.3.2无限深势阱(变为驻波方程) 与时间无关的波动方程为:
2 x 2m 2 E V x x 0 2 x
2.13
由于E有限,所以区域I和III 中:
课程主要内容
固体晶格结构:第一章 量子力学:第二章~第三章 半导体物理:第四章~第六章 半导体器件:第七章~第十三章
1
绪论
什么是半导体
按固体的导电能力区分,可以区分为导体、半导体和绝缘体
表1.1 导体、半导体和绝缘体的电阻率范围 材料 电阻率ρ(Ωcm) 导体 < 10-3 半导体 10-3~109 绝缘体 >109
分别求解与时间无关的波动方程、与时间有关的波 动方程可得自由空间中电子的波动方程为:
j j x, t A exp x 2mE Et B exp x 2mE Et
2.22
说明自由空间中的粒子运动表现为行波。 沿方向+x运动的粒子: x, t A exp j kx t
18
2.3薛定谔波动方程的应用
无限深势阱(前4级能量)
随着能量的增加,在任意给 定坐标值处发现粒子的概率 会渐趋一致
19
2.3薛定谔波动方程的应用
2.3.3阶跃势函数
入射粒子能量小于势垒时也有一定概率穿过势垒 (与经典力学不同)
20
2.3薛定谔波动方程的应用
2.3.3阶跃势函数 Ⅰ区域 21 x 2mE 2 1 x 0 2.39 2
半导体物理与器件(尼曼第四版)答案
半导体物理与器件(尼曼第四版)答案第一章:半导体材料与晶体1.1 半导体材料的基本特性半导体材料是一种介于导体和绝缘体之间的材料。
它的基本特性包括:1.带隙:半导体材料的价带与导带之间存在一个禁带或带隙,是电子在能量上所能占据的禁止区域。
2.拉伸系统:半导体材料的结构是由原子或分子构成的晶格结构,其中的原子或分子以确定的方式排列。
3.载流子:在半导体中,存在两种载流子,即自由电子和空穴。
自由电子是在导带上的,在外加电场存在的情况下能够自由移动的电子。
空穴是在价带上的,当一个价带上的电子从该位置离开时,会留下一个类似电子的空位,空穴可以看作电子离开后的痕迹。
4.掺杂:为了改变半导体材料的导电性能,通常会对其进行掺杂。
掺杂是将少量元素添加到半导体材料中,以改变载流子浓度和导电性质。
1.2 半导体材料的结构与晶体缺陷半导体材料的结构包括晶体结构和非晶态结构。
晶体结构是指材料具有有序的周期性排列的结构,而非晶态结构是指无序排列的结构。
晶体结构的特点包括:1.晶体结构的基本单位是晶胞,晶胞在三维空间中重复排列。
2.晶格常数是晶胞边长的倍数,用于描述晶格的大小。
3.晶体结构可分为离子晶体、共价晶体和金属晶体等不同类型。
晶体结构中可能存在各种晶体缺陷,包括:1.点缺陷:晶体中原子位置的缺陷,主要包括实际缺陷和自间隙缺陷两种类型。
2.线缺陷:晶体中存在的晶面上或晶内的线状缺陷,主要包括位错和脆性断裂两种类型。
3.面缺陷:晶体中存在的晶面上的缺陷,主要包括晶面位错和穿孔两种类型。
1.3 半导体制备与加工半导体制备与加工是指将半导体材料制备成具有特定电性能的器件的过程。
它包括晶体生长、掺杂、薄膜制备和微电子加工等步骤。
晶体生长是将半导体材料从溶液或气相中生长出来的过程。
常用的晶体生长方法包括液相外延法、分子束外延法和气相外延法等。
掺杂是为了改变半导体材料的导电性能,通常会对其进行掺杂。
常用的掺杂方法包括扩散法、离子注入和分子束外延法等。
广东海洋大学_半导体物理与器件1.1
晶面:点阵中所有的点全部位于一系列相互平行等距的平面 上,这些平面称为晶面。
晶面指数(h,k,l):也称为密勒指数,取晶面与三个晶轴截 距(r,s,t)பைடு நூலகம்倒数的互质指数。
晶面与三个晶轴相交的截距为(1,3,2),则密勒指数(h, k, l) 为 1 1 1 : : 6:2:3 1 3 2
截距无限大,则倒数取零; 如果截距为负数,相应的指数取负值,在其数值的上 方应横线标识出来,如 (h, k , l ) 。
晶胞中含有四个原子, 原胞中含有一个原子。
几种常见晶体结构范例
面心立方结构:NaCl 简单立方结构:CsCl
半导体材料Si,Ge具有金刚石 结构(两套面心立方结构沿对 角线平移1/4套构而成)。
闪锌矿结构
(ZnS,GaAs,...)
面心立方结构
六角密堆结构
二 晶列、晶向和晶面
晶列:点阵中所有的阵点都在一簇簇彼此平行的直线上→ 晶列 →晶列的方向(晶向) 一簇簇意即可以有无限多簇,每一簇都包含所有阵点 没有遗漏——所有格点都在某一簇晶列上。 晶体外观上的晶棱就是某一晶列
初基平移矢量
r2 r1 a b c
对于点阵里面任何两个点r2和r1,通过选择整数u, v, w,它 们都满足上述方程,那么a, b, c就称为初基平移矢量。 初基平移矢量的选择并不是唯一的
由初基平移矢量构成的晶胞是最小的(原胞)
练习:初基平移矢量的选择
初基晶胞中的原子数目(密度)都是一样的
初基晶胞中只含有一个阵点
原胞往往不能反映晶倍体的对称性,晶胞一般不是最小的
重复单元。其体积(面积)可以是原胞的倍数。
Graphene
基矢量
半导体物理与器件习题
第一章 固体晶格结构1.如图是金刚石结构晶胞,若a 是其晶格常数,则其原子密度是 。
2.所有晶体都有的一类缺陷是:原子的热振动,另外晶体中常的缺陷有点缺陷、线缺陷。
3.半导体的电阻率为10-3~109Ωcm 。
4.什么是晶体?晶体主要分几类?5.什么是掺杂?常用的掺杂方法有哪些?答:为了改变导电性而向半导体材料中加入杂质的技术称为掺杂。
常用的掺杂方法有扩散和离子注入。
6.什么是替位杂质?什么是填隙杂质? 7.什么是晶格?什么是原胞、晶胞?第二章 量子力学初步1.量子力学的三个基本原理是三个基本原理能量量子化原理、波粒二相性原理、不确定原理。
2.什么是概率密度函数?3.描述原子中的电子的四个量子数是: 、 、 、 。
第三章 固体量子理论初步1.能带的基本概念⏹ 能带(energy band )包括允带和禁带。
⏹ 允带(allowed band ):允许电子能量存在的能量范围。
⏹ 禁带(forbidden band ):不允许电子存在的能量范围。
⏹ 允带又分为空带、满带、导带、价带。
⏹ 空带(empty band ):不被电子占据的允带。
⏹满带(filled band ):允带中的能量状态(能级)均被电子占据。
导带:有电子能够参与导电的能带,但半导体材料价电子形成的高能级能带通常称为导带。
价带:由价电子形成的能带,但半导体材料价电子形成的低能级能带通常称为价带。
2.什么是漂移电流?漂移电流:漂移是指电子在电场的作用下的定向运动,电子的定向运动所产生的电流。
3.什么是电子的有效质量?晶格中运动的电子,在外力和内力作用下有: F总=F外+F内=ma, m 是粒子静止的质量。
F外=m*n a, m*n 称为电子的有效质量。
4.位于能带底的电子,其有效质量为正,位于能带顶电子,其有效质量为负。
5.在室温T=300K ,Si 的禁带宽度:Eg=1.12eV Ge 的禁带宽度:Eg=0.67eV GaAs 的禁带宽度:Eg=1.43eVEg 具有负温度系数,即T 越大,Eg 越小;Eg 反应了,在相同温度下,Eg 越大,电子跃迁到导带的能力越弱。
半导体物理与器件-课件-教学PPT-作者-裴素华-第1章-半导体材料的基本性质
简化为
J = pqv p
1.6.4 半导体的电阻率ρ
电阻率是半导体材料的一个重要参数,其值为电导率
的倒数。 1
1
ρ= =
σ nqμn + pqμ p
对于强P型和强N型半导体业有相应的简化。
从上面的公式可以看出,半导体电阻率的大小决定于 n, p, μn ,μp的具体数值,而这些参数又与温度有关, 所以电阻率灵敏的依赖于温度,这是半导体的重要 特点之一。
b) P型硅中电子和空穴 的迁移率
载流子的迁移率还要随温度而变化。
硅中载流子迁移率随温度变化的曲线 a) μn b) μp
1.6.3 半导体样品中的漂移电流密度
设一个晶体样品如图所示, 以单位面积为底,以平 均漂移速度v为长度的矩 形体积。先求出电子电 流密度,设电场E为x方 向,在电场的作用下, 电子应沿着-x方向运动。
不论半导体中的杂质激发还是本征激发,都是依靠吸收 晶格热振动能量而发生的。由于晶格的热振动能量是随 温度变化的,因而载流子的激发也要随温度而变化。
载流子激发随温度的变化 a)温度很低 b)室温临近 c)温度较高 d)温度很高
伴随着温度的升高,半导体的费米能级也相应地发 生变化
杂质半导体费米能级随温度的变化 a)N型半导体 b)P型半导体
a)随机热运动 b) 随机热运动和外加电场作用下的运动合成
随机热运动的结果是没有电荷迁移,不能形成电流。
引入两个概念:
1. 大量载流子碰撞间存在一个路程的平均值,称为平 均自由程,用λ表示,其典型值为10-5cm;
2. 两次碰撞间的平均时间称为平均自由时间,用τ表示, 约为1ps;
建立了上述随机热运动的图像后,就可以比较实际地去 分析载流子在外加电场作用下的运动了。
半导体物理与器件
n0 Na p0 Nd
n0 Na pa p0 Nd nd
其中,n0:导带电子浓度;p0:价带空穴浓度。nd是施 主中电子密度;Nd+代表离化的施主杂质浓度;pa:受 主中的空穴密度;Na-:离化的受主杂质浓度。
掺杂时为本征载流子浓度
偿,类本征半导体
掺杂浓度大于ni时,杂质 电子浓度才起主要作用
半导体物理与器件
同理利用
p0
ni 2 n0
可推导出空穴浓度为:
p0
Na
2
Nd
Na
2
Nd
2
ni 2
例4.9的结果显示,在非 简并条件下,多数载流 子浓度近似等于掺杂浓
度(非补偿)
例4.10结果显示,在掺 杂浓度和本征载流子浓 度相差不大时,须考虑 本征载流子浓度的影响
Nc 2Nd
1
exp
Ec kT
Ed
1
绝对零度时,所有施主杂质 能级都被电子所占据,导带 无电子。
半导体物理与器件
§4.5 掺杂半导体的载流子浓度
前边讨论了本征半导体的载流子浓度;讨论了施主杂质和 受主杂质在半导体中的表现。定性的给出了杂质在不同温 度下的电离情况,并且定性的知道了载流子浓度和掺杂水 平的相关性。这节我们要具体推导掺杂半导体的载流子浓 度和掺杂的关系。
E Ec dE
Ec
1
exp
E
EF kT
仍然做变量代换
并且定义:
E Ec
kT
F
EF Ec kT
半导体物理与器件
载流子浓度公式变为:
半导体器件物理 第1章 图文
微电子学以实现电路和系统的集成为目的, 故实用性极强。 微电子学的渗透性极强,它可以是与其他学 科结合而诞生出一系列新的交叉学科,例如 微机电系统(MEMS)、生物芯片等。
半导体器件物理
电子与信息学院
微电子科学技术的战略地位
半导体器件物理
电子与信息学院
信息技术的领域
半导体器件物理 电子与信息学院
晶体管的发明
第一只晶体管什么时候发明的?
A. 1945 B. 1947 C. 1951 D. 1958
哪家公司发明的?
A. IBM B. Bell Lab C. TI D. Motorola
半导体器件物理
电子与信息学院
晶体管的发明
• 1946年1月,Bell实验室正式成立半导体研 究 小 组 , W. Schokley , J. Bardeen 、 W. H.Brattain。 • Bardeen提出了表面态理论, Schokley给出 了实现放大器的基本设想,Brattain设计了 实验。 • 1947年12月23日,第一次观测到了具有放大 作用的晶体管-transistor。
半导体器件物理 电子与信息学院
Intel 45nm工艺 12英寸晶园
Intel 45nm 微处理器
Intel 45nm 微处理器管芯图
微电子:Microelectronics 微电子技术——微型电子技术 核心——集成电路
微电子学是研究在固体材料上构成微小型化电子线路、 子系统及系统的电子学分支学科。是电子学最重要的组 成部分,是计算机科学、信息科学、固态电子学、医用 电子学等的发展基础。-《固体物理学大词典》
半导体器件物理 电子与信息学院
第一章绪论
半导体物理与器件第3章
kT
T = 0K 时,
(1) E > EF , 分母中 exp(+∞) → fF(E)= 0 ◆能量高于费米能级的量子态是空的 (2) E < EF , 分母中 exp(-∞)= 0 → fF(E)= 1 ◆能量低于费米能级的量子态是满的 (3) E = EF , 分母中 exp(0)= 1 → fF(E)= 1/2 ◆能量等于费米能级的量子态被电子
大量包含多个电子的原子靠得很近形成晶体材料之 后,原来相同的电子能级发生分裂的情况。
原子靠近→电子云发生重叠→电子之间存在相互作用→分立 的能级发生分裂形成能带
大量硅原子(N)形成硅晶体的电子能级分裂示意图
T=0K
价带
s, p轨道杂化
k=2π/λ
3
硅晶体形成过程中发生的 sp3轨道杂化,形成填 满电子的价带和没有电子的导带,二者之间为禁带 宽度Eg。
3.3 三维扩展
三维情况下各方向势场不同
电子在不同 方向上运动 会遇到不同 的势场,从 而产生不同 的k空间边 界。
31
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带 间接带隙半导体:价带
能量最大值和导带能量 能量最大值和导带能量
最小值的K坐标一致 最小值的K坐标不一致
32
3.5 统计力学
在一定温度下,半导体中的大量电子不停地 作无规则热运动,从一个电子来看,它所具 有的能量时大时小,经常变化。但是,从大 量电子的整体来看,在热平衡状态下,电子 按能量大小具有一定的统计分布规律性,即 电子在不同能量的量子态上统计分布几率是 一定的。
温度升高时,共价键中的个别电子可能会获得足够 大的能量,从而克服共价键的束缚,进入导带。
3.2固体中电的传导 3.2.4空穴的运动
半导体物理与器件1.1——第二、三章
半导体物理与器件
定性理论(物理概念):晶体中原子之间的相互作用 (泡利不相容原理),使能级分裂形成能带。 定量理论(量子力学计算):电子在周期场中运动, 其能量不连续成能带。
自由电子的运动 晶体中电子的运动与孤立原子的电子、自由电子的运动不同: 孤立原子中的电子是在该原子的核和其它电子的势场中运动 自由电子是在恒定为零的势场中运动 晶体中的电子是在严格周期性重复排列的原子间运动, 单电子近似认为,晶体中的某一个电子是在周期性排列且 固定不动的原子核的势场以及其它大量电子的平均势场中 运动,这个势场也是周期性变化的,而且它的周期与晶格 周期相同。
27
半导体物理与器件
大量硅原子形成硅晶体的电子能级分裂示意图
第三章
固体量子理论初步
28
半导体物理与器件
以Si 为例:
每个Si原子最外层有2个S能级和6个p能级,N 个Si原子构成单晶体后,每个能级都分裂成N 个能级,因而总共有8N个能级。但由于形成晶 体时,SP3杂化使得在平衡状态时,3s和3p态 相互作用并交叠,最终每个原子具有4个成键 态(能量低)和4个反键态(能量高);每个 原子核外的4个电子都填充其中的4个低能状态, 因而低能带被填满(价带),高能带被空臵 (导带)。
半导体物理与器件
第三章
固体量子理论初步
§3.1 固体的能带理论
能带理论是研究固体中电子运动的一个主要理论基础 为什么需要能带理论: 怎么样来描述电子
电子-全同性粒子
电子的状态:波失k,能量E;
第三章
固体量子理论初步
19
半导体物理与器件
§3.1 固体的能带理论
能带理论是单电子近似的理论 把每个电子的运动看成是独立的在一个等效势场中 的运动。(哈特里-福克自洽场方法) 通过能带理论理解 K空间能带图 电子、空穴 金属、绝缘体、半导体 重在理解能带形成的机理,E-k能带图的作用及意义。
尼曼半导体物理与器件第一章课件
广义原胞
尼曼半导体物理与器件第一章
12
1.3.2 基本的晶体结构
立方晶系基本的晶体结构:
常见的三个基本的立方结构 (1)简单立方结构(sc) (2)体心立方结构(bcc) (3)面心立方结构(fcc)
尼曼半导体物理与器件第一章
13
➢简立方结构 Simple Cubic
每个顶角有一个原子
z
➢ 体心立方结构 Body Centered Cubic
• 原胞:可以复制得到整个晶格的最小单元。
单晶晶格二维表示
•晶格、原胞的选取都不是唯一的。
尼曼半导体物理与器件第一章
11
•晶胞和晶格的关系用矢量 a 、b 、c 表示,三个矢 量可不必互相垂直,长度可以不相等,基矢长度称 为晶格常数 。
•每个等效格点可用下述矢量表示
rpaqbsc
•其中,p、q、s为整数。
1. 离子晶体:离子键,例如NaCl晶体等; 2. 共价晶体:共价键,例如Si、Ge以及GaAs晶体等; 3. 金属晶体:金属键,例如Li、Na、K、Be、Mg以及Fe、 Cu、Au、Ag等; 4. 分子晶体:范德华键,例如惰性元素氖、氩、氪、氙等 在低温下则形成分子晶体,HF分子之间在低温下也通过范 德华键形成分子晶体。
• 第六章 半导体中的非平衡过剩载流子
半 • 第七章 pn结
导 • 第八章 pn结二极管
体 器
• 第九章 金属半导体和半导体异质结
件 • 第十章 金属-氧化物-半导体场效应晶体管基础
基 • 第十一章 金属-氧化物-半导体场效应晶体管:概念深入
础 • 第十二章 双极晶体管
• 第十三章 结型场效应晶体管 • 第十四章 光器件
1.11(a)-(c) 1.16 1.24(Si晶格常数5.43Å)
半导体物理与器件第四版第一章课后答案
Number density
5.196 10
2
8 3
1.4257 10 22 cm 3
Mass density
1.4257 10 12.5
22
6.02 10 23
0.296 gm/cm 3 _______________________________________
1.10 From Problem 1.2, percent volume of fcc atoms is 74%; Therefore after coffee is ground, Volume = 0.74 cm 3 _______________________________________ 1.11 (b) a 1.8 1.0 2.8 A (c) Na: Density
o
Semiconductor Physics and Devices: Basic Principles, 4th edition Chapter 1 By D. A. Neamen Problem Solutions ______________________________________________________________________________________ (b) Number density a 8 2 5 10 22 cm 3 3 2 5.43 10 8 sin 2 54.74 3 2 2 a 3 (c) Mass density 2 22 N At.Wt. 5 10 28.09 109.5 NA 6.02 10 23 _______________________________________ 2.33 grams/cm 3 1.7 _______________________________________ o (a) Simple cubic: a 2r 3.9 A
半导体物理与器件第一章1
等效晶向
所有立方边方向等效
所有面对角线方向等效
所有体对角线方向等效
用< h k l >表示时,代表所有的等效晶向
例题
某一体心立方结构的晶格常数是5Å 。计算 (1 1 0)平面的原子面密度。
面密度
2个等效原子 5.66x1014 个原子 / cm2 a a 2
(1 1 0)平面
a
三个方向基矢大小相等为a,互相正交,晶格 常数为a,具有立方对称性
例题
例1.1, 考虑一种体心立方晶体材料,晶格常数为 a=5x10-8cm。求晶体中的原子体密度
解:对体心立方晶胞,每个顶角原子为每个晶胞提供 八分之一个原子,则八个顶角原子共为每个晶胞提供一个 等效原子再加上体心原子,每个晶胞共有两个等效原子。
半导体物理与器件
电子设计自动化技术研究所 集成电路设计与集成系统专业 陈延湖
chenyanhu@
课程学习意义重大
半导体集成电路 产业应用市场巨 电子计算机 大,产值超3000 互联网 亿美元,是信息 产业的基石,属 国家战略新兴产 业。已设立千亿 产业投资基金, 个人通信手机 助力产业发展。
单晶材料(完美几何外观)
多晶硅与非晶硅 (片状,块状)
1.3晶体结构-空间晶格
一个典型的单元或原子团在三维的每一 个方向上按某种间隔规则重复排列就形 成了单晶体。 为了研究晶体的结构,将构成晶体的粒 子(单元或原子团)(基元)抽象为一 个点,这个抽象出的点称为格点。 构成晶体的格点集合称为空间点阵。 由空间点阵构成的网络就是晶格。晶格 就是为了方便描述以及研究晶体结构而 抽象出来的一种几何结构模型。
半导体物理与器件(吕淑媛)课件章 (1)
第 1 章 晶体中的电子运动状态
若某平面通过某轴,则在该轴的截距数目不唯一,此时, 可以通过另一平行平面来确定米勒指数。同样,当某平面通过 原点时,也可选择另一平行平面来确定其米勒指数。
原子的面密度是晶体的一个重要特征参数。原子面密度是 单位面积内原子的个数,可以用晶胞中一个晶面内所含原子数 除以晶胞中晶面的面积来计算。在计算过程中,原子的个数是 以原子切面的百分比来计算的。
第 1 章 晶体中的电子运动状态 第 1 章 晶体中的电子运动状态
1. 1 1. 2 1. 3 习题
固体的晶格结构 量子力学初步 晶体中电子的运动状态
第 1 章 晶体中的电子运动状态
从物质形态上分,半导体属于固体。固体的结构决定了其 性质,所以首先考虑固体中原子排列规律,即固体的晶格结构。 其次,半导体中的电子运动状态难以用经典力学来描述,而量 子力学波理论却能很好地描述半导体中电子的运动状态,所以 需要对量子力学有初步了解,并学习它的分析方法。最后,用 量子力学方法对晶体中的电子运动状态进行分析,得到晶体的 E-k 关系图,利用 E-k 关系图讨论电子的有效质量,并引 入空穴的概念,同时也为计算晶体中电子的量子态密度打下基 础。
第 1 章 晶体中的电子运动状态
化合物半导体是由两种及两种以上的元素组成的。化合物 包括二元(即两种元素)、三元(即三种元素)和多元化合物。二 元化合物半导体可以是由三族元素与五族元素组成化合物, 如 GaAs 或 GaP 。二族元素与六族元素也可以组成二元化合 物半导体。三元化合物半导体由三种元素组成,如 Alx Ga 1- x As ,其中下标 x 是原子序数低的元素的组分。当然还可以制 造更复杂的半导体材料。
第 1 章 晶体中的电子运动状态
4. 基本晶格结构
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
g(E) dZ dE
3.4 状态密度
一维无限深势阱定义为:
V x 0, 0 x a
V x , x a, x 0
一维无限深势阱中,粒子的能 量E与波矢k有如下关系:
本章小结
能带的形成,能带的分类,E-k能带图 固体导电机理 电子有效质量、空穴 状态密度函数 费米分布函数 费米能级 玻尔兹曼近似 GaAs和Si的能带图,直接带隙和间接带隙半导体
不同温度下的费米分布函数特性
假设系统包括13个电子。 T=0K 时:
fF
(E
)
1
1 exp( E
EF
)
k0T
EF
当E<EF时,fF(E) =1;当E>EF时,fF(E) =0。 电子处在最低能量状态上, E<EF的量子态完全被占据, E>EF
的量子态被占据的可能性为零。
比费米能级高的能级上没有电子,费米能级低的能级上有电子 。绝对零度时的费米能级可看作量子态是否被电子占据的能量 界限。
kz
例如在y方向,两个量子态之 间的距离是
ky1 ky
ny
1
a
ny
a
a
ky
kx
因此相邻的8个量子态构成边长为π/a的立方体。
一个量子态所占的空间为:
Vk
a
3
在k空间中,以|k|为半径作一个球面,它就是能 量为E(k)的等能面。再以|k+dk|为半径作一个球 面,它就是能量为E(k+dk)的等能面。
要计算能量在E~(E+dE)之间的量子态数,只要计 算这两个球壳之间的量子态数即可。
两个球壳之间的体积为 1 4 k 2dk
kz
8
体积为a3的晶体中,E~(E+dE)之
间量子态数即为 2
8
3
dk
k 2dk 3
a3
ky
电子自旋 a
k
2mE
2
其中k只能分立取值为 k n / a
那么粒子的能量为:
E
2k2 = 2m
2n2 2
2ma2
n 1,2,3...
一维无限深势阱中的粒子的能量是分立的
推广到三维,考虑被束缚在三维无限深势阱中的粒子, 而这个势阱即代表晶体(电子不能飞出去)。无限深 势阱定义为
V x 0, 0 x a;0 y a;0 z a;
Ec EF k0T
Ec EF
EF Ev k0T
Ev
因导带中的电子主要分布在导带底,价带中的空穴主要 分布在价带顶
所以导带中的电子分布,及价带中的空穴分布可以用玻 尔兹曼分布函数描述。
服从玻尔兹曼分布的电子系统称为非简并系统,相 应的半导体称为非简并半导体;
服从费米 分布的电子系统称为简并系统,相应的 半导体称为简并半导体;
费米分布函数
电子的费米分布函数:
fF
(
E
)
1
1 exp( E
EF
)
k0T
EF 为费米能级 k0 为玻尔兹曼常数 T 为绝对温度
费米(Fermi)能级是费米分布函数的重要参数,确定了 费米能级即可确定电子在各个能态的分布几率。
费米能级就是系统的化学势,处于热平衡的系统具有统一 的化学势,也即具有统一的费米能级。
V x , others
假定晶体为边长为a的立方体。根据一维无限深势阱 的结果外推,可以得到:
2mE
2
k2
k
2 x
k
2 y
k
2 z
kx nx a
ky ny a
其中,nx、 ny 、nz为正整数。
kz nz a
k空间的量子状态
k空间中量子状态如图所示:
kx
半导体能带的状态密度
单位体积的量子态密度即为:
dZ
k2 3
dk
①
对于导带底,E-k关系曲线在k=0附近近似于抛物线
,因此有
E
Ec +
2k 2 2mn*
E
Ec =
2k 2 2mn*
自由电子 E 2k 2 2m
从而
k
2mn* E Ec
2
dk 1
mn dE
不同温度下的费米分布函数特性
T>0K 时:
fF
(
E
)
1
1 exp( E
EF
)
k0T
EF
如果令E=EF,T>0K,则
fF
(E)
1
1 exp(0)
1 2
因此,在E=EF时,量子态被占据的可能性为1/2。
E<EF时, fF(E)>1/2;E>EF时, fF(E)<1/2。
不同温度下的费米分布函数特性
状态为空的概率为:
1
fF (E)
1
1
1
exp
E
EF kT
0.01 1
1
1
exp
5.95 6.25 kT
其中kT=0.06529 eV,于是温度T=756 K。
费米-狄拉克分布的玻尔兹曼近似
当 E EF k0T 时
exp( E EF ) 1 k0T
考虑量子态密度g(E)是能量E的连续函数。 假设系统中的电子总数为N0,当T=0K时,电子在这
些量子态上的分布情况如图中虚线所示。
电子首先从低能级开始往上填充,最后使得费米能 级EF以下的能级全部填满,而EF以上的能级全部为 空。只要已知g(E)和N0 ,则可以很方便地确定费米 能级EF。
2E Ec
h / 2
将k和dk的表达式代入①式,化简可得
4
dZ
2mn 3/2 h3
E Ec dE
因此导带底电子的状态密度即为:
gc(E)
dZ dE
4
2mn h3
3/2
E Ec
同理,价带顶E-k关系也近似于一个抛物线,因此
E
Ev -
还与有效质量有关,有效质量 大的能带中的状态密度大。
例题
当T=300K时,确定硅中EC与EC+kT之间的能态总 数。
能态密度
4
gc(E)
2mn 3/2 h3
E Ec
能态总数
N
4 Ec kT
Ec
2mn 3/2 h3
E Ec dE
4
=
允许的量子态被载流子占据的几率如何分布: 概率分布函数f(E)
那么单位体积中载流子数目就可以写成
dN f (E)g(E)dE
那么总的的载流子浓度(第四章)
n f (E)gc (E)dE
3.4 状态密度(单位能量的量子态数)
在半导体的导带和价带中,有很多能级存在。但相邻 能级的间隔很小,约为10-22eV数量级,可以近似的认 为能级是连续的。因而可将能带分为一个个能量很小 的间隔来处理。
量子态被空状态(空穴)占据几率
fF(E)表示能量为E 的量子态被电子占据的几率,所 以1-fF(E) 就是能量为E的量子态被空穴占据的几率。
能量E增加,空穴的占有几率增加。
费米能级EF增加,空穴占有几率下降,电子填充水 平增加。
电子和空穴的分布几率相对费米能级是对称的。
例题
设某种材料的费米能级为6.25 eV,并且这种材料中 的电子符合费米-狄拉克分布函数。试计算在低于费 米能级0.30eV处,温度为何值时能态为空的概率是 1%。
从微观上讲,每个电子所具有的能量有大有小,但从 宏观上看,在热平衡状态下,多个电子按能量大小具 有一定的统计分布规律性。
根据量子统计理论,晶体中的电子服从泡利不相容原理 (每个量子态只允许存在一个微观粒子),遵循费米狄拉克统计规律,为:
fF
(E
)
1
1 exp( E
EF
)
k0T
fF(E)就称作费米-狄拉克统计分布函数,简称费 米分布,它反映的是能量为E的一个量子态被一个电 子占据的几率,而EF则称为费米能级。
所以:
1 exp( E EF ) exp( E EF )
k0T
k0T
则:
fF(E)
fB (E) exp(
E EF ) k0T
fB (E) 称为电子的玻尔兹曼分布函数
相应的,空穴的玻尔兹曼分布函数为
1
fB(E)
exp(
EF E ) k0T
对本征硅:
(EF )本征 Ei (Ei为禁带中心能级)EC
2mn 3/2 h3
2 3
E E 3/2 Ec kT
c
Ec
4 =
2 *1.08 * 9.1110-31 3/2 2
6.625 10-34 3
3
0.0259*1.6 10-19 3/2
=2.12 1025m-3 2.12 1019cm-3
3.5 统计力学 费米-狄拉克概率分布函数