真空系统清洗要求

大中型真空系统清洗基本要求及流程一、不锈钢、铜及其合金在加工过程中的粗洗

二、总装前的精洗

1、不锈钢的精洗

酸洗配方1：盐酸5.5份，硝酸2份，水2.5份（按重量计），再加2～3%尿素，温度

70 o C。

酸洗配方2：氢氟酸1.5份，硝酸1份，水7.5份（按重量计），温度50 o C。

弱酸侵蚀配方：

氯化钠15g，亚硝酸钠20g，硝酸1000mL，硫酸1000mL，去离子水2000 mL。

酸洗液配方：

硫酸50mL，硫酸亚铁饱和溶液950mL（此配方仅去除氧化铜，对铜则不起作用。）抛光液配方：

硝酸200mL，醋酸500mL，磷酸550mL，硫脲0.2～0.3g。

酸洗液配方1：氢氟酸20 mL，硝酸500 mL，去离子水500 mL。酸洗液配方2：氟化钠50g，盐酸50g去离子水350g。

4、真空橡胶去硫