EDX(X射线能量分析光谱仪)
EDX系列能量色散光谱仪操作指导书
文件制修订记录1.0目的:为正确操作EDX系列能量色散光谱仪，ROHS检测与镀层测试，以达到精确测量之目的。
2.0范围:为EDX系列能量色散光谱仪操作使用。
3.0权责:品管部4.0操作步骤:4.1开机步骤：开稳压源→测试仪器→电脑→测试程序4.2 ROHS测试步骤：4.2.1双击桌面摄像头（如果摄像头无十字光标操作如下：双击桌面我的电脑→F盘→仪器软件数据→Cross Bar→批处理文件即可）。
4.2.2双击ROHS图标进入测试程序，预热30分钟后方可进行测试。
4.2.3打开仪器测试上盖，将Ag校正片放入仪器薄膜中心，关闭上盖，点选参数设置菜单下的初始化，对仪器进行初始化测试，初始化完成后计数率为1300∽8000，峰通道为1105。
4.2.4将样品入仪器薄膜中心，根据样品的材质，选择相应的测试条件及工作曲线，点击“开始”后输入测试样品的名称，点击OK，仪器自动开始测试。
4.2.5测试结束后，自动弹出报告，选择“关闭”，选择“全分析报告”→“全分析打印”即可。
4.3镀层测试：4.3.1双击桌面摄像头（如果摄像头无十字光标操作如下：双击桌面我的电脑→F盘→仪器软件数据→Cross Bar→批处理文件即可）。
4.3.2双击桌面“电机调度”图标，设定准值器为6＃，泸光片为1＃。
4.3.3双击桌面“镀层测试“图标，预热30分钟后方可进行测试。
4.3.4打开仪器测试上盖，将Ag校正片放入仪器薄膜中心，关闭上盖，点初始化，对仪器进行初始化测试，初始化完成后计数率为1300∽8000，峰通道为1105。
4.3.5将样品入仪器薄膜中心，点击“开始”后输入测试样品的名称，点击OK，仪器开始自动测试。
4.3.6测试完成后，点击左下角元素下面的空格，弹出设置镀层元素的对话框，选择你所测试的项目（如测Au、Ni,将Au、Ni拖入空格中后点确定，则自动出现测试数据）。
4.4关机顺序：关闭测试程序→电脑→测试仪器→稳压源5.0注意事项：5.1不得用任何物品接触测试窗口，测试窗口为裸露状態时，须保证无异物进入测试窗口内。
能量色散型X射线荧光光谱仪EDX-720操作指导书
操作流程 E 关机
1 结束
显示界面
图 16 2 5
3 4
操作说明
43、如果需要测试其它样品，重 复步骤 18~42。
44、所有测试完毕后，关闭除了 “EDX-主程序”外的所有窗口。 点击“EDX-主程序”窗口上的“维 护”，出现如图 4 窗口。点击“仪 器设置…”按钮，出现如图 2 窗 口。点击“启动/关闭”按钮，关 闭 X 光管。
B 保存测试图
选择测试曲 线
开始测试 测试完毕 制定标准
C
图8
图9 图 10 图 11
试规范》。
22、摆放好测试样品后，点击工 具列上的“ ”符号，出现 “Still Image Display”窗口。 此步骤是为了把现在的测试 样品的摆放情况用图片的形 式保存下来。
23、点击“Save As…”，为图片 命名，把图片保存在合适的地 方。
15、点击“开始”进行校正。校 正过程大约需要 10 分钟。
16、校正完毕后，关闭“仪器校 正”窗口，关闭“Maintenance （维护）”窗口。
17、此时回到“EDX-主程序”窗 口。
18、把需要测试的样品摆放在测 试孔上。可以放进专用测试容 器里的就放进测试容器里。不 可以放进去的尽量以与正面 成垂直的方式摆放。样品的具 体要求请参考《EDX-720 型荧 光光谱仪测试规范》。
35、点击“分析情报…”按钮， 出现如图 35 所示窗口。
36、点击“Layer1”，再点击“元 素信息…”按钮，出现如图 36 所 示窗口。
图 33
E 图 34
操作流程 E
设置 FP 定量 工作组参数
F
显示界面 图 35 图 36 图 37
操作说明
37、按照下表中的要求设置好各 项参数，设置好后点击“应用” 按钮。
EDX能量散射X射线荧光光谱仪 培训教材
培训教材
EDX-700HS/800HS/900HS装置的图示
X射线的产生
• 从阳极发出的高速电 子撞击对阴极而产生 X射线
• 电子所具有的能量中 以 X射线形式辐射出 的能量极小，大部分 能量转变成热能
• 阴极的热量用水或风 进行冷却
X射线
• 从X射线球管中发出 的X射线可以分成两 部分： 具有连续波长成 分的连续X射线 具有靶元素特征 波长的特征X射线
应用EDX进行环境限制物质的测定
ɾ可以进行RoHS、ELV的Cd、Pb、Hg的测定。 不能进行特定的Cr＋６以及溴化物的测定。 但是可以进行Total-Cr、Total-Br的测定。
ɾ不需要前处理可以进行非破坏行ɾ快速分析。 ɾ可以进行粉末、液体、金属、塑胶、橡胶等
物品的测定。不用顾及测定样品的形态。
Cr6+
Cd<100ppm
/PBB/PBDE
(TCr)
RoHS/ELV 综合判定方法（島津的方案） Pb,Hg<1000ppm
300ppm<Br<30000ppm
Cr<1000ppm
n
y
˓
ʷ
˓
˓
n
根据需要进行确认分析
n
ICP-AES/MSŊAA
CdŊPb,Hg的精确测定
y
Cd<100ppm
Pb,Hg<1000ppm
1.067 7.058 22.725 84.921 111.297
0.705 2.697 10.552 13.616
3.346 3.171
半导体检测器的结构
• 在 p-i-n 型半导体的结合部施加负电压，此时在本 征区域是没有电流流动的，只有在 X射线射入生成 电子-正孔对时产生电荷
EDX系列能量色散光谱仪操作规程
一. 目的：为更好的了解、使用、保养此仪器，能更精准的得到金属材料化学成分测试的结果并对此进行分析，特制订此规程。
二. 范围：本规范规定了仪器的基本操作、仪器的维护和保养、安全注意事项及常见故障处理。
三. 仪器的整机外观及安装环境要求：3.1 整机外观1、正面图：1)样品腔罩：样品腔上盖，握住把手可自由合开。
2)液晶屏：显示仪器管押，管流，真空度等参数。
3)样品平台：放置待检测的样品，其中心位置为测量窗口。
4)高压指示灯：显示X光管高压状态。
亮：工作状态；暗：未开启高压。
5)电源指示灯：显示仪器电源状态。
亮：开机状态；暗：关机状态。
2、背面图：USB接口1：通过USB数据线连接电脑主机，以使用仪器内建的摄像头。
USB接口2：通过USB数据线连接电脑主机，以实现仪器和电脑之间的通信。
电源开关：开启与关闭仪器电源。
ON:开机；OFF:关机。
电源接口1/电源接口2：连接电源线（根据电源线插头类型选择其一）。
风扇1/风扇2：仪器散热。
抽真空接口：通过螺纹管连接抽真空泵。
3.2 安装环境要求仪器安装前请仔细阅读以下注意事项：1.确保充足的安装环境，仪器每一侧距墙、门或其他物器的距离应保持在30cm以上，以便操作时不受限制。
2.房间要进行特别的防X射线装置处理（如采用防辐射墙料和门窗）；3.房间内要配备冷暖空调/电脑/打印机等设备。
4.房间不宜有水源、热源、明火、强电磁干扰、易挥发物、易燃物、大量积尘及阳光直射。
5.避免将本机安装在温度极低、温度极高或过热的位置。
6.切勿将本机安装在不平稳的台面、柔软表层（如沙发、地毯等）或易受震动的位置。
四.作业内容：4.1 基本操作4.1.1 开关机开机前请先确保电源、计算机、打印机与仪器间已正常连线。
开机步骤为：1.打开总电源开关；2.打开仪器电源开关；3.打开打印机开关；4.打开计算机主机电源。
注意：✩仪器应配有交流净化稳压电源，以保证电压稳定。
✩请不要在电源插头周围对方物品，以免紧急情况下快速拔出插头。
X射线荧光光谱仪(EDX-LE能量色散)操作规程
X射线荧光光谱仪（EDX-LE）操作规程1.接通电源，启动筛选分析条件:双击桌面上的PCEDX Navi 软件，启动软件。
2.初始化仪器,单击初始化。
3.打开X射线管电源,单击[Xray ON]。
3.1.显示面板的X-RAYS ON灯和X射线显示灯点亮。
3.2.仪器稳定大约需要花费15分钟。
3.3.显示[管理分析]页面后，完成启动。
4.仪器校正4.1.按开盖按钮，将校正样品放置测试窗。
关上样品室盖。
4.2.进行能量检查:放入A750标准样品，单击能量检查下的[测试]按钮，进行能量检查，读取能量数值（单位：cps/uA）4.3.进行管理分析:放入7元素标准样品，单击管理分析下的[测试]按钮，进行管理分析，读取7元素标样数值（单位：ppm）。
4.4.取出校正样品：取出校正样品后，单击[正常分析]，完成分析准备。
5.测试5.1.放置样品，关上样品室盖：按开盖按钮，将样品放置在测试窗上。
确认画面上显示样品图像。
5.2.输入样品信息：选择分析条件后输入样品名称、注释、操作者等信息。
5.3.开始分析：单击[开始]，开始分析。
分析结束后，发出结束音，显示分析结果。
5.4.进行预测试：预测试的目的是仪器自动选定分析条件。
大约需15s。
5.5.测试并显示测试结果：测试并出结果，依照材料不同，大约需3~15分钟。
6.关机6.1.退出仪器，关闭X射线管：从[维护]菜单选择[关闭X-ray]；单击[OK]。
6.2.退出程序：筛选分析结束。
选[关机]，退出程序。
6.3.切断各电源：按照图中的号码顺序切断电源。
关闭X射线后，需要冷却X射线管。
等待5～10分后，关闭仪器的电源。
EDX分析报告(两篇)2024
引言概述：EDX（能量色散X射线光谱）分析是一种常用的表征材料组成和结构的技术。
它通过探测样品中所产生的特定能量的X射线来确定材料的元素组成和相对含量。
本文将深入探讨一个EDX分析报告的前述主题。
正文内容：一、X射线源和检测器1.X射线源是产生EDX分析所需的关键部件之一。
通常采用基于电子束轰击金属靶箔的X射线源来产生特定能量范围的X射线。
2.在EDX分析过程中，能量分散检测器被用于捕捉和测量被样品产生的X射线。
最常见的检测器是硅(Si)和锗(Ge)半导体探测器。
二、样品准备1.在进行EDX分析之前，必须对样品进行适当的准备工作。
这包括将样品切割成适当尺寸，使其能够适应EDX分析设备。
2.样品的表面必须被清洁，以消除可能影响分析结果的任何污染物。
常用的方法包括超声清洗、溶剂洗涤和离子束抛光。
三、元素分析1.在进行EDX分析时，X射线进入样品并与其元素相互作用。
当X射线与样品中的原子发生相互作用时，会产生特定能量的荧光X射线。
2.EDX分析设备会测量这些荧光X射线的能谱，并通过峰位置和峰强度来确定样品中存在的元素和其相对含量。
3.EDX分析的结果通常以峰强度的谱图形式呈现，根据不同元素的吸收能力和跃迁能量，每个元素的峰对应于一定能量范围内的荧光X射线。
四、定量分析1.EDX分析不仅能提供元素的定性信息，还可以进行定量分析。
这需要使用标准样品进行校准，通过比较样品和标准样品的峰强度，可以确定元素的相对含量。
2.其中一个常用的定量方法是使用内标元素进行校正。
内标元素是在样品中以已知含量存在的元素，通过将样品中元素的峰强度与内标元素的峰强度进行比较，可以推算出目标元素的含量。
五、应用领域1.EDX分析在材料科学和工程领域有广泛的应用。
它可以用于分析金属试样中的杂质元素，评估材料组成的均匀性和纯度。
2.EDX还可用于研究纳米材料的元素分布和偏析行为，揭示材料的微观结构与性能之间的关系。
3.EDX分析还被广泛应用于考古学和艺术品分析中，以确定古代工艺品的元素组成和来源。
岛津X射线荧光光谱仪EDX
服务佳
Good Service
环境方针
遵守环保法规 持续改善工艺 节能降耗减排
生产绿色产品 清洁安全生产 维护自然环境
企业资质Байду номын сангаас
专利及商标
THANK YOU FOR YOUR VISITING !
元素构造：中心点构造、交点构造、中点构造、 线构造、圆构造、角度构造。 元素预置：点、线、圆、弧。
图形处理：座标平移，工件摆正。任意轴摆正， 座标系重置。
图形放大，图形缩小，图形平移，图形打印图形 选中，取消选中，图形删除。
设置放大，图形缩小，图形打印圆形选中，取消 选中，图形删除。
设置影像的灰度，饱和度，对比度，影像保存为 BMP格式。 多种寻边模式，电脑自动取点，自动识别圆、弧 大大提高采点手持式EFM022静电场测试仪设计 轻巧 速度。
预计2017
董事长
管理者代表 品管部
助理
副董事长
运
财
营
务
部
部
IQC IPQC PQC
OQ QR/QB
总经理
PORTFOLIO 组织架构
助理
生
信
销
产
息
售
部
部
部
进
制
制
成
实验 人 管 采
料
程
程
品
室&
力理 购
检
巡
终
检
品质 资 科 科
验
检
检
验
工程 源
生
制
物
技
产
造
料
术
管
科
管
科
理
理
科
科
业 销售 务 售后 科 科服
X射线能谱仪(EDS)
电子能量为25KV时，通过氧气的平均自由程
环境扫描电镜的特点(一)
平均碰撞次数(m)定义三类不同的散射
Minimal Scattering Scatter <5% （ 0< m< 0.05 ）
Partial Scattering Scatter 5% to 95% （ 0.05< m< 3）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快 速定量方法。强度比 K＝IS/IStd。 表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计 算，或用标样数据库给定的，适应于不同的 实验条件。其计算精度不如有标样定量分 析。
二、X射线能谱仪基本功能
EDS的分析方法－点分析
电子束（探针）固定 在试样感兴趣的点 上，进行定性或定量 分析。该方法准确度 高，用于显微结构的 成份分析，对低含量 元素定量的试样，只 能用点分析。
EDS的分析精度
“电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准 定量结果及允许误差 对定量结果必须正确选取有效位数。EDS定量分析结果， 小数点后保留一位，原始数据可以多保留一位。 EDS分析的相对误差 (含量＞20%wt）的元素， 允许的相对误差 <5% (3 %wt<含量<20%wt的元素，允许的相对误差<10% (1 %wt<含量<3%wt的元素，允许的相对误差<30% (0.5%wt<含量<1%wt的元素，允许的相对误差<50%
X + e- → X+ + 2e-
环境扫描电镜的特点(二)
消除绝缘样品表面电荷积累的解释
- - - - gas
- - - - gas
XRF是指X荧光光谱仪
XRF是指X荧光光谱仪(X-ray fluorescence spectrometer)，从检测方式可分为分为能量色散型(ED-XRF,即EDX,Energy dispersive)及波长色散型(WD-XRF,即WDX,Wave dispersive). ED-XRF是XRF的其中一种。
EDS與WDS的差異在於對元素的偵測方式不同,一個是以發出來的特徵能階去查是哪一個元素的特徵X-ray,一個是以布拉格定律去了解哪一個元素,一般約略的測試都是以EDS為主,因為其掃描的時間很快,WDS則是以準確度較高,但很花時間.
ED-XRF
试样中被测元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定能量的X 射线，利用具有一定能量分辨率的X 射线探测器探测试样中被测元素所发出的各种能量特征X 射线，根据探测器输出信号的能量大小和强度来对被测元素进行定性和定量分析。
它便于对液体、固体、粉料、糊状物、浆料、薄膜、涂层以及许多其他材料等进行非破坏性的、定量和定性分析。
可以分析含有什么元素，含量是多少，金属经常用氧化物的方式给出含量。
定量准确度取决于仪器质量，操作水平，制样均匀度，称量准确度等，经常稍微偏低。
ICP是定量定性
XRF是半定量和定性！
icp在数值方面要精确于xrf
xrf在时间上快于icp
另：xrf是检测范围
icp是mdl
两种测试原理都是不一样的，但是相比而言ICP的更精确一点，XRF的也比叫精确，但是ICP的比较麻烦，需要特别专业的人员操作，而XRF的就比较的方便，一般的操作人员结果培训都能够测试了。
Edx应用介绍CN
为何使用EDXRF?
低价格
快速分析. 样品制备简单
2分钟内得出绝大多数结果! 多元素同时分析
自动计算ppm结果 高度灵活性 ==> 适应任何样品
ED-XRF的特点
非破坏性元素分析 可以完成各种各样样 品, 包括 固体, 粉末,液体, 光盘, 以 及硅片. 可以进行从碳到铀（C6-U92）元素的定 性与定量分析及薄膜检测。 分析浓度范围广从 ppm-100%。 可以利用FP法（基本参数法）进行 进 行无标样定量分析。
岛津名称卡
5 种用于高灵敏度分析的滤波片
利用滤波片法检测
极限明显地降低. 利用定量分析的FP 法从理论上确定滤 波片的效应.
先进的与灵活的软件
仪器总控制
仪器的灵活性
选择各种工作 设定分析条件 显示分析结果
显示定量分析结果与进行各种格式化
Sample Name alpha - 1 alpha - 2 alpha - 3 alpha - 4 alpha - 5 beta - 1 beta - 2 beta - 3 Date Al % Mg% Ca% Si % 1998/9/13 1.234 3.702 4.936 90.128 1998/9/14 2.134 6.402 8.536 82.928 1998/9/15 3.124 9.372 12.496 75.008 1998/9/16 4.123 12.369 16.492 67.016 1998/9/17 5.678 17.034 22.712 54.576 1998/9/18 6.578 19.734 26.312 47.376 1998/9/19 7.568 22.704 30.272 39.456 1998/9/20 8.567 25.701 34.268 31.464
EDX-LE 能量色散X荧光光谱仪操作规范
修 订 记 录 修订日期 变更编号 变 更 内 容
文件编号: 版本/次: 页 次: 日 期:
版本/次
总页数 7
会 签 记 录 会签单位 ■体系办 □营业部 □物流部 □工程部 □制造部 ■品控部 □生技部 □财务部 □人力资源部 会签姓名 会签意见
核准
审核
制定
泓淋科技集团 HONG LIN
能量色散 X-ray荧光光谱仪 操作规范
文件编号: HLCL3-T00001 版本/次: 页 次: 日 期: A/0 3 OF 7 0
7.9EDX导轨加润滑油时间：理论半年/1次.（具体加油时间以操作员听到有噪音为 基准）. 7.10《ED-XRF判定标准》为参照《各客户环境管理物质管控标准》制作，并以此 作为ED-XRF筛选测试的判定标准. 7.11针对EDX测试验证项目内容的修订，在变更前需进行评估，待评估通过并修订 文件后方可进行更改，现场需依文件执行操作。
七、注意事项及故障排除： 7.1每天早上8点,须用A750标样对仪器进行校正,并将检查结果记录于《ED-XRF作业前检查记录表》. 7.2开机/每周/维修/异常确认时，需用7元素标样对仪器校正，并将 记录登记在《ED-XRF标样点检表》. 7.3每周一需对有卤/无卤拆解工具进行点检，并将记录登记在《拆解工具检测记录表》. 7.4当放置样品测试时,确认样品位置是否放置正确： ①微小物品需要放置在专用容器中 ②物品放置方法尽可能与十字线的竖线平行 ③物品居中.必要时用桌面“CCD”帮助观察. 7.5测量液体前先放置10分钟,确认液体对有机薄膜不破坏且薄膜没有老化再放入仪器内. 7.6校正机器拿取标样时,拇指与食指触摸标样的侧面,如标样有脏或有异物附着需用酒精 清洗后再使用.
edx 能量色散x射线光谱仪
edx 能量色散x射线光谱仪EDX（能量色散X射线光谱仪）是一种分析化学仪器，用于确定样品的元素化学组成和分析。
它是由一台电子显微镜和一个能量色散光谱仪组成的。
能量色散光谱仪通过测量样品中x射线的能量来确定样品的元素组成。
EDX技术的原理是基于x射线与样品相互作用的原理。
当电子束从电子显微镜中照射到样品表面时，样品中的原子会被激发产生x射线。
这些x射线拥有特定的能量，其能量与原子中的电子能级差相关，因此可以用来确定样品中元素的种类和含量。
EDX技术通过在电子束入射的同时测量样品中散射出来的x射线的能量来进行分析。
EDX光谱仪会收集样品散射出来的x射线，并通过一个能量分辨器将这些x射线聚焦到一个光敏探测器上。
探测器会记录这些x射线的能量，并将其转化为一个能谱图。
能谱图表示了不同能量的x射线的强度，由此可以确定样品中元素的种类。
EDX技术可以应用于许多领域，如材料科学、地质学、矿物学、生物学等。
它可以用于分析样品中的各种元素，包括金属、非金属和有机物。
EDX技术非常灵敏，可以检测到微量的元素，并且可以提供定量分析。
通过分析得到的能谱图，可以确定样品中元素的相对含量，并可以比较不同样品之间的差异。
EDX技术的优点之一是非破坏性分析，即不需要对样品做任何物理或化学处理。
这使得样品可以保持其原始状态，并且可以用于分析不同形态的样品，如固体、液体和气体。
此外，EDX技术还具有高分辨率和高灵敏度的特点，可以提供准确且可靠的分析结果。
虽然EDX技术在元素分析方面具有许多优点，但它也有一些限制。
EDX技术的分辨率受限于电子束的径迹范围，因此无法提供高分辨率的分析结果。
此外，样品中元素的多样性和复杂性也会对分析结果产生影响。
因此，在进行EDX分析时，需要谨慎选择合适的样品制备方法，并对结果进行正确解释和分析。
总之，EDX（能量色散X射线光谱仪）是一种非常有用和广泛应用的分析化学仪器。
它通过测量样品散射的x射线的能量来确定样品的元素组成，可以用于各种领域的元素分析和定量分析。
能量色散型X射线荧光分析仪EDX设备操作说明书
設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A0一﹑功能鍵說明主機﹕用于放置待測物計算機﹕用于控制周邊設備。
打印機﹕用于列印相關數據二﹑操作說明1.機器連接﹕將主機電源線插入穩壓器110V輸出端﹔將穩壓器輸出線插入UPS輸入端充電﹔將計算機電源線插入UPS輸出端﹔將打印機電源線插入主機輸出110V端﹔列印機﹑主機﹑鍵盤﹑鼠標與主機相連既可。
UPS﹕斷電后提供穩定的電源給計算機﹐避免計算機資料丟失。
穩壓器﹕用于提供110V電源給主機并提供給UPS充電。
核准審核製作日期設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A02.開機﹕2.1確認連線無誤后﹐將穩壓器電源開關撥向“ON”狀況﹐且穩壓器指針指在110V時﹐既可按下圖步驟開啟設備。
2.3.按下計算機桌面上的“EDX Sofrware”圖標﹐計算機即出現下圖對話框。
2.4.按下上圖中的“維護”圖標﹐計算機彈出如下畫面。
點擊下圖“儀器初始化”圖標﹐可以聽到快門和瀘光片動作聲音。
校正正常“儀器狀態欄”均顯示OK﹐表示校正成功。
核准審核製作日期設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A02.5.按下上圖中的“儀器設置”圖標﹐計算機顯示儀器設置對話框如下畫面﹕按下下圖儀器設置對話框中的“執行啟動”圖標。
即對X光管進行預熱﹐此時需等待30分鐘。
以確保儀器工作于穩定狀態﹐否則測量值誤差大。
2.6.X光管預熱30分鐘后將樣品“A750”放入主機X光管窗口處﹐如下圖﹕2.7.點擊下圖“儀器校正”圖標﹐計算機顯示“儀器校正”對話框。
按下儀器校正對話框的“開始”圖標﹐儀器進行能量校正并顯示校正中﹐請稍等……核准審核製作日期設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A02.8. 校正完成后﹐在“分析組別”內選擇定性/定量easy組別測試A750﹐以判定校正是否成功。
能量色散x射线荧光光谱仪能量分辨率
能量色散x射线荧光光谱仪（EDXRF）是一种常用于分析材料成分的仪器。
其能量分辨率是衡量其性能优劣的重要指标之一。
下面我们将从以下几个方面来详细介绍EDXRF的能量分辨率。
一、能量分辨率的定义能量分辨率是用来描述仪器在测量样品时能够分辨出能量差异的能力。
在EDXRF中，能量分辨率通常指的是在接收x射线信号时，系统能够准确测量出相邻两个能量峰之间的能量差异程度。
能量分辨率越高，表示仪器能够更准确地分辨出样品中不同元素的成分，提高了分析的精度和可靠性。
二、影响能量分辨率的因素1. 探测器性能：EDXRF仪器中常用于探测x射线的探测器有Si-PIN探测器和硅漂移探测器等，探测器的能量分辨率直接影响了整个系统的性能。
探测器本身的能量分辨率越高，整个系统测量的能量分辨率也会相应提高。
2. 探测器冷却系统：探测器在测量过程中会产生一定的热量，如果没有有效的冷却系统来控制探测器温度，会影响探测器的性能，从而影响整个系统的能量分辨率。
3. 信号处理电子学：EDXRF系统中的信号处理电子学部分对于提高能量分辨率也起着至关重要的作用。
优质的信号处理电子学可以有效减小系统本身的噪音，提高信号的稳定性和准确性。
1. 选择优质的探测器：在购物EDXRF仪器时，应选择具有高能量分辨率的探测器，如硅漂移探测器。
2. 合理设计冷却系统：在安装EDXRF仪器时，应合理设计并严格控制探测器的冷却系统，确保探测器的温度稳定在合适的范围内。
3. 优化信号处理电子学：在仪器的使用过程中，可以对信号处理电子学进行适当的优化和调整，以确保信号的稳定和准确。
四、高能量分辨率的意义EDXRF仪器的能量分辨率是衡量其性能优劣的一个重要指标。
具有高能量分辨率的EDXRF仪器能够更准确地分辨出样品中不同元素的成分，提高分析的精度和可靠性。
特别是对于一些在样品中含量较低的元素，高能量分辨率的仪器往往能够得到更为准确的分析结果。
能量色散x射线荧光光谱仪的能量分辨率是影响其分析性能的重要因素之一。
电子能谱分析edx
EDXX射线能谱一介绍EDS（energy dispersive spectro-scopy）能量色散谱EDX （Energy Dispersive X-ray）WDS（wavelength dispersive spectro-scopy）波长色散谱EDX：X射线强度和能量曲线，定量分析样品的化学成份主要用途：•1) 非均匀样品的局部化学成份•2) 较少量材料或小颗粒材料的化学成份•3) 非均匀样品种一维或二维的成份分布•4) 沉积在任意衬底上的薄膜成份特点1)铍以上元素2)最小能探测到的重量比：0.1 wt% ——1 wt%3)定量结果的相对误差：2－20％（取决于校正方法等）4)在计算机控制下，1分钟以内可分析16种元素5)空间分辨率取决于平均原子序数、样品密度、束能量等（SEM中0.2——10微米）获得可靠的分析结果要求样品:·1) 样品平整光滑（尤其对定量分析，样品要抛光）2) 可以分析表面粗糙的样品，但仅限于定性和半定量分析3) 样品必须导热导电，必要的时候表面需要喷炭或金推荐书目：Scanning Electron Microscopy and X-ray microanalysisNew York 1992 （生物学、材料科学、地质学）Scanning Electron Microscopy，X-ray microanalysisand Anlytical Electron MicroscopyNew York 1990二定量分析Fig.2: Schematic diagram showingwhere 29<Z<37.Detected Energy (E)Fig.5: Schematic diagram of the intensity variation of the continuum backgroundwith energy, showing the generated and detected background energy.Intensity (I)Generated A ）背底和特征峰（二）影响X 射线强度的几种因素B）原子序数对X射线强度的影响Variation in fluorescence yield with atomic number.C ）荧光产生率E ）Mass absorption coefficient of Fe, for X-rays of varying energyD）X 射线的吸收探测角度：角度越小，X射线吸收越强。
X射线荧光光谱仪EDX1800说明书
样品平台 1 2
2 电源指示灯
4 气撑把手 6 面光源
(方 便观测 样 品)
8 准直器
第三章 产品结构与原理
6
12 13
风扇
(散 热作用)
12 U S B 接 口
(连接 摄 像头)
10
11
10 电源开关
13 U S B 接 口
(连 接 电脑)
11 电 源 接 口
第四章 产品的安装
4.1安装环境要求 1.房间内要配备冷暖空调、电脑、打印机等设备； 2.房间内不宜有水源、热源、强电磁干扰、易燃物和大量积尘，以及阳光直射。
1.2开箱检验
2.1产品规格说明
当您拆开仪器的包装，你会看到如下物件：仪器、挂板、配件包
产品名称：天瑞仪器X荧光光谱仪
型号：EDX1800B
3
样品腔面积：528mmX322mmX100mm
4
江苏天瑞仪器股份有限公司
外形尺寸：550mmX410mmX320mm
配件包
第三章 产品结构与原理
3.1结构介绍
第一章 产品概述及开箱检验
1.1.3应用领域
ROHS检测分析
黄金、铂，银等贵金属和各种首饰的含量检测
金属镀层的厚度测量和电镀液和镀层含量的测定
2
地矿等资源类的全元素分析
主要用于ROHS指令的相关行业，贵金属加工和首饰加工业；银行；首饰 销售
和检测机构；电镀行业。
第一章 产品概述及开箱检验
第二章 产品规格说明
第五章 产品的使用
5.1操作注意事项 切勿尝试拆卸或改装本机，非专业人员对仪器的处理会损坏仪器
13
E D X 1800 B
EDX1800B EDXRF PESCTROMETER
eds金元素的能量标准
eds金元素的能量标准EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）是一种X射线能谱分析技术，也称为EDX（Energy Dispersive X-ray）分析。
它利用X射线与物质发生相互作用，从而产生特定的能谱信息，进一步分析物质的组成和结构。
在EDS分析中，金元素的能量标准是非常重要的。
金元素是化学元素周期表上的一种贵重金属，具有独特的化学性质和广泛的应用价值。
在EDS分析中，金元素通常以标准样品的形式添加到待测样品中，以便通过与其它元素相比较来确定金元素的存在和相对含量。
金元素的能量标准通常包括以下几个方面：1.能量校准：能量校准是EDS分析中的重要步骤之一。
根据金元素的能量特征谱线，可以建立一个能量标准曲线，用于确定其它元素的能量位置。
通过与标准能谱进行比对，可以准确地测量金元素的能量位置。
2.能量分辨率：能量分辨率是指能够分辨出两个能量之间的最小能量差。
对于金元素的能量标准，需要保证能谱仪能够达到较高的能量分辨率，以确保金元素的能谱信息能够被准确地测量和分析。
3.相对峰强度：金元素的能量标准中还包括相对峰强度的标准。
相对峰强度是指金元素特征峰的峰强度与相对于其它元素的特征峰强度之比。
通过测量和比较金元素的相对峰强度，可以确定金元素的存在和相对含量。
4.能量漂移：在EDS分析中，能量漂移是一个常见的问题。
能量漂移是指能谱仪在长时间使用过程中出现的能量位置的漂移现象。
为了获得准确的金元素能谱信息，需要对能谱仪进行定期的能量校准和漂移校正。
5.系统响应：系统响应是指EDS系统对不同能量的X射线的响应情况。
通过金元素的能量标准，可以评估EDS系统的系统响应，以确保系统能够准确地测量和分析金元素的能谱信息。
综上所述，金元素的能量标准在EDS分析中具有重要的意义。
通过能量标准的建立和使用，可以对金元素的能谱信息进行准确的测量和分析，进一步了解金元素的存在、相对含量和化学状态，为金元素的应用研究提供有力的支持。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
一个内层电子而出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激 发态，激发态原子寿命约为 (10)-12-(10)-14s，然后自发地由能 量高的状态跃迁到能量低的状态。这个过程称为驰豫过程。驰豫 过程既可以是非辐射跃迁，也可以是辐射跃迁。当较外层的电子 跃迁到空穴时，所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外 层的另一个次级光电子，此称为俄歇效应，亦称次级光ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ效应或 无辐射效应，所逐出的次级光电子称为俄歇电子。 它的能量是特征的，与入射辐射的能量无关。当较外层的电 子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收，而是以辐射形 式放出，便产生X 射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。 因此，X射线荧光的能量或波长是特征性的，与元素有一一对应 的关系。 K层电子被逐出后,其空穴可以被外层中 任一电子所填 充，从而可产生一系列的谱线，称为K系谱线：由L层跃迁到K 层辐射的X射线叫Kα射线,由M层跃迁到K层辐射的X射线叫Kβ射 线……。
2012.11.1
同样,L层电子被逐出可以产生L系辐射。如果入射的X 射线 使某元素的K层电子激发成光电子后L层电子跃迁到K层，此时 就有能量ΔE释放出来，且ΔE=EK-EL，这个能量是以X射线形 式释放，产生的就是Kα 射线，同样还可以产生Kβ射线 ，L系 射线等。莫斯莱(H.G.Moseley) 发现，荧光X射线的波长λ与元 素的原子序数Z有关，其数学关系如下： λ=K(Z-s)-2 这就是莫 斯莱定律，式中K和S是常数，因此,只要测出荧光X射线的波 长,就可以知道元素的种类,这就是荧光X射线定性分析的基础。 此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此， 可以进行元素定量分析。
NBS-GSC法也称作理论Alpha系数法。它是基于荧光X射线激发的 基本原理，从理论上使用基本物理参数计算出样品中每个元素的一次和 二次特征X射线荧光强度的。基于此再计算Lachance综合校正系数，然 后使用这些理论α系数去校正元素间的吸收增强效应。它与经验系数法不 同，这些校正系数是从“理论”上取得的，而非建立在“经验”上。因 而它也不需要那么多的标样，只要少数标样来校准仪器因子。
2012.11.1
EDX Energy Dispersive X-ray Spectrometry (能量分析光谱仪)
2012.11.1
Ben Chen
edx 目录能量色散X荧光光谱仪应用 能量色散X荧光光谱仪原理 EDX:Energy Dispersive Spectrometry(能量分析光谱仪)能量色散 型X射线荧光光谱仪
2012.11.1
利用荧光X射线进行定量分析的时候，大致分为3个方法。一个是制 作测量线的方法（经验系数法）。这个方法是测定几点实际的已知浓度 样品，寻求想测定元素的荧光X射线强度和浓度之间的关系，以其结果为 基础测定未知样品取得荧光X射线，从而得到浓度值。
另一个方法是理论演算的基础参数法（FP法）。这个方法在完全了 解样品的构成和元素种类前提，利用计算的各个荧光X射线强度的理论值， 推测测定得到未知样品各个元素的荧光X射线强度的组成一致。
X射线的产生利用X射线管（图2），施加高电压以加速电 子，使其冲撞金属阳极（对阴极）从而产生X射线。从设计上 分为横窗型（side window type）和纵窗型（end window type）两种X射线管，都是设计成能够把X射线均匀得照射在 样品表面的结构。
2012.11.1
X射线窗口，一般使用的是铍箔。阴极（也叫做：靶材）则多使用是钨 (W)、铑(Rh)、钼（Mo）、铬（Cr）等材料。这些靶材的使用是依据分析 元素的不同而使用不同材质。原则上分析目标元素与靶材的材质不同。 如何利用荧光X射线进行定量分析 在包含某种元素1的样品中，照射一次X射线，就会产生元素1的荧光X 射线，不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素A的含量的变化 而改变。元素1的含量多，荧光X射线的强度就会变强。注意到这一点，如 果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度，就可以推算出样品中元素A的 含量。采用定量分析的时候，可以在样品中加入高纯度的二氧化硅，作为 参比样，并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。
EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的， 根 据波长测定试样所含的元素，根据强度测定元素的相对含量。 编辑本段能量色散X荧光光谱仪应用 常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探 测器后便将硅原子电离，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成 正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压 脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。 编辑本段能量色散X荧光光谱仪原理