SU8200场发射扫描电镜技术说明文件剖析资料

SU8200场发射扫描电镜技术说明文件

一、二次电子分辨率：

0.8 nm （加速电压 15 kV ，工作距离 4 mm）

1.1 nm （着陆电压 1 kV ，工作距离 1.5 mm）（减速模式）以上分辨率的测试都是基于日

立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）

二、放大倍率：

低倍模式： 20 到 2k

高倍模式： 100 到 1000k

三、电子光学：

1.电子枪：冷场发射电子枪（带有柔性 flash 功能）

2.加速电压 : 0.5 到 30 kV 着陆电压 : 0.01 到 2 kV

3.透镜系统三级电磁透镜系统

4.物镜光阑四孔可调光阑（内置加热自清洁功能）

5.扫描线圈

二级电磁式偏转线圈（高倍模

式）一级电磁式偏转线圈（低倍

模式）

6.消像散器八级电磁系统（ X， Y）

7.探测器：

低位（ Lower）、高位（ Upper ）、和顶位（ Top）三种探测器进行二次电子 / 背散射电子的接收能谱系统（选配）

8.束闸

电磁型

9.电位移：

12 m （工作距离 8 mm）注意：工作距离改变时，电位移范围会改变

四、样品室和样品台：

1.样品台控制：

五轴马达台

2.可移动范围和样品尺寸：

4. 换样

预抽室

5. 样品台控制：

图形界面控制自动样品更换位置定位功能样品台移动轨迹存储功能优中心旋转功能图片导航功能

五、显示系统

1.用户界面

电脑显示器上的图形用户界面

2.电脑

操作系统：微软Windows 7 专业版（32 位）操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标

配轨迹球，或选配操纵杆）

3.显示器

24.1 寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920 × 1,200 像素）

4.扫描模式：

二维图像显示

选区模式点分析模式平均浓度分析模式图像显示模式大屏显示模式（1280 960）单屏显示模式（800 600）双屏同时显示模式（800 600）

四屏同时显示模式（640 480）

选区显示模式（图像调整时使用）

5.电子光学对中：

电子束对中

光阑对中

像散对中

低倍对中

6.扫描模式

积分扫描

快扫

慢扫

缩小区域扫

高清捕图

积分捕图

荷电抑制扫描（CS 扫描）

7.扫描速度

TV：两级扫描速度（ Rapid1 ～ Rapid2 ）

快扫：两级扫描速度（ Fast1 ～ Fast2 ）慢扫：七级扫描速度（ Slow1～ Slow7 ） CS扫描：七级扫描速度（ CSS1～ CSS7）选区扫描

8.自动调节功能：

ABCC （自动亮度 / 对比度调节），自动聚焦

9.信号和图像处理功能：通过积分，图像的信噪比提高桢积分（最大积分数量： 1,024 ）（ TV和快扫模式）彩色图像显示

两种颜色混合图像显示（实时）伪彩图像显示（保存图像）存储图像处理

渐变转换 Gamma调节多重滤波处理

10.图像存储：

图像存储尺寸： 640 480 ，800 600 ，1,280 960 ，2,560 1,920 ， 5,120

3,840 像素

保存格式： BMP,TIFF（8 位）,JPEG

11.图像打印自由布局打印功能

12.保存数据图像的处理图像管理和处理（ SEM Data Manager）：

图片数据库管理缩略图显示多种图片处理功能

13.其他功能：束闸功能（图像冻结时）光栅旋转 / 倾斜补偿测量功能（实时图像或存储图

像）参数显示（照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间参数条被

底：透明、黑色

数据输入和标注（圆，矩形，箭头，尺寸线）

14.外部设备接口：

USB 接口

网卡接口

15.X 射线分析功能扫描模式：

点扫描

面扫描

DBC 接口（选配）

六、真空系统

1. 真空控制：完全自动气动阀系统

2. 真空泵：

离子泵： 60 L/s 1, 20 L/s 2

磁悬浮分子泵： 300 L/min 1 （主抽气）机械泵

＊为减轻污染，推荐使用干泵

3.真空量规：全量程量规，皮拉宁规两个（控制真空系统），潘宁规一个

4.真空度：

电子枪：﹤10-8 Pa

样品室：﹤10-4 Pa

5.样品交换室：

六寸预抽室

七、保护措施

断电保护、断水保护、漏气保护

八、循环水

冷却水循环

流速： 1.0 ～1.5 L/min （冷却物镜）

水压： 50～100 kPa

水温： 10 to 20 C （10分钟内最大可变化 0.5 度）

九、防污染措施

液氮冷阱

十、SU8200系列扫描电镜（SU8220,SU8230,SU8240）

主机 (1)

显示单元 (1)

机械泵 (1)

空压机 (1)

标配专用工具............ 1 套

耗材及配件............ 1 套

操作手册.............. 1 套

一、尺寸及重量

长宽高重量主机（ SU8220）990 850 1,710 mm 665 kg

主机（ SU8230）990 850 1,745 mm

740 kg

主机（ SU8240）990 850 1,745 mm

745 kg

显示单元1,120 1,100 1,200mm 275 Kg

空压机210 420 520 mm 16 kg

减震器200 180 160 mm 40 kg

十二、主要选项附件

探测器：顶探头过滤器

YAG型 BSE探测器（ SU8220/ SU8230/SU8240 ）扫透探测器（ SU8220/ SU8230/SU8240 ）半导体型 BSE探测器（ SU8220/ SU8230/SU8240 ）视频放大单元光电倍增单元

法拉第杯能谱

CD测量功能：实时CD测量功能已保存图像的CD测量功能（图像管理选项）打印机（用户自配）外部设备控制：

DBC（外部信号扫描）外部通讯接口键盘/ 鼠标通用功能