硅压力传感器

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硅压阻式压力传感器工作原理

硅压阻式压力传感器工作原理

硅压阻式压力传感器工作原理1. 硅压阻式压力传感器概述嘿,朋友们,今天我们来聊聊硅压阻式压力传感器。

听起来有点复杂,对吧?其实说白了,就是一种用来测量压力的设备,特别适合在一些要求高精度的场合,比如汽车、飞机甚至医疗设备上。

你可能会想,压力测量有什么了不起的?其实,压力测量就像我们生活中的调味料,少了它可不行!想想,如果没有压力传感器,我们的汽车可能就像个没头苍蝇,乱窜乱撞,根本无法安全驾驶。

这玩意儿的工作原理其实也很简单,就像你在吹气球时,气球里的气压会让它鼓起来。

硅压阻式传感器就利用这种原理来检测压力变化。

它的核心材料是硅,而硅呢,又是我们这个科技时代的宠儿,无处不在。

从手机芯片到太阳能电池板,它都在默默奉献。

1.1 硅的神奇之处说到硅,它真是个神奇的东西。

硅在常温下是个很稳定的元素,这让它在各类传感器中广受欢迎。

我们常常提到的“硅谷”,其实就是因为这里聚集了很多用硅做的高科技公司。

再说了,硅的导电性也特别好,能够帮助我们轻松地转换压力信号。

这就像我们平时听音乐,耳机里发出的声音其实就是电信号的变化,硅传感器也是这个道理。

1.2 工作原理那么,这个传感器到底是怎么工作的呢?当压力作用在传感器的膜片上时,膜片会发生形变。

想象一下,像你踩在沙滩上,沙子会凹下去。

这时,传感器内部的硅元件就会感受到这种形变。

硅元件内的电阻会因为形变而发生变化。

这个变化就好比我们心情的起伏,压力大了,电阻就变小了;压力小了,电阻就变大了。

接下来,变化的电阻会被转换成电压信号,然后再通过电路输出。

就像你用手机拍照,光线通过镜头后变成了电子信号,最后展现在屏幕上。

通过这种方式,我们就能实时监测压力的变化,确保一切正常。

2. 硅压阻式传感器的应用当然,硅压阻式压力传感器可不是只能用在一个地方。

它的应用范围可广泛得很,简直是无所不能。

比如在汽车上,压力传感器能帮助我们监测轮胎压力,确保安全行驶。

谁要是开着轮胎瘪了的车,那可真是开车去约会,结果一路上都是惊心动魄的体验。

硅压力传感器工作原理

硅压力传感器工作原理

硅压力传感器工作原理硅压力传感器(Silicon Pressure Sensor)是一种常用的压力测量装置,广泛应用于工业生产、航空航天、汽车制造等领域。

它的工作原理基于硅材料的压阻效应,通过测量硅芯片上的电阻变化来反映被测介质的压力大小。

硅压力传感器主要由硅芯片、金属膜、传感电路和外壳组成。

硅芯片是整个传感器的核心部件,其材料具有良好的弹性和导电性能。

金属膜贴附在硅芯片的表面,通过与介质接触来承受压力的作用。

传感电路负责测量金属膜上的电阻变化,并将其转化为与压力成正比的电信号。

外壳则起到保护硅芯片和金属膜的作用,同时具有防水、防尘等功能。

当介质施加压力时,金属膜会发生微小的形变,导致硅芯片上的电阻发生变化。

这是由于硅材料具有压阻效应,即在受到外力作用下,其电阻会发生变化。

通常,硅芯片上会有一系列的电阻片,形成一个电阻桥电路。

当压力作用于金属膜时,电阻桥电路中的电阻值会发生不同程度的变化。

传感电路会通过测量电阻桥电路的电压差来获取压力信号,并将其转化为标准化的电信号输出。

硅压力传感器具有高精度、高灵敏度、稳定可靠的特点。

其测量范围广泛,可覆盖从微压力到高压力的各种应用场景。

此外,硅压力传感器具有响应速度快、温度影响小、体积小等优势,使得其在工业自动化、流体控制、仪器仪表等领域得到广泛应用。

然而,硅压力传感器也存在一些局限性。

首先,由于硅芯片的制造工艺较为复杂,生产成本较高。

其次,硅压力传感器对温度的变化较为敏感,需要进行温度补偿来提高测量精度。

此外,硅压力传感器的使用寿命可能受到介质的侵蚀和金属疲劳等因素的影响。

在实际应用中,为了保证硅压力传感器的准确性和可靠性,需要进行定期的校准和维护。

此外,在安装和使用过程中,还需要注意防止介质的腐蚀和冲击,以免损坏传感器。

对于不同的应用场景,还可以根据需求选择不同量程和输出方式的硅压力传感器,以满足实际测量需求。

硅压力传感器利用硅材料的压阻效应来测量压力,具有高精度、高灵敏度和稳定可靠的特点。

四川扩散硅压力传感器用途

四川扩散硅压力传感器用途

四川扩散硅压力传感器用途四川扩散硅压力传感器是一种常见的压力感测元件,其应用广泛,并在工业控制、自动化领域得到了广泛应用。

以下是四川扩散硅压力传感器的主要用途。

首先,四川扩散硅压力传感器可用于工业过程控制。

在工业生产中,各种液体或气体的压力监测是非常重要的。

四川扩散硅压力传感器具有高准确性和稳定性,能够实时监测和反馈液体或气体的压力变化情况,从而实现对生产过程的精确控制。

其次,四川扩散硅压力传感器可用于汽车行业。

在汽车制造和车辆性能监测中,压力传感器被广泛应用于发动机、刹车系统、气囊系统等关键部位。

通过监测和控制液压、空气等液体或气体的压力,可以保证汽车的安全性和性能稳定性。

另外,四川扩散硅压力传感器还可应用于医疗设备。

在医疗器械中,如血压计、呼吸机和输液泵等设备中,压力传感器可以精确测量和监测生物体内部或外部的压力变化情况,实现对患者身体状况的掌控和监测。

此外,四川扩散硅压力传感器还可广泛应用于气象测量。

在气象站、气象卫星等设备中,通过使用压力传感器,可以准确测量大气压力的变化情况,提供气象预报和气候分析所需的数据。

此外,四川扩散硅压力传感器还可用于石油和天然气勘探行业。

在油井压力监测和油气输送管道运输过程中,通过安装压力传感器,可以及时准确地监测井口压力以及油气管道中的流体压力,避免可能的事故和泄露,并提高生产效率。

最后,四川扩散硅压力传感器还可用于环境监测和安防领域。

通过安装在监测设备,如水质监测设备、污水处理设备等,压力传感器可以监测和控制水和气体的压力,实现环境污染的实时监测和控制。

在安防领域,压力传感器可以应用于门禁、入侵检测等设备,通过对压力的监测和判断,实现安全管理和事件报警。

综上所述,四川扩散硅压力传感器用途广泛,包括工业过程控制、汽车行业、医疗设备、气象测量、石油和天然气勘探、环境监测和安防等领域。

随着科技的不断发展和应用需求的提升,四川扩散硅压力传感器在各个领域的应用将会越来越广泛。

扩散硅压力传感器技术简介

扩散硅压力传感器技术简介

扩散硅压力传感器技术简介一、一般介绍:硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时(一般步于400微应变),其内部原子结构的电子能级状态会发生变化,从而导致其电阻率剧烈变化(G因子突变)。

用此材料制成的电阻也就出现极大变化,这种物理效应称为压阻效应。

利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥,利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。

给传感器匹配一放大电路及相关部件,使之输出一个标准信号,就组成了一台完整的变送器。

二、技术特点:1、灵敏度高扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍,它的满量程信号输出在80-100mv左右。

对接口电路适配性好,应用成本相应较低。

由于它输入激励电压低,输出信号大,且无机械动件损耗,因而分辨率极高。

2、精度高扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,所以重复性和迟滞误差很小。

由于硅材料的刚性好,形变小,因而传感器的线性也非常好。

因此综合表态精度很高。

3、可靠性高扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片最大位移量在来微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,无老化。

平均无故障时间长,性能稳定,可靠性高。

4、频响高由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在50KC。

制造过程采用了集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至100千赫兹。

5、温度性能好随着集成工艺技术进步,扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高,原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动修整技术所替代,传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/℃数量级,工作温度也大幅度提高。

6、抗电击穿性能好由于采用了特殊材料和装配工艺,扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用,在强磁场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击。

硅基压阻式压力传感器工作原理

硅基压阻式压力传感器工作原理

硅基压阻式压力传感器工作原理硅基压阻式压力传感器是一种常用的压力测量设备,它利用薄膜材料的机械变形特性,将外界施加的压力转化为电信号输出。

本文将详细介绍硅基压阻式压力传感器的工作原理以及其应用领域。

一、硅基压阻式压力传感器的结构与组成硅基压阻式压力传感器由四个主要部分组成:薄膜材料、传感电路、导线和封装壳体。

1. 薄膜材料硅基压阻式压力传感器的核心元件是由硅薄膜组成的压敏电阻器。

薄膜的制备通常采用微电子加工技术,将高纯度的硅片通过化学腐蚀等方法,制作成微米级厚度的薄膜。

2. 传感电路传感电路是将薄膜材料的电阻变化转化为电信号的重要组成部分。

传感电路通常由电桥电路构成,其中包括一个或多个传感电阻和补偿电阻。

3. 导线导线将传感电路连接至外部的电子设备,将传感器的输出信号传递出去。

4. 封装壳体封装壳体是为了保护传感器内部的组件,并提高传感器的可靠性和耐用性。

封装壳体通常由金属或塑料材料制成。

二、硅基压阻式压力传感器的工作原理1. 压力作用下的薄膜变形当外界施加压力作用于硅基压阻式压力传感器时,薄膜材料会发生一定程度的弯曲变形。

这是因为薄膜具有压电效应,当压力施加在薄膜上时,薄膜的形状会发生变化。

2. 电阻的变化薄膜材料的形变会导致材料内部的电阻发生变化。

通常情况下,当薄膜材料被压缩时,电阻值会有所增加;当薄膜材料被拉伸时,电阻值会有所减小。

3. 传感电路的作用传感电路通过连接在传感器上的电桥电路,对电阻值的变化进行检测和测量。

电桥电路通常由一个或多个传感电阻和补偿电阻组成。

当压力作用下,薄膜材料产生形变,导致传感电阻值的变化,进而引起电桥电路失衡。

传感电路通过检测电桥电路失衡的大小,将失衡量转化为电压或电流信号输出。

4. 输出信号的转化传感器的输出信号可以是电压信号或电流信号,其数值与受测压力成正比。

通过对输出信号的测量和计算,可以得到被测压力的实际值。

三、硅基压阻式压力传感器的应用领域硅基压阻式压力传感器具有结构简单、精度高、响应速度快、线性度好等特点,广泛应用于各个领域的压力测量和控制中。

扩散硅压力传感器工作原理

扩散硅压力传感器工作原理

扩散硅压力传感器工作原理
扩散硅压力传感器是一种常用的压力测量装置,它基于硅材料的特性来实现压力的转换和测量。

其工作原理可以概括为以下步骤:
1. 制作硅片:首先使用半导体工艺,将硅材料制成片状。

该硅片通常具有单晶结构,因为单晶硅具有良好的热稳定性和机械性能。

2. 扩散处理:通过将硅片暴露在高温下与其他材料反应,使硅表面形成一个扩散层。

该层通常是由杂质控制的掺杂层,其类型和浓度取决于所需的压力测量范围和灵敏度。

3. 转换结构形成:通过光刻和腐蚀等工艺,在硅片上制造出一个转换结构。

该结构通常由压电效应控制的感应电极和传感腔室组成。

当压力施加在传感腔室上时,硅结构会发生变形,从而改变电极间的距离,导致电容值的变化。

4. 电信号读取:通过连接感应电极,测量电容值的变化。

这可以通过将传感器组装到一个电路板上,并使用适当的电子元器件来完成。

电容值的变化可以转换为电压或电流信号,以供进一步处理和显示。

5. 压力测量:最后,根据已知的硅材料和传感结构的特性,使用相关的校准参数来将电信号转换为压力值。

这可以通过校准实验和曲线拟合来完成,以确保测量的准确性和可靠性。

总之,扩散硅压力传感器通过利用硅材料的压电特性,将施加的压力转化为电信号,从而实现对压力的测量。

它具有小型化、高精度和良好的可靠性等优点,在工业、医疗和汽车等领域被广泛应用。

安徽扩散硅压力传感器用途

安徽扩散硅压力传感器用途

安徽扩散硅压力传感器用途安徽扩散硅压力传感器是一种用于测量和监测压力的传感器。

它广泛应用于工业、冶金、石油化工、航天航空、核工业、医疗器械、环境监测等领域。

以下将详细介绍其主要用途:1. 工业控制与自动化:安徽扩散硅压力传感器可以用于测量各种工业流体和气体的压力,如液位控制、液体流量控制、压力容器监测等。

它可以与工业控制系统集成,实现自动化检测和控制。

2. 压缩机和泵站:安徽扩散硅压力传感器可用于测量压缩机和泵站中的液体压力,帮助监测和控制设备的运行状态,提高设备的效率和安全性。

3. 石油和化工行业:安徽扩散硅压力传感器广泛应用于石油和化工行业,用于测量管道、贮罐、反应器等设备中的压力,帮助监测和控制生产过程,确保生产安全和稳定。

4. 航天航空领域:安徽扩散硅压力传感器在航天航空领域的应用十分重要。

它可以用于测量航空器中的气压和液压系统的压力,帮助监测和控制飞行状态,确保航行安全。

5. 核工业:安徽扩散硅压力传感器在核工业中也有广泛应用。

它可以用于测量核电站中的压力,帮助监测和控制核反应堆的状态,确保核能装置的安全运行。

6. 医疗器械:安徽扩散硅压力传感器可以用于测量医疗器械中的气体或液体压力,如呼吸机、注射器、血压计等。

它能够帮助医疗人员监测患者的生命体征,确保医疗过程的安全和有效。

7. 环境监测:安徽扩散硅压力传感器可用于环境监测,如测量大气压力、水压力等。

它可以帮助监测气候变化、水位变化等环境因素,为环境保护和资源管理提供数据支持。

总之,安徽扩散硅压力传感器具有广泛的应用领域和用途。

它的高精度、高稳定性和可靠性使其成为各个行业中必不可少的测量和控制设备。

随着科技的不断进步和应用需求的增加,安徽扩散硅压力传感器的应用领域将会进一步扩大并不断创新。

硅压力传感器原理

硅压力传感器原理

硅压力传感器原理
硅压力传感器利用硅材料的特性将外部施加的压力转换为电信号。

其工作原理主要有四个步骤:
1. 微机电系统(MEMS)加工:在硅衬底上使用光刻和腐蚀等工艺制作出微型结构,其中包括一个薄膜片和一系列微小孔洞。

2. 变形:当外部施加压力到达传感器薄膜片上时,薄膜发生弯曲变形。

变形的幅度与施加的压力成正比。

3. 电极检测:两个电极被放置在薄膜片的两侧。

当薄膜发生变形时,电极之间的距离改变,导致电阻值的变化。

4. 电信号转换:测量电路读取电极之间的电阻值变化,并将其转换为与施加的压力成比例的电信号。

这个信号可以经过放大或数字化处理,并用于控制或显示设备上。

硅压力传感器具有高灵敏度、宽压力范围、快速响应、较高的精度和可靠性等优点。

它们广泛应用于工业自动化、汽车工程、医疗设备、航空航天等领域中,用于测量液体或气体的压力。

扩散硅压力传感器工作原理

扩散硅压力传感器工作原理

扩散硅压力传感器工作原理
硅压力传感器是一种基于硅材料的传感器,用于测量压力。

其工作原理基于压力对硅芯片的变形产生的电阻变化。

硅压力传感器的核心部件是一个薄膜型硅压阻元件,通常由硅晶圆加工而成。

该元件由两层硅薄膜组成,上层为引压膜,下层为探测膜。

当外界施加压力作用在传感器上时,引压膜和探测膜之间的硅材料会产生一定程度的变形。

这种变形会改变硅材料的电阻特性,从而使得传感器的输出信号发生变化。

硅压力传感器通常采用电桥测量电路将这个电阻变化转化为电压输出。

通过对电桥进行精确的电压测量,就可以实现对外界压力的准确测量。

硅压力传感器的灵敏度和稳定性主要取决于硅材料的特性以及传感器的制造工艺。

传感器内部通常还会加入温度补偿电路,以消除温度对测量结果的影响。

另外,传感器还需要进行标定和校准,以确保其测量结果的准确性和可靠性。

总结来说,硅压力传感器通过测量硅芯片在压力作用下的变形,利用电桥测量电路将其转化为电压输出,实现对压力的测量。

它具有高灵敏度、稳定性好等特点,广泛应用于工业控制、汽车、医疗设备等领域。

硅压力敏传感器测量原理

硅压力敏传感器测量原理

硅压力敏传感器测量原理硅压力敏传感器是一种可以测量压力的传感器,它可以将受到的压力转换成电信号,从而便于检测和控制。

硅压力敏传感器是当今工业控制的重要组成部分,它的使用广泛,在自动控制领域有着广泛的应用。

本文将对硅压力敏传感器的测量原理进行探讨,以期帮助读者更好地理解硅压力敏传感器的作用。

一、硅压力敏传感器概述硅压力敏传感器是一种利用硅片压力变化而产生电信号的传感器,它可以将受到的压力变化转换成电信号,便于进行检测和控制。

硅压力敏传感器的优势在于结构简单、体积小、重量轻、抗干扰能力强,可以测量连续性的高低压力,是生产实践中的重要控制组件,在自动控制领域有着广泛的应用。

二、硅压力敏传感器的测量原理硅压力敏传感器是一种利用硅片压力变化而产生电信号的传感器,它的测量原理是利用硅片的折变特性,当硅片受到压力时,它的折变性发生变化,从而产生了一定的电信号变化。

也就是说,当硅片受到压力时,它的折变特性发生变化,从而产生一定的电信号变化,这就是硅压力敏传感器的测量原理。

硅压力敏传感器的测量原理是利用硅片的折变特性,当硅片受到压力时,它的折变性发生变化,从而产生了一定的电信号变化。

具体来说,硅压力敏传感器的结构主要由三部分组成,即薄膜硅片、支撑架和放大器。

薄膜硅片是传感器的主要部件,它是由许多薄膜硅片片段拼接而成的,每片硅片的厚度仅为几微米,具有极高的折变率。

当硅片受到压力时,它的折变性发生变化,从而产生一定的电信号变化,这就是硅压力敏传感器的测量原理。

三、硅压力敏传感器的应用硅压力敏传感器的应用非常广泛,其主要应用领域包括测量气体压力、液体压力、温度压力等,在工业控制领域有着重要的地位。

例如可以用来测量压缩空气、水压、液压、温度和湿度等,在液压、空气压力、液体流量等控制系统中,硅压力敏传感器可以用来实现实时压力检测和控制。

此外,硅压力敏传感器还可以用于测量气体流量、液体流量和温度等参数,在电力系统的控制中也有着重要的应用。

扩散硅压力传感器原理

扩散硅压力传感器原理

扩散硅压力传感器原理扩散硅压力传感器是一种常用的压力测量装置,它利用硅材料的特性来实现对压力的测量。

扩散硅压力传感器的原理是利用硅材料的压阻效应来实现对压力的测量,其工作原理如下:1. 压力传感器的结构。

扩散硅压力传感器通常由硅芯片、导电膜和封装壳体组成。

硅芯片是传感器的核心部件,它通常采用单晶硅制成,具有良好的机械性能和化学稳定性。

导电膜是用于测量电阻值的部件,它通常采用金属材料制成,能够与硅芯片形成良好的电接触。

封装壳体则用于保护传感器内部结构,同时也可以起到固定和连接的作用。

2. 压力传感器的工作原理。

当外界施加压力到传感器上时,硅芯片会产生微小的变形,这种变形会导致硅芯片内部应力的变化,从而改变硅芯片的电阻值。

导电膜可以通过测量硅芯片的电阻值来间接测量外界施加到传感器上的压力大小。

传感器内部的电路会将电阻值转换为相应的电压信号,然后输出给外部的测量设备进行显示和记录。

3. 压力传感器的特点。

扩散硅压力传感器具有灵敏度高、稳定性好、响应速度快、温度影响小等特点。

由于硅材料的优良特性,使得扩散硅压力传感器在工业自动化控制、航空航天、医疗器械等领域得到广泛应用。

4. 压力传感器的应用。

扩散硅压力传感器广泛应用于各种压力测量场合,如液压系统、气动系统、汽车制动系统、工业流体控制系统等。

在这些应用场合中,扩散硅压力传感器能够准确、稳定地测量各种压力信号,并将其转换为标准的电信号输出,为工程控制和管理提供了重要的数据支持。

总结,扩散硅压力传感器是一种应用广泛的压力测量装置,其原理简单清晰,具有灵敏度高、稳定性好等特点,适用于各种工业领域的压力测量和控制。

随着科技的不断发展,扩散硅压力传感器的性能将会进一步提升,应用领域也会更加广泛。

扩散硅压力传感器 压阻效应原理

扩散硅压力传感器 压阻效应原理

扩散硅压力传感器压阻效应原理引言:扩散硅压力传感器是一种常用的压力测量设备,通过利用硅片的压阻效应来实现对压力的测量。

本文将详细介绍扩散硅压力传感器的原理和工作过程,以期帮助读者更好地理解和应用这一技术。

一、压阻效应的基本原理扩散硅压力传感器基于压阻效应,即当硅片受到外力作用时,其电阻值会发生变化。

这是因为硅片的电阻与其几何形状和材料导电特性有关,当外力作用于硅片表面时,硅片发生变形,从而改变了其几何形状和材料导电特性,进而导致电阻值的变化。

利用这一原理,我们可以通过测量硅片电阻值的变化来间接测量外力的大小。

二、扩散硅压力传感器的结构和工作原理扩散硅压力传感器通常由硅片、电极和支撑结构等组成。

硅片是传感器的核心部件,也是扩散硅压力传感器的灵敏元件。

电极用于接触硅片并测量其电阻值的变化。

支撑结构则用于固定硅片和电极,保证传感器的稳定性和可靠性。

当外界压力作用于扩散硅压力传感器时,压力会传递给硅片,并使其发生微小的变形。

这一变形会导致硅片的电阻值发生变化。

电阻值的变化可以通过电极测量得到,并转化为电信号输出。

由于硅片的变形与外界压力成正比,所以通过测量电阻值的变化,我们可以间接地获得外界压力的大小。

三、扩散硅压力传感器的优势和应用领域扩散硅压力传感器具有以下几个优势:1. 高灵敏度:扩散硅压力传感器对压力变化非常敏感,能够测量微小的压力变化。

2. 宽测量范围:扩散硅压力传感器的测量范围广,可以覆盖从几帕到几千帕的压力范围。

3. 高精度:扩散硅压力传感器的精度较高,能够满足对压力测量的精确要求。

4. 快速响应:扩散硅压力传感器的响应速度快,可以实时监测压力变化。

扩散硅压力传感器广泛应用于各个领域,包括工业自动化控制、汽车电子、医疗器械、环境监测等。

例如,在汽车电子领域,扩散硅压力传感器可以用于测量发动机燃油压力、轮胎气压等参数,以提高汽车的安全性和燃油利用率。

在医疗器械领域,扩散硅压力传感器可以用于测量血压、呼吸机气道压力等,以辅助医生进行诊断和治疗。

扩散硅压力传感器的工作原理

扩散硅压力传感器的工作原理

扩散硅压力传感器的工作原理
扩散硅压力传感器的工作原理:
①敏感膜片结构首先需了解扩散硅压力传感器核心部件是由单晶硅制成厚度仅有数十微米弹性膜片;
②扩散电阻制作在膜片背面用光刻腐蚀技术制作四个矩形电阻并将它们连接成惠斯通电桥电路;
③压力感应当被测介质压力作用于膜片正面时由于材料弹性膜片会发生微小形变导致电阻值变化;
④电桥不平衡变化引起电阻值变化会打破原来平衡状态使电桥输出端产生与压力成正比电压信号;
⑤放大处理由于原始信号十分微弱需用专用放大器对其放大整形滤波等处理提高信噪比便于远传;
⑥温度补偿实际应用中温度变化会影响硅材料电阻率需在电桥中增加热敏电阻或采用软件算法补偿;
⑦非线性校正在较大压力范围内输出与压力间可能存在非线性关系需通过硬件软件手段进行修正;
⑧零点迁移为适应不同场合需求传感器可在出厂时预设一定量程迁移扩大测量范围满足特殊要求;
⑨防护封装裸露敏感元件需用不锈钢钛合金等耐腐蚀材料封装起来并充入惰性气体防止外界干扰;
⑩输出方式除了模拟量外现代智能传感器还提供RS485 CAN等数字通讯接口便于接入自动化系统;
⑪应用领域因其体积小精度高稳定性好等特点被广泛应用于石油石化航空航天医疗等多个行业;
⑫发展趋势随着MEMS技术进步未来扩散硅压力传感器将朝着集成化微型化多功能化方向发展。

单晶硅压力传感器原理

单晶硅压力传感器原理

单晶硅压力传感器原理单晶硅压力传感器是一种常用的压力传感器,具有高精度、高可靠性、结构简单等优点。

其工作原理基于单晶硅片的压阻效应,通过将单晶硅片作为传感元件,将压力转换为电信号来实现压力的检测和测量。

单晶硅压力传感器由压力感应器件、信号处理电路和输出接口组成。

压力感应器件采用单晶硅芯片,其上有微小的电阻电桥,当外部施加压力时,单晶硅片发生变形,导致电桥发生电阻变化。

感应器件与信号处理电路相连,通过电路处理和放大电桥的电信号,并将其转换为标准的电信号输出。

单晶硅压力传感器的工作原理主要分为以下几个方面:1. 压力传感的物理效应:单晶硅片的压力传感效应是基于薄膜压阻效应,当外部施加压力时,单晶硅片会产生形变,导致其电阻发生变化,从而实现将压力转换为电信号的过程。

2. 电压外施的基本原理:在常温常压下,单晶硅片形成电阻电桥,通过外施电压,将电桥电压平衡,并确保其在较小的范围内进行微调。

当外部施加压力时,电桥会开始失衡,导致电阻发生变化,从而产生电压信号。

3. 电信号分析处理的原理:当压力传感器接收到弱信号时,信号需要进行放大和过滤,以保证测量的准确性和精度。

通常采用运算放大器、滤波器、A/D转换等组件来处理信号。

4. 电量输出的原理:通过前面几个步骤处理后得到的电信号,经过后续电路的放大、调理以及转换,可以得到标准输出的电信号,在数字化器件的支持下,实现压力数据的采集和处理。

单晶硅压力传感器具有结构简单、高精度、高可靠性等优点,广泛应用于医疗、生物医学工程、石油、航空、能源和环保等领域。

正是由于其性能和应用的广泛性,使单晶硅压力传感器成为一种优秀的测量仪器。

扩散硅压力传感器原理介绍

扩散硅压力传感器原理介绍

扩散硅压力传感器原理介绍一、扩散硅压力传感器原理扩散硅压力传感器是以单晶硅为基体,采用先进的离子注入工艺和微机械加工工艺,制成了具有惠斯顿电桥和精密力学结构的硅敏感元件。

被测压力通过压力接口作用在硅敏感元件上,实现了所加压力与输出信号的线性转换,经激光修调的厚膜电阻网络补偿了敏感元件的温度性能。

二、扩散硅压力传感器概述扩散硅压力传感器采用带不锈钢隔离膜的扩散硅压阻式压力传感器作为信号测量元件,信号处理电路位于不锈钢壳体内,传感器信号经过专业信号调理电路转换成标准4-20mA电流或RS485信号输出。

扩散硅压力传感器DATA-52系列经过了长期老化及稳定性考核等工艺,性能稳定可靠。

扩散硅压力传感器广泛地应用于石油、化工、冶金、电力等工业过程现场测量和控制。

扩散硅压力传感器DATA-52系列三、技术特点:◆标准螺纹引压测量方式。

◆全不锈钢结构,防护等级IP68。

◆测量精度高达0.1级。

◆RS485、4~20mA 输出可选。

◆聚氨酯专业电缆,耐高温、耐腐蚀。

四、性能指标:测量介质:液体或气体(对不锈钢壳体无腐蚀)量程:0-1MPa精度等级:0.1%FS、0.5%FS(可选)稳定性能:±0.05%FS/年;±0.1%FS/年输出信号:RS485、4~20mA(可选)过载能力:150%FS零点温度系数:±0.01%FS/℃满度温度系数:±0.02%FS/℃防护等级:IP68环境温度:-10℃~80℃存储温度:-40℃~85℃供电电源:9V~36V DC;结构材料:外壳:不锈钢1Cr18Ni9Ti密封圈:氟橡胶膜片:不锈钢316L电缆:φ7.2mm 聚氨酯专用电缆五、电气连接:红色蓝色黄色白色电源+电源-RS485(A)输出RS485(B)输出蓝色红色电源+4~20mA 输出RS485输出接线图(四线制)4~20mA 输出接线图(两线制)气压传感器DATA-52系列气压传感器DATA-52系列六、外形尺寸:单位:mm气压传感器接口螺纹:标准M20×1.5或G1/2。

Honeywell 硅压力传感器 说明书

Honeywell 硅压力传感器 说明书

1800/1805系列TO-8,0 psi至3 psi,0 psi至150 psi 硅压力传感器描述1800/1805系列是高性能TO-8封装的压力传感器,专门设计供低压和中压两种类型的原始设备制造商的应用。

1800/1805系列包含了一个固态硅压阻的压力敏感元件,标准的TO-8封装。

与其它TO-8压力传感器,从印刷电路板到插脚对插脚完全兼容。

提供两种性能级别和多种补偿选项,包括量程和校准到±2mV(规格化输出)。

1800/1805系列既能用恒流也可用电压供电。

特点潜在的应用场合•标准压力范围从0 psi至3 psi,0 psi至150 psi•仪器校准•表压,绝压或差压型•航天/航空•电压或恒流供电•医疗设备•温度补偿选项• HV AC(采暖,通风空调) - 激光修整,规格化输出•气动控制- 激光修整,标准化输出- 电阻器补偿•对使用微处理器设计的开发商,可提供无补偿型环境规格(所有设备)特性 参数特性 参数 供电电压,V S 10Vdc 绝缘电阻 在50Vdc 时为100M Ω补偿温度范围 -1℃至54℃(34℉至129℉) 湿度 50 %±10 %工作温度范围 -40℃至121℃(-40℉至257℉) 共模压力 150 psig 振动 在20Hz 至200Hz 时为10g rms 最高钎焊温度 260℃ (500℉) 10s 最大 冲击 11ms 时,100g 供电电压V S 供电电压,V S =15 Vdc 最大 寿命 100百万次循环供电电流 供电电流,I S =2mA 最大性能特点(1)特性 最小值 典型值 最大值 单位零压偏移(1)- - ±0.5 mV零压偏移(仅3psi 至5psi)(1)- - ±1 mV满量程(2)标准输出-电流供电 75 - 150 mV 标准输出-电压供电 40 - 120 mV 规格化输出-电流供电 98 - 102 mV 规格化输出-电流供电(仅3psi) 73 - 77 mV 规格化输出-电压供电 38 - 42 mV压力非线性(3)- ±0.15 ±0.20 %满量程压力滞后性(3)- - ±0.0125 %满量程重复性 - - ±0.0125 %满量程温度对偏移的影响(4)- - ±0.5 mV温度对偏移的影响(仅3psi 和5psi) (4)- - ±1 mV温度对量程的影响(4)- - ±0.5 mV温度对量程的影响(仅3psi 和5psi) (4)- - ±1 mV 热滞后性 - ±0.1 - %满量程响应时间(5)- - 1 ms偏移和量程的长期稳定性(6)- - ±0.2 %满量程共模电压(7)标准输出-电流供电 - 50% - 输入 标准输出-电压供电 - 50% - 输入 规格化输出-电流供电 - 35% - 输入 规格化输出-电压供电 - 25% - 输入 输入电阻, - - - - 电流供电 2.0 - 8.0 k Ω电压供电 8.0 - 40 k Ω 输出电阻, 3.5 - 6.0 k Ω压力范围技术规格目录表 压力范围顶部过载压力(8)底部过载压力(9)1805-00(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至3 psi 15 psi 9 psi 1805-01(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至5 psi 25 psi 15 psi 1800-02(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至10 psi 50 psi 30 psi 1800-03(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至15 psi 65 psi 45 psi 1800-07(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至30 psi 250 psi 50 psi 1800-08(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至50 psi 350 psi 50 psi 1800-09(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至100 psi 350 psi 50 psi 1800-10(G ,D)-(K,L)(0..4)(M,L,N) 0 psi 至150 psi350 psi50 psi注:1. 参考条件(除非另外有说明);T A =25℃(77℉),供电电压V S =10Vdc ± 0.01Vdc 或I S =1.5mA ± 0.0015mA 。

扩散硅压力传感器常见故障该如何排查?

扩散硅压力传感器常见故障该如何排查?

扩散硅压力传感器常见故障该如何排查?扩散硅压力传感器是一种广泛应用于各个工业领域的传感器,具有高精度、高牢靠性等优势。

然而,随着使用时间的延长,扩散硅压力传感器也会显现一些常见的故障,如读数显现偏差、零点漂移、线路断开等问题。

本文将针对这些故障进行认真介绍,并供给一些排查方法。

一、读数显现偏差1.可能原因:(1)接触不良:扩散硅压力传感器的接线端子接触不良,导致传感器信号输出不稳定。

(2)环境变化:扩散硅压力传感器所处环境温度、湿度等变化,影响了传感器的精度。

2.排查方法:(1)检查连接线路:检查传感器与接收端之间的连接线路是否松动或断开,重新连接并检查读数是否还存在偏差。

(2)确认环境条件:确认扩散硅压力传感器所处环境的温度、湿度等参数是否发生变化。

如有更改,需要进行相应的调整。

二、零点漂移1.可能原因:(1)长时间运行:扩散硅压力传感器长时间工作后,内部元件老化、松动等问题会导致零点漂移。

(2)接线问题:传感器的电源线和信号线存在接线问题,造成读数不准。

2.排查方法:(1)重新标定:将扩散硅压力传感器从设备中拆下来,并在无压力下重新标定,以除去零点漂移。

(2)检查线路接口:检查连接线路口是否存在松动或接触不良的问题,重新连接或更换连接线路。

三、线路断开1.可能原因:(1)线路老化:扩散硅压力传感器使用时间长了,内部线路元件老化,发生断点。

(2)机械因素:传感器所处环境存在机械震动等因素,导致传感器线路损坏。

2.排查方法:(1)检查线路:检查扩散硅压力传感器连接线路,排查是否断开或与接收端的连接不良。

(2)更换线路:如发觉线路损坏,需要适时更换,并重新标定。

四、总结扩散硅压力传感器具有高精度、高牢靠性等优势,但在长时间使用过程中会显现一些常见故障。

在排查故障时,需要从连接线路、环境条件、设备老化等多个方面综合考虑,找到造成故障的真正原因,并进行针对性的维护和修理。

在日常使用中,我们还需要注意保养传感器设备,定期维护,提高设备的牢靠性和使用寿命。

高温硅压力传感器关键技术及应用

高温硅压力传感器关键技术及应用

高温硅压力传感器关键技术及应用高温硅压力传感器是一种能够在高温环境下测量压力的传感器。

它常用于汽车发动机、石油钻井和航空航天等领域。

高温硅压力传感器的关键技术及应用包括:1. 高温材料:传感器需要使用高温耐受的材料,如硅材料。

硅材料具有较好的耐高温性能,可在高温环境下保持传感器的稳定性。

2. 热补偿:高温环境下,温度会对传感器的测量结果产生影响。

因此,传感器需要进行热补偿,以消除温度对测量结果的影响。

3. 高精度的压力测量:高温环境下的压力测量需要具备高精度和稳定性。

传感器通常采用微机械系统技术,通过微米级别的结构实现高精度的压力测量。

4. 高温封装:传感器的封装需要能够抵御高温环境下的腐蚀和热变形。

常用的封装材料包括高温胶和陶瓷材料。

5. 防护措施:由于高温环境下的压力传感器容易受到腐蚀和热膨胀等因素的影响,传感器需要采取相应的防护措施,如使用压力隔离装置和冷却系统。

高温硅压力传感器的应用领域广泛,包括但不限于以下几个方面:1. 汽车发动机:高温硅压力传感器可以测量汽车发动机内的油压、冷却液压力等参数,帮助监测发动机的工作状态。

2. 石油钻井:高温硅压力传感器可以在油井中测量地下油层的压力,为油井的开采提供参考。

3. 航空航天:航空航天领域对高温硅压力传感器的需求较高,传感器可以用于测量飞机发动机的压力和推力,以及航天器的燃料压力等参数。

4. 汽车制造工艺:在汽车制造过程中,高温硅压力传感器可以用于车身焊接过程中的压力监测,保证焊接的质量和稳定性。

综上所述,高温硅压力传感器的关键技术和应用较为广泛,它在高温环境下的可靠性和稳定性使其成为许多领域中不可或缺的传感器之一。

扩散硅压力传感器的工作原理

扩散硅压力传感器的工作原理

扩散硅压力传感器的工作原理1. 引言:压力传感器的“超级英雄”嘿,朋友们,今天咱们聊聊一种神奇的设备——扩散硅压力传感器。

虽然它名字听起来有点复杂,但它实际上是一种非常聪明的小家伙,帮助我们测量压力。

就像电影里的超级英雄一样,它在背后默默地为我们提供支持。

那么,这个小家伙到底是怎么工作的呢?让我们一起揭开它神秘的面纱吧!2. 扩散硅压力传感器的基本构造:好比一台精密的“打工机”首先,咱们得搞清楚这玩意儿长什么样子。

扩散硅压力传感器,就像个小小的圆盘,上面有几层精密的“配件”。

你可以把它想象成一台超高科技的“打工机”,里面有个叫做硅片的核心部件,这玩意儿可是很重要的哦。

2.1 硅片的“心脏”硅片,这就是它的“心脏”。

我们平常说的“硅”,其实就是一种半导体材料。

它的工作原理就像是你用手按压一个橡胶球一样。

你一按,球的形状会变;你一松,球又回到原来的模样。

硅片也是这样,当压力作用在硅片上时,它会发生形变。

这个形变就是我们要测量的东西。

2.2 应变片的“万能小助手”硅片上还有一些应变片,这些小家伙就像是硅片的“万能小助手”。

应变片可以感知到硅片的形变,并把这些形变转换成电信号。

想象一下,你用手去按一个压力传感器,硅片变形了,应变片就像是细心的小助手,把这个变化告诉系统。

就这样,压力的变化被“传递”了。

3. 工作原理:一场“高科技的变魔术”好,现在我们进入“变魔术”的环节,看看这个传感器是怎么把压力变成电信号的吧!3.1 压力变形的魔法当外界的压力施加到扩散硅压力传感器上,硅片就会发生微小的形变。

你可以把这种形变想象成一场魔法表演,硅片就像是一块能变形的“魔术布”,它的形状变了,里面的应变片也跟着变了。

这种变化让应变片感受到压力的大小,就像是你用手感觉到橡胶球被压扁了一样。

3.2 电信号的“翻译官”这些应变片感受到压力之后,它们会将这种物理的变化转化成电信号。

这个过程就像是一个“翻译官”,把硅片的形变“翻译”成电信号。

美国MOTOROLA MPX系列硅压力传感器说明书

美国MOTOROLA MPX系列硅压力传感器说明书

美国MOTOROLA压力传感器美国MOTOROLA公司的MPX系列硅压力传感器,主要以气压测量为主,适合用于医疗器械,气体压力控制等领域,输出数字信号。

其测量方式可分为:表压(GP)、绝压(A、AP)、差压(D、DP)型。

在宽温度范围工作时需外加补偿网络和信号调整电路。

具体型号分类而定名称:MPX2010DP 名称:MPX5700DP MPX5700GP 名称:MPX2100AP名称:MPX5500DP 名称:MPX5100AP 名称:MPX5050DP名称:MPX5010DP 名称:MPX4115AP 名称:MPX2200A 名称:MPX2200AP 名称:MPXH6115A6U 名称:MPX4250DP名称:MPX4115A 名称:MPX2202DP 名称:MPX2102AP名称:MPX2053GP 名称:MPXY8300A6U 压力传感器 名称:触力型压力传感器 FSG15N1A 名称:硅压力传感器 MPXH6115A 名称:MPX5700DP 硅压力传感器 名称:MPX53GP 硅压力传感器 名称:压力传感器FPM07 名称:轮胎压力传感器TP015 名称:轮胎压力传感器NPP301名称:Freescale 压力传感器 MPX2010DP商斯达实业传感器与智能控制分公司专门从事各种进口传感器的营销工作,代理多家欧美知名公司的产品。

涉及压力、温度、湿度、电流、液位、磁阻、霍尔、流量、称重、光纤、倾角、扭矩、气体、光电、位移、触力、红外、速度、加速度等多种产品。

广泛应用于航空航天、医疗器械(如血压计)、工业控制、冶金化工、汽车制造、教育科研等领域。

商斯达实业代理的品牌产品主要有:压 力:Kulite、ACSI、Honeywell、Entran、Gems、Dwyer、SSI、Smi、Senstronics、Intersema、Motorola、 NAIS、E+H、Fujikura、Dytran、APM称重测力:Transcell、HBM、Interface、Thamesside、Philips、Entran 温 湿 度:Honeywell、Dwyer流 量:Gems、Dwyer、Honeywell、Folwline、WorldMagnetics 液 位:Honeywell、Siccom、Gems、Dwyer、Kulite、SSI 加 速 度:Entran、Silicondesigns、Dytran 压力开关:ACSI、Gems、Dwyer、台湾矽微航空器材:TexTech 隔音材料、Honeywell 薄膜加热片、DigirayX 射线探伤仪 仪 表:Honeywell、Transcell、东辉、上润、AD、东崎商斯达实业 除代理上述产品外,还有几条传感器生产线,一条压力传感器组装线,可为用户提供各种用途的、特殊要求的配套产品。

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硅压力传感器选型指南
在压力下工作得更好
人体是一个极度灵敏的机械 系统,需要均等地感知观察 力。霍尼韦尔传感与控制部 提供一系列的压力传感器, 可以胜任每一项任务——其 中包括可以测量施加在人体 上的压力大小的传感器。
从医学应用到任何行业的工 业需求,霍尼韦尔都有与之 相匹配的解决方案。霍尼韦 尔的压力传感器测量范畴包 括:绝压、差压、表压或真 空表压-非放大型或放大型 传感器,其压力测量范围很 广,从0 bar至17.24 bar(0 psi至250 psi)。你也将发 现:在苛刻的条件下将有多 种安装和封装类型,数字输 出、尺寸小、低成本、可靠 性更佳、可重复性和精度增 强,传感器之间的操作特性 和互换性增强,而无需重新 校准。
超低压传感器
信号调理 压力范围 装置类型 输出 校准标定 温度补偿 工作温度范围 准确度 总精度 封装
ASDX 系列
放大型 ±5 英寸水柱至 ±10 英寸水柱 差压、表压、双向 模拟(Vdc)数字 (i2C 或 SPI) 有 有 0℃至 85℃ [32oF 至 185oF](补偿) 2.0%FSS DIP
你将发现我们的部件可以在多个潜在应用场合发挥作用,其 中包括透析设备、血液分析、离心机、氧气和氮气分配、 HVAC(采暖、通风和空调)设备、数据存储、过程控制、 工业机械、泵和机器人技术。无论情况或压力如何,霍尼韦 尔传感与控制部一直努力不怠,积极进取。
特点
超低压压力传感器 ASDX 系列
特点 :带有校准标定和温度补偿功能。 ● A SIC(特定用途集成电路)增强型输出 ● 模拟输出的分辨率为 12 位 ● 数字输出为 12 位 I2C 或 SPI ● 比例输出 ● 响应时间更短 , 精度更高 ● DIP 封装 ● 高性价比
XCAL 系列
放大型 ±4 英寸水柱至 ±10 英寸水柱 差压 Vdc 有 有 0℃至 50℃ [32oF 至 122oF] (补偿) SIP
XCXL 系列
非放大型 ±4 英寸水柱至 ±10 英寸水柱 差压 mV 有 有 0℃至 70℃ [32oF 至 158oF] (补偿) 线性和迟滞 :0.5% 典型值 SIP
超低压传感器
信号调理 压力范围 装置类型 输出 校准标定 温度补偿 工作温度范围 准确度 封装
CPCL 系列
非放大型 4 英寸水柱至 10 英寸水柱 绝压、差压、表压 mV 有 有 0℃至 70℃ [32oF 至 158oF]( 补偿 ) 线性和迟滞 :0.5% 典型值 SIP
CPXL 系列
非放大型 4 英寸水柱至 10 英寸水柱 绝压、差压、表压 mV 无 无 -25℃至 85℃ [-13oF 至 185oF] 线性和迟滞 :0.5% 典型值 SIP
2
/sensing
超低压传感器
信号调理 压力范围 装置类型 输出 校准标定 温度补偿 工作温度范围 准确度 封装
DCXL-DS
非放大型 ±1 英寸水柱至 ±10 英寸水柱 差压 mV 有 有 0℃至 50℃ [32oF 至 122oF] (补偿) 线性和迟滞 :0.2% 典型值 SIP
CPCL 系列
特点 :带有校准标定和温度补偿功能。 ● 低成本 ● 小尺寸 ● 恒压激励 ● 高阻抗、低电流
优势 :将硅微机械加工传感技术、温度补偿 和校准集成在一个成本更低的封装外壳中。 带尼龙外壳的压力口配置在各种压力应用场合 中都可供使用,特别是那些需要小尺寸或真空 的应用场合。虽然此系列传感器可用于非腐蚀 性、非离子的压力介质,但对许多潜在的医学 应用气体也适用。
DCXL-DS 系列
特点 :带有校准标定和温度补偿功能。 ● 改进了应力隔离性能 ● 减小了零点输出误差
优势 :该系列传感器基于专有技术而设计, 可以减小因温度、预热、长期稳定性和位置 灵敏度的变化所导致的零点输出或共模压力 误差。该系列传感器的主要特点 :校准的零 点、满量程和温度误差修正,以在流量压力 测量中提高精度。 符合工业标准的压力接口封装,再加上改进 的应力隔离性能,使该系列传感器可用于印 刷电路板的安装。适用于医疗、HVAC(采 暖、通风和空调)和工业仪表等应用场合。
硅压力传感器 选型指南
压力一加,结果马上显示。霍尼韦尔传感与控制 (S&C) 部 提供的微结构硅压力传感器解决方案可以解决客户的任何需 求。我们的传感元件设计包含四个压阻效应电阻殖入于化学 蚀刻的薄的硅膜片上。压力的变化将使该机构产生弯曲, 在膜片和内置电阻上产生一个应变。电阻值也随之改变,且 与施加的应力成正比,这样就产生一个电信号输出。因此,
优势 :完全校准和温补的内置 ASIC 芯片设 计,对传感器零点、灵敏度、温度系数及非 线性进行数字修正。在补偿供电电压范围 内, 模 拟 信 号 输 出 与 供 电 电 压 成 正 比, 分 辨率为 12-bit。数字输出型 12 位的 I2C 或 SPI 兼容性协议接口,使接入其它常用的微 控制器和微处理器更简单,而无需额外的元 件和电路。校准后的压力值以 12 位精度无 符号 16 进制形式输出,且与工作电压无关。 在成本效率基础上提供了高电平信号输出。 此系列传感器可用于非腐蚀性、非离子的工 作流体如空气和干燥气体,满足潜在应用包 括流量校验仪,呼吸机和气流监控,气流仪 表,睡眠呼吸暂停监控及治疗设备。
CPXL 系列
特点 : ● 小尺寸 ● 低成本 ● 恒压激励 ● 高阻抗、低电流
优势 :将硅微机械加工传感技术集成在一个 成本更低的封装外壳中。带尼龙外壳的压力 口配置在各种压力应用场合中都可供使用,
Hale Waihona Puke 特别是那些需要小尺寸或真空的应用场合。 虽然此系列传感器可用于非腐蚀性、非离子 的压力介质,但对许多潜在的医学应用气体 也适用。
超低压传感器
信号调理 压力范围 装置类型 输出 校准标定 温度补偿 工作温度范围 准确度 封装
XPCL 系列
非放大型 4 英寸水柱至 10 英寸水柱 差压、表压 mV 有 有 0℃至 70℃ [32oF 至 158oF] (补偿) 线性和迟滞 :0.5% 典型值 SIP
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