场发射电子显微镜技术指标

场发射电子显微镜技术指标

1．产品配置要求

1.1 场发射扫描电镜主机1套

1.2 X射线能谱仪(电制冷) 1套

1.3标准附件及工具1套

1.4离子溅射仪 1套

1.5导电胶带 2卷

1.6 场发射灯丝 1根

1.7电脑 2台

1.8彩色激光打印机 1台2．技术规格

2.1 组成：该设备由主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器)，自动变

压器，冷却循环水系统，X射线能谱仪(SDD)，计算机，标准工具

及附件组成。

*2.2 分辨率：1.0nm (15kV，WD=4mm);

2.0nm (1kV，WD=1.5mm)常规模式

1.4nm(1KV，WD=1.5mm)电子减速功能

2.3 加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步

2.4 放大倍率：×20 ~ ×800,000

*2.5 物镜光栏：加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏

2.6 样品室：

2.6.1移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~70°；R：360°

2.6.2最大样品尺寸：100mm

*2.7 全自动五轴马达台样品台

2.8 电子光学系统具有多种工作模式，可实现高分辨、大束流、大工作距离

及磁性样品观测

2.9探测器: 具有高位和低位二次电子探头

高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并混合

*2.10 扫描模式：TV扫描(扫描速度不低于25帧/秒)，慢扫描，用于观察和记录

2.11 操作/显示：PC/AT兼容，WindowsXP操作系统

2.12 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素

图像文件格式：BMP，JPEG，TIFF

2.13数据记录：胶卷号，加速电压，微米标尺，放大倍率，日期，时间，工

作距离

*2.14电子图像移动：±12μm (WD=8mm)

2.15真空系统：

2.15.1全自动真空系统

2.15.2真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室)

*2.15.3真空泵：分子泵×1台；机械泵1台；离子泵×3台

2.15.4保护：断电、漏电、真空保护

2.16 X射线能谱仪

2.16.1探测器制冷方式：电制冷型。

2.16.2探测器探头为硅漂移探头。

2.16.3有效探测器面积：≥30mm2。

2.16.4能谱可分析元素范围：Be4～U92。

*2.16.5能量分辨率（Mn-Ka）：优于129eV（投标时需提供原生产工厂检验证明文件）。 *2.16.6探头信噪比：18000：1（投标时需提供原生产工厂检验证明文件）。

2.16.7能谱定性定量分析软件，带图像系统，能进行线、面扫描。

2.16.8 电子数字图像最大清晰度至少满足4096×3200。

2.16.9 X射线成分图最大清晰度至少满足1024×1024。

2.16.10软件功能包括：电镜镜筒控制软件、块状样品能谱ZAF定量分析软件、谱图处理工具包、能谱图象与面分布（成分图）采集处理软件、能谱定量面分布（成分图）软件、能谱快速面分布（成分图）软件、能谱线扫描采集处理软件、快速智能面分布（全谱面分布）、扫描电镜样品台控制配件、防电镜图像漂移配件、高级粒度/相分析配件、元素侦探器、相簇分析配件、离线版分析软件、纳米材料类定量分析软件

2.11离子溅射仪

2.11.1最大样品直径60mm

2.11.2最大样品高度20mm

2.11.3镀金速率：35nm/Min

2.11.4电压0.4KV,最大溅射电流40mA

2.11.5工作真空度7Pa

2.11.6配有触摸屏，便于操作

2.11.7真空泵抽率135L/Min

3．标准附件、标准工具及选配件

3.1 标准附件及工具

按标准配置由厂家提供，并提供1年份备品备件、专用工具和消耗品1套。