【CN109943850A】提高酸性蚀刻液再生回用率的系统及方法【专利】
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910318744.0
(22)申请日 2019.04.19
(71)申请人 惠州市臻鼎环保科技有限公司
地址 516055 广东省惠州市东江高新区东
兴片区东新大道106号东江创新大厦
内16楼1602室
(72)发明人 刘剑锋 高东瑞 李强
(74)专利代理机构 北京国昊天诚知识产权代理
有限公司 11315
代理人 王华强
(51)Int.Cl.
C23F 1/46(2006.01)
C25C 1/12(2006.01)
C25C 7/00(2006.01)
(54)发明名称提高酸性蚀刻液再生回用率的系统及方法(57)摘要本发明揭示一种提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其包括蚀刻产线、电解装置、添加装置、再生液调配装置以及再生液ORP提升装置，蚀刻产线的富铜酸性蚀刻废液经电解装置电解后成氯气和贫铜电解清液，贫铜电解清液与蚀刻产线的低ORP酸性蚀刻液混合形成再生酸性蚀刻液，再生液ORP提升装置对酸性蚀刻液进行逆流喷射，并与氯气碰撞，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线；本发明还揭示了一种提高酸性蚀刻液再生回用率的方法。本申请通过再生液ORP提升装置的设置，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线，以提高蚀刻产线上酸性蚀刻液的ORP，替代了传统蚀刻产线添加氧化剂与盐酸的方式，提高了蚀刻废液的再生回用率，降低了
化学剂的使用和废水的排放。权利要求书2页 说明书8页 附图2页CN 109943850 A 2019.06.28
C N 109943850
A
权 利 要 求 书1/2页CN 109943850 A
1.一种提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其特征在于，包括：
蚀刻产线(1)，其对PCB板进行蚀刻，输出富铜酸性蚀刻废液和低ORP酸性蚀刻液；
电解装置(2)，其接收所述蚀刻产线(1)输出的富铜酸性蚀刻废液并进行电解，输出贫铜电解清液、铜以及氯气；
添加装置(3)，其用于提供添加剂；
再生液调配装置(4)，其接收所述蚀刻产线(1)输出的低ORP酸性蚀刻液、所述电解装置(2)输出的贫铜电解清液以及所述添加装置(3)提供的添加剂并进行混合，输出再生酸性蚀刻液；以及
再生液ORP提升装置(5)，其包括动力波管(51)、罐体(52)以及逆流喷射件(53)；所述动力波管(51)的下端与所述罐体(52)连通，其上端与所述电解装置(2)连通；所述动力波管(51)内设置有气液混合区(511)，所述逆流喷射件(53)设于所述动力波管(51)，并位于所述气液混合区(511)的下方，所述逆流喷射件(53)与所述再生液调配装置(4)连通；所述罐体(52)的下端与所述蚀刻产线(1)连通；所述逆流喷射件(53)逆流喷射所述再生酸性蚀刻液至所述气液混合区(511)，所述氯气经过所述动力波管(51)的上端进入到所述气液混合区(511)，所述再生酸性蚀刻液与所述氯气碰撞形成雾化泡沫，并形成高ORP酸性蚀刻再生液，所述高ORP酸性蚀刻再生液传输至所述蚀刻产线(1)。
2.根据权利要求1所述的提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其特征在于，所述再生液ORP提升装置(5)的数量为两个；其一所述动力波管(51)的上端与所述电解装置(2)连通，另一所述逆流喷射件(53)与所述再生液调配装置(4)连通，其一所述罐体(52)的上端与另一所述动力波管(51)的上端连通，另一所述罐体(52)的下端与其一所述逆流喷射件(53)连通，其一所述罐体(52)的下端与所述蚀刻产线(1)连通。
3.根据权利要求1所述的提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其特征在于，所述罐体(52)内还设置有除雾层(521)以及氧化液；所述除雾层(521)位于所述动力波管(51)与所述罐体(52)连通位置的上方；所述氧化液位于所述动力波管(51)与所述罐体(52)连通位置的下方。
4.根据权利要求3所述的提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其特征在于，其还包括废气处理装置(6)；所述废气处理装置(6)包括净化装置(61)以及排气装置(62)；所述净化装置(61)与所述所述罐体(52)的上端连通，所述排气装置(62)与所述净化装置(61)连通。
5.根据权利要求4所述的提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其特征在于，所述净化装置(61)包括净化管(611)、净化罐(612)以及循环件(613)；所述净化罐(612)内设置有净化层(6121)以及碱液，所述净化层(6121)位于所述碱液的上方；所述净化管(611)的一端与所述净化罐(612)连通，且该连通位置位于所述净化层(6121)以及碱液之间；所述净化管(611)的另一端与所述罐体(52)的上端连通；所述净化罐(612)的下端通过循环件(613)与所述净化管(611)连通；所述净化罐(612)的上端与所述排气装置(62)连通。
6.根据权利要求1所述的提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其特征在于，所述电解装置(2)包括隔膜电解槽(21)、过滤件(22)、电清液收集存储罐(23)以及氯气抽出件；所述隔膜电解槽(21)具有槽体(211)、阳极部(212)以及阴极部(213)；所述氯气抽出件分别与所述阳极部(212)以及动力波管(51)的上端连通；所述槽体(211)通过所述过滤件(22)与所述电清液收集存储罐(23)连通，所述电清液收集存储罐(23)用于存储贫铜电解清液。
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