CDA系统及制程真空系统简介精讲教案资料

压缩干燥空气系统
➢ 工作流程~吸附过程
入口阀(桶槽切换时作动)
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶排气阀(OFF)
T B桶排气阀(OFF)
T
B桶槽高温切换 保护开关(50℃)
吸附桶槽
A桶槽
桶槽切换依据 1.侦湿器作动(7.5~13kHz) 2.时间控制(11hr)
T
P
T
B桶槽 待机桶槽
P
A桶泄压阀(OFF)
➢ IGV&BOV
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机组件介绍
空氣入口
A吸附桶槽
A桶安全洩壓閥 (10.6kg/cm2)
A桶槽偵濕器
B桶安全洩壓閥 (10.6kg/cm2)
B桶槽偵濕器 鼓風機
B吸附桶槽
電加熱器
限流孔板
空氣出口
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机组件介绍~气动控制阀件
空氣入口
入口閥
A桶排氣閥 A吸附桶槽
CDA系统及制程真空系统简介 精讲
压缩干燥空气系统
➢ 系统目的
?提供低含水量之压缩洁净空气
➢ 需求设备
?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器
➢ 质量要求(各厂需求略有不同)
?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3
(45psi) P
T
加热结束温度 控制开关 (80℃)
加热器温度 保护开关 (370℃)
T
加热温度 控制开关 (维持200℃)
T
B桶槽建压 压力开关
(45psi) P
T
B桶槽高温切换 保护开关(50℃)
空气出口温度 监视点
T
压缩干燥空气系统
➢ Cycle Time(22hr)
?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间
B桶泄压阀(OFF)
建压阀(OFF)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~泄压程序(8min)
入口阀
T
T
T
A桶排气阀(OFF)
B桶排气阀(OFF)
泄压桶槽 A桶槽
P
T
A桶泄压阀(ON)
B桶槽 吸附桶槽
T P
B桶泄压阀(OFF) 建压阀(OFF)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~加热程序(240min max)
入口阀
T A桶排气阀(ON)
冷却桶槽 A桶槽
T
T
B桶排气阀(OFF)
35℃
B桶槽 吸附桶槽
P
T
A桶泄压阀(OFF)
T P
B桶泄压阀(OFF) 建压阀(ON)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~建压程序(15min)
入口阀
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
➢ 吸附过程(11hr)
?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序
➢ 再生过程(11hr)
?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力 ?加热程序(240min max)：加温移除干燥粒子所含水份 ?冷却程序(410min max)：冷却干燥粒以恢复吸附能力 ?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力
压缩干燥空气系统
➢ 压力单位
?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr
➢ 大气压力
?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr
➢ 压缩干燥空气处理流程
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀
進口調節導葉
止回阀
橈性接頭 後冷却器
油過滤器 油温控制阀
中間冷卻 器
油 空氣 水 冷凝水
排油氣風扇及過滤器
油加热器
油箱
中間 冷卻 器
主油泵
过滤網
油冷却器 辅油泵
压缩干燥空气系统
➢ 绝对压力
?表压力+大气压力
➢ 压力换算
?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi
真空度 絕對壓力
零度錶壓
錶壓力
絕對壓力 大氣壓力
絕對真空
压缩干燥空气系统
➢风量单位
?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)
➢单位换算
?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM
Moisture Indicator 1.蓝色?正常 2.粉红?含水
P Outlet Pressure
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力表(机械式)
P T
T P
T
B桶槽
P
冷却压力 P
P
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力控制开关(电子式)
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶槽建压 压力开关
A桶槽
Purge P P Left Chamber Pressure
B桶槽
P Right Chamber Pressure
Left Chamber Moisture Right Chamber
Pressure
Indicator
Pressure
Inlet Pressure
Purge
Outlet Pressure
入口阀
加热桶槽
T
T
A桶排气阀(ON)
B桶排气阀(OFF)
加热结束ຫໍສະໝຸດ Baidu度
控制开关
(80℃)
A桶槽
P
1.鼓风机启动
2.加热器启动
加热器温度
保护开关
加热温度
(370℃) T
T 控制开关 (维持200℃)
P
T
B桶槽
吸附桶槽
A桶泄压阀(OFF)
B桶泄压阀(OFF)
建压阀(OFF)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~冷却程序(410min max)
➢ Standard&Normal风量转换范例
?100SCMM= NCMM ?理想气体定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) ?Ans：93.17NCMM ?Q(Standard) > Q(Normal)
压缩干燥空气系统
B桶排氣閥 B吸附桶槽
逆止閥 A桶洩壓閥
B桶洩壓閥 建壓閥
空氣出口
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力表(机械式)
入口壓力 P
T 排氣出口溫度
T A桶槽溫度 P A桶槽壓力
B桶槽溫度 T B桶槽壓力 P
冷卻壓力 P
P 出口壓力
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力表(机械式)
Inlet Pressure P
➢特定风量条件
?Standard Condition(SCMM)：1atm、20℃、 65%R.H
?Normal Condition(NCMM)：1atm、0℃、 0%R.H
压缩干燥空气系统
➢ Standard&Normal风量转换
?理想气体定律 ?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 ?P：绝对压力 ?T：绝对温度