硅片检验标准

版本状态临时版文件名称硅片检验页码1/5

编制/日期：审核/日期批准/日期：

1．目的

监测硅片质量，确保电池片质量稳定。J

2．适用范围

适用于本公司品质部对所有来料硅片质量的监视和测量。

3．职责

3.1 品质部负责制订硅片检验文件。

3.2 品质部负责来料硅片质量的控制。

4．检验

4.1核对

对照送检单，核对硅片的来源、规格和数量，供方所提供的参数、如电阻率、厚度、对角线长、边长。检查供方出具的材质报告（碳含量、氧含量、晶向及位错密度），如有不符，须先与采购部沟通，无误后进行检验。

4.2 外观检验

4.2.1用刀片划开封条，划时刀片不宜切入太深，刀尖深入不要超过5mm，防止划伤泡沫盒内的硅片。塑封好的硅片，用刀尖轻轻划开热缩膜四个角，然后撕开热缩膜。

4.2.2 抽出两边的隔版，观察盒内有没有碎片，如有则要及时清理碎片。

4.2.3 检验时戴PVC手套。从盒内拿出100片硅片（不得超过100片），先把硅片并齐并拢后观察硅片四边是否对齐平整,并用硅片模板进行对照，鉴别是否存在尺寸不对的现象，如不符合，则用游标卡尺测量，并及时记录于硅片外观检验原始记录表上。

4.2.4 再将100片硅片分出一部分使其旋转90度或180度，再并拢观察硅片间是否有缝隙，如有则说明有线痕或是TTV超标的现象。将缝隙处的硅片拿出来，用MS-203测硅片上不固定的数点厚度(硅片边缘2-5cm以内取点),根据厚度结果确定是否超标。将线痕、TTV超标片区别放置。再观察四个倒角是否能对齐，如有偏差，对照硅片模板进行鉴别，把倒角不一致硅片分开放置。并在硅片外观检验原始记录表上分别记录数量。

4.2.5 观察硅片是否有翘曲现象，翘曲表现为硅片放在平面上成弧形或是一叠硅片并拢后容易散开。如有，则要把硅片放在大理石平面上，用塞尺测量其翘曲度，将翘曲度超标片区别放置，在硅片外观检验原始记录表上记录数量。

4.2.6 逐片检验硅片，将碎片、缺角、崩边、裂纹、针孔、污物、微晶（特指多晶硅片）等不合格品单独挑出，分别存放，并在硅片外观检验原始记录表上记录。

版本状态临时版文件名称硅片检验页码2/5

4.2.7 逐片计数该盒中合格片数量及各类不合格片数量，并核对总数与硅片外包装计数是否一致，如有缺片的现象则必须记录相对应的盒号、箱号、晶体编号以及对方检验员号。

4.2.8 把硅片整理整齐，重新放入泡沫盒内，最后在硅片两侧放入泡沫垫板保护，盖上泡沫盒，用封箱带把盒子封好，在盒子的上方记录包装内的实际数量，下半部分盖上自己的检验工号或在合格证上写上检验工号。

4.2.9 按4.2.1-4.2.8步骤对所有硅片进行检验。

4.3 厚度的检验

IQC使用MS-203检测。每片测量5点，分别为硅片四周5mm处四点及硅片中心一点，在硅片厚度测试记录表上记录所测量的数据。计算出所有记录的平均值。

4.4 导电类型检验

每箱中随机抽取5片已经过外观检验的硅片用P-N导电类型鉴别仪测试硅片的导电类型（P型、N型），填写于导电类型测试记录表上。5片中有一片导电类型与送检类型不一致，该批片子均不合格。

4.5 电阻率测试

使用MS-203测量电阻率。将结果填写于硅片电阻率测试记录表内。

4.6 少子寿命测试

碘酒钝化后大于30us。

4.7 小批量试制

4.7.1经包装检查、性能检验合格或对本批物料存在异议的硅片在正式批量投产前，需要经过小批量试产以验证硅片的所有特性是否满足批量生产需要；小批试产由IQC检验员根据抽样原则抽取本批所要试产的硅片，独立的放置于原材料仓并告知仓库发料人员；

4.7.2 IQC检验员准备好试产硅片后填写《硅片试制跟踪单》通知PMC备料料，工艺确定试制产线，生产部到仓库领取经IQC确认的试产片。试生产的硅片须优先流转。

4.7.3 为确保数据的准确性，小批量试验制作过程中的印刷、烧结、测试分选必须单独进行。

4.7.4 测试原始数据的保存在指定文件夹中。IQC检验员从此文件夹中复制数据。IQC最终汇总本批试产数据，并填在《硅片试制跟踪单》中。

4.7.5试产结果判定

4.7.

5.1经试产判定合格的判本批硅片合格；

4.7.

5.2经试产判定不合格的需将相关的试产数据及其它情况材料提供给工艺技术部，由其评定是否可以通过调整工艺满足生产要求，如果可以通过工艺调整达到要求的，经工艺调整二次试制。若合格，则判本批合格；

4.7.

5.3经试产判定不合格且工艺技术部判定无法工艺调整或投入成本过高者，判本批硅片不合格，由IQC 通知原料仓安排退货。若第一次试制不合格，则进行第二次试制。若第二次试制不合格，则由工艺、质量共同分析原因，决定是否进行第三次试制或直接退货。4.7.5.4试制合格后,小批量发至产线生产,如发现小批量生产不合格,没有投产的硅片作退货处理.

具体试制流程如下图:

合格 合格 不合格 不合格

合格

不合格 合格

不合格

4.7.6抽样试制原则

来料硅片数量200000PCS 以下抽1200PCS 试产，合格则余下全部投入生产。 来料硅片数量200000-400000PCS 抽2400PCS 试产，合格后小批量生产3万。 来料硅片数量400000万以上抽40000PCS 试产，合格后小批量生产6万。 4.7.7 不同生产批次分开试制。

版本状态 临时版 文件名称

硅片检验

页 码

3/5

第一次试制 小批量生产

退货

第二次试制 第三次试制 退货

退货

投入生产