二次配工程规范

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二次配工程规范 Document number:BGCG-0857-BTDO-0089-2022

中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范

CONTENTS PAGES

1.目的3

2.范围3

3.文件送审4

4.施工说明4

5.其他说明9

6.验收标准10

7.保固期限12

1.目的

为使设备机台按照计划顺利装机、运转,且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。

2.范围

2.1.制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装;Hook-up

范围,GN

2、PN

2

、PO

2

、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支

管),PH

2、SiH

4

、SiH

4

/N

2

由气体站氢气纯化器出口及SiH

4

SiH

4/N

2

气瓶柜出口接至机台(含VMB),其他特殊气体自位於气体

房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP),其中必要的管线、管件及焊接所需气体,均由承包商负责提供。GN

2

PN

2、PO

2

各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量,请参

照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211);各VMB/VMP位置,请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212);气体站至FAB间气体管线,请参照”气体站至FAB

栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234);GN

2、PN

2

、PO

2

、CDA

自take-off阀至机台间所需装设之阀件,请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231);而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接

点等相关资料,请参照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根据该表资料,设计至机台管线之路径。

2.2.前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO

图绘制(Auto 2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏

侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项

工程。其中施工图及ISO图面,需依照机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制,并配合材料明细表供业主确认。

2.3.本项工程为连工带料施工,并包含施工中所需之施工工具、施工

设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等,均由承包商负责。

2.4.配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项

费用。

2.5.所有管路标示,管路标示依照”二次配工程说明”办理。

2.6.所有管路防震固定支撑架之安装定位。

2.7.高架地板开孔及收边之工程发包、请款,切割区域管理。

2.8.气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供,承包商需负责依业主

指示规划气体管线路径,并负责安装所需管夹等固定装置。

3.文件送审

前2周提送设计文件及相关管件及标示实体供审核;

送审图面则需在业主提出意见後3天内修改并再次送

审。

2. 所有送审文件必须以中文或英文书写;英文送审文件需

附中文说明。

3. 所有竣工阶段需提送之文件均需检附电子档

4.施工说明

4.1.一般说明

4.1.1.承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书,

经审核通过後,方可据以施工。

4.1.2.承揽商需於工作场所设置工程负责人,需有相关工程经

历三年以上,其工作职责为:

4.1.2.1.施工进度控制。

4.1.2.2.施工人员管理及安排。

4.1.2.3.材料数量管制。

4.1.2.4.现场会勘放样。

4.1.2.

5.参与承揽商沟通协调会议

4.1.3.承揽商需於工作场所设置品管负责人,需有相关工作经

历三年以上,其阶层与工程负责人同等,其工作职责

为:

4.1.3.1.施工品质控制。

4.1.3.2.施工完工品质验收。

4.1.3.3.施工验收报告汇总。

4.1.3.4.原料进厂自主检查。

4.1.4.承揽商需於工作场所设置物管负责人,需有相关工作经

历一年以上,其工作职责为:

4.1.4.1.材料数量管理。

4.1.4.2.进厂料件验收。

4.1.

5.承揽商需於工作场所设置工安卫负责人,需有相关工作

经历一年以上,其阶层与工程负责人同等,其工作职责

为:

4.1.

5.1.现场安全卫生工作监督。

4.1.

5.2.参与承揽商安全卫生协调会议。

4.1.

5.3.承揽商施工人员安全卫生训练。

4.1.6.施工人员数组,依工程数量适时增加人员,但在工程期

限内最低需保留三组,每组人员最少三人,每组至少有

一人有焊接执照,并由一资深组长带领,所有进厂施工

之人员必须经过认可且通过工安检定之人员。

4.1.7.品管人员数组,依工程数量适时增加人员,但在工程期

限内最低需保留一组,每组人员最少二人,由一资深组

长带领,但不可由品管负责人担任。

4.1.8.承揽商有任何人员调动需经过认可,且业主相关之人员

有权提出异议要求更换,承揽商不得有异议。

4.2.材料说明

4.2.1.气体管线之分类及其材质要求如下表规定办理。

4.2.2.各类管线、管件及仪表厂牌,请依下表规定办理,承包

商应以一次配选用厂牌为优先考量,如欲选用非下表规

定之厂牌,需经过业主审核同意後使得选用。

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