半导体设备関连用语集

半導体設備関連用語集

富士通電デバ中国プロジェクト

華越微電子公司八．五工程

2005年1月8日

１．設備名称対照表

NO 設備名（日文）設備名（中文）

1 ＣＶ測定器CV测量仪

2 ＥＰＩ装置外延炉

3 ＨＭＤＳ塗布（真空ペーパー）HMDS涂机（真空夹层）

4 ＩＩ装置离子注入装置

5 ＩＮＫ乾燥炉INK干燥炉

6 ＭＡＳＫ洗浄ドラフト掩膜清洗槽

7 ＭＤＸ電源MDX电源

8 Ｎ２ボックス氮气柜

9 ＲＦ電源高频电源

10 ＳＯＧコータSOG涂机

11 ＷＡＦＥＲ移替機园片装卸传送装置

12 ａステップ铝膜厚测量仪

13 ｕ波電源U波电源

14 アッシャー灰化装置

15 アニール炉退火炉

16 アライナー光刻机

17 オープンストッカー干燥炉

18 カープトレーサー示波器

19 カップ洗浄ドラフト容器清洗槽

20 キャリア洗浄機局部清洗机

21 グラインダー研磨机

22 クリ-ンブース洁净罩

23 クリンベンテ洁净台

24 グローブボックス手套盒

25 コンベクションオーブン对流式干燥箱

26 サーマルチャンバー恒温箱

27 スクラバー洗气器

28 スパッタ装置溅射装置

29 スピンエッチャー旋转式刻蚀装置

30 スピンドライヤー旋转式干燥机

31 テープ貼り機胶带粘贴装置

32 テープ剥し機胶带剥离装置

33 テスター测试装置

34 ドライエッチャー干式刻蚀装置

35 ドラフト清洗槽

NO 設備名（日文）設備名（中文）

36 ナノスペック纳米级测量仪器

37 ナノライン纳米级测量仪器

微粒测量仪

38 パーティクル測定器（ＷＭ－

２）

39 プラズマＣＶＤ装置等离子CVD装置

40 プローバー探针测量仪

41 ヘルパーコーター高效过滤器

42 ポリミド塗布Polymide树脂涂机

43 ポンプ泵

44 ポンプ（２芯）泵

45 ポンプ（ＣＨＢ）泵

46 ポンプ（Ｅ２Ｍ４０）泵

47 ポンプ（Ｌ／Ｌ）泵

48 ポンプ（ＭＢ）泵

49 ポンプ（ドライスター）泵

50 ポンプ（水封）水封泵

51 ボンベボックス气瓶柜

52 マスクストッカー掩膜保管箱

53 リモートサポート工具箱

54 レーザーマーカー激光标号设备

55 レジスト現像光刻胶显影装置

56 レジスト除去除胶装置

57 レジスト塗布涂胶机

58 液体ホーニング液体研磨

59 拡散炉扩散炉

60 観察ＳＥＭ观察用电子显微镜

61 金属顕微鏡金属显微镜

62 検査装置检查装置

63 検査装置（ＣＨＩＶＩ）检查装置

64 検査装置（ＯＳＴ）检查装置

65 検査装置（顕微鏡）检查装置（显微镜）

66 減圧ＣＶＤ装置减压CVD装置

67 後処理ドラフト后处理槽

68 後処理装置后处理装置

69 自動測定装置自动测定装置

70 実体顕微鏡实体显微镜

NO 設備名（日文）設備名（中文）英文

71 処理ドラフト处理槽

72 常圧ＣＶＤ装置常压CVD装置

73 蒸着装置蒸镀装置

74 真空ベーク炉真空烘干机

75 洗浄ドラフト（ＣＶＤ）清洗槽

76 前処理システム前处理系统

77 排ガス処理装置排气处理装置

78 比抵抗測定器电阻率测量仪

79 不純物コータ（ＰＢＦ）涂PBF杂质层装置

80 不純物コータ（ＳＢＳＧ）涂SBG杂质层装置

81 幅測定器（ナノライン）纳米级宽度测量仪

82 膜厚測定器膜厚测量仪

83 膜厚測定器（Ｍ－ゲージ）膜厚测量仪

84 膜厚測定器（ナノスペック）膜厚测量仪（纳米级）

85 陽極酸化装置阳极氧化装置

86 冷蔵庫冷藏柜

87 炉心管保管棚（ＣＶＤ）炉芯管保管架

２．外来語（英語）用語（あいうえお）

NO カタカナ（外来語）中文英文

1 アーク弧形

2 アークモニター弧形监控口

3 アース接地，地线

4 アーマ防具，防身服

5 アーム操作臂

6 アームストッパー操作臂止动器

7 アームストップ操作臂止动

8 アームパッド杆，臂，缓冲器

9 アームユニット臂杆组合件

10 アイソレーション分离，隔离，孤立，绝缘

11 アイドリングタイム空载，无故，（设备）闲置时

间

12 アイドル无用的，空闲的

13 アウター外部的，表面的

14 アウト断开

15 アウトプット输出（功率，效率）

16 アクション行动，运算

17 アクセス操作，存取

18 アクセスコード存取码

19 アクチェーター制动器，传动装置

20 アクリル丙烯酰基

21 アジャスタ调整器，调节器

22 アジャスト核对，调整，调节

23 アジャストボルト调整栓，校正棒

24 アスピレーター抽吸口，吸气口

25 アダプタ接合器，搭配器

26 アッシング灰化

27 アッセンブリ部件，装置

28 アッパー向上的

29 アッパーリミット上限

30 アップ向上，举起

31 アドソーバー吸附

32 アドレス地址

33 アナロック锁定

34 アノード阳极