半导体气体特性及系统介绍

• 2. 主要用途介紹:

* CDA–作為Fab中氣動設備(如Pump )的氣源及吹淨( Purge )作為Local Scrubber 助燃的氣源

* IA–作為廠務系統氣動設備的氣源及吹淨( Purge )

* HPCDA–黃光區Scanner 機台專用( 移動平台/ 使Filter 緊靠) * GN2/ PN2-作為部分氣動設備氣源及提供惰性的氣體環境

Pn2 主要的功能為吹淨( Purge )

* PO2 -提供製程中氧化的作用

* PAR–作為製程中濺渡的傳導介質

* PHE-作為製程中冷卻晶片的氣源

* PH2-提供燃燒,烘烤的作用及其他反應

V V

V

PHE V

V

PH2

V V V PAR V V V

V PO2V

V V V V PN2V V V V V GN2V HPCDA V

V

V

V V

CDA Implant Thinfilm

Etch Photo Diffusion

Gas Name • 3. 製程與氣體的分佈:以SMIC FAB2 為例

Vaporizer

• 4. Bulk Gas 供應系統介紹:

V

V

V

He

V V V V

H2V

Ar V V

O2V V N2V

CDA Compressor 壓縮機

Bundle 集束鋼瓶

Trailer 槽車

Container 儲存罐

Storage tank 桶槽

Produced on-site

GAS TYPE

CDA flow sheet:

N2 flow sheet:

O2 flow sheet:

Ar flow sheet:

H2 flow sheet:

He flow sheet:

Liquid Gas Toxic,Corrosive,Yellow

Color,Nonflammable

Chlorine 氯氣Cl 2Liquid Gas Toxic,Corrosive Trifuorochloride 三氟化氯ClF 3

Compressed Gas Flammable,Colorless,Combustible Methane 甲烷CH 4Liquid Gas Flammable,Colorless,Liguefied Methylsilane CH 3SiH 3

Liquid Gas Toxic,Flammable,Colorless,Odorless Halocarbon-32CH 2F 2

Compressed Gas Flammable,Colorless,Incombustible Methyl Fluoride 氟代甲烷CH 3F

Liquid Gas Colorless,Incombustible,Nonflammable Halocarbon-23三氟甲烷CHF 3

Liquid Gas Colorless,Incombustible Monochlorodifluoromethane CHClF 2

Compressed Gas Inert,Colorless,Incombustible,Nonflammable Halocarbon-14四氟化碳CF 4

Liquid Gas Toxic,Corrosive,Colorless,Nonflammable Boron Trichloride 三氯化硼BCl 3

Liquid Gas Toxic ,Flammable ,Colorless,Combustible Arsine 砷化氫AsH 3

Compressed Gas Inert,Colorless,Incombustible,Nonflammable Argon 氬氣Ar

性質特性Product Name Chemical

Symbol

氣體特性表

V C4F8

V CL2

V CLF3

V V NH3

V WF6

V F2/KR/NE V V SIH4

V V DCS

V NF3

V V N20

V He/O2(0.5%)

V CF4

Implant Thimfilm Etch Photo Diffusion Gas Name

• 3. 製程與氣體的分佈:以SMIC 為例

• 4. Specialty Gas 供應系統介紹:

SP1 SCOPE -

* Gas Cabinet 氣瓶櫃

* Gas Rack 氣瓶架

* Y-Cylinder

* Bundle 集束鋼瓶

* Trailer 槽車

SP2 SCOPE -

* VMB 閥箱

* VMP 閥盤

Gas Cabinet / Gas Rack 概述:

1. 可分為單鋼/ 雙鋼( 2 Process ) / 三鋼( 2 Process + 1 N2 )

2. 依氣體特性來設計盤面功能:

for example: smic fab2

3. 安全功能: Shut Boy 鋼瓶閥, UV/IR 火焰偵測器, Sprinker 灑水頭,

EMO 緊急停氣按鈕, DPS/DPG 洩漏偵測器……

V V DCS

V 高壓測漏HP 加熱裝置HEAT V 冷卻裝置COOL

V V CL2V WF6

V SIH4

電子磅秤LC 過流量計

EFS