氦质谱检漏技术与仪器的相关技术指标
氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明
氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。
该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。
背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。
1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。
首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。
接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。
最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。
文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。
1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。
同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。
通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。
2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。
其原理可以简要概括为以下几个步骤。
首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。
由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。
接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。
质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。
氦质谱检漏仪基本原理简介
氦质谱检漏仪基本原理简介氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。
是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。
双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。
并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。
在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。
仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。
使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。
(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。
②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。
ZQJ-542型氦质谱检漏仪说明 中科科仪 KYKY
吸枪模式下，只有吸枪阀和分子泵前级阀打开，如图 1-6 所示。
图 1-6 吸枪模式原理
4
KYKY
第一章 概述
ZQJ-542 氦质谱检漏仪
1.4 质谱室工作原理图
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作为探索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室，其工作原理如图 1-7 所示：钨制灯丝（5/6）发射出 来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦 气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛仑兹力作用产 生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。由 于磁场参数是固定的，只有调节加速电压就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过 隔离板上的窄缝打到放大器入口,这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子（H2+或 H1+，更小的离 子，重离子（N2 或 O2，更重的离子）分开了。氦离子流正比于容器中的氦分压。因此，对氦 离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
金属部件，铝合金灯丝支架，放大器与质谱室一体。
真空室：分析单元的真空室由轻合金制造，其中的方形槽可容纳电极。
抛光法兰：用来支撑离子源所用的电机和电子连接件，上面的支撑架用来安装离子源， 离子源由两部分构成，灯丝支架及由不锈钢制造的电子收集极，灯丝位置正好对准离化室的 入口。收集极、灯丝的设计之所以如此，是为了使离化室的温度保持在 400℃的恒温，以使得 气体分子经过灯丝时可以电离，离子源的灵敏度会由于检漏过程带来的污染而逐渐下降。
8 待机指示灯 9 排气指示灯 10 检漏指示灯 11 He 信号模拟输出显示 12 He 信号模拟输出指示灯 13 浮零指示灯 14 修正系数是否启动指示灯（适用于
氦检漏漏率及水检漏标准
1 范围本标准规定了压缩机泄漏的检测方法及泄漏的判定标准。
本标准适用于公司内所有压缩机的泄漏检测。
2 引用标准GB/T21360-2008 《汽车空调用制冷压缩机》。
3 名词备注压力：文中所指压力在未说明时均指表示压力氦检：指氦质谱检漏方法，文中简称氦检。
4 检漏方法包括水检漏和氦气检漏两种方法。
4.1 水检漏4.1.1水检漏漏率理论计算（气泡观察检漏）气泡检漏法适用于允许承受正压的容器、管道、零部件、密封元件等的气密性检验。
在被检件内充入一定压力的示漏气体后放入清洁水中, 气体通过漏孔进入周围的液体形成气泡, 气泡形成的地方就是漏孔存在的位置, 根据气泡形成的速率、气泡的大小以及所用气体和清洁水的物理性质,计算出漏孔的泄漏率。
图示1如图1 所示,当气泡在液面以下一定深度h时，测得气泡的直径为D, 此时, 气泡内的压力P b为大气压力P a、漏孔所处位置的液体压力Qgh 和清洁水表面张力R 引起的压力4R/D之和，即：气泡1内压力P b=P a+Qgh+4R/D （Mpa）（式4-1）式中：P b －气泡内的压力（Mpa ）；Qgh －液体压力（Mpa ）；R －液体的表面张力（N/M 2）；D 为气泡直径（M ）。
如图1所示，当气泡在液面或接近液面时，气泡内的压力Pb 为大气压力Pa 和清洁水表面张力R 引起的压力4R/D 之和，即：P b =P a +4R/D （Mpa ） （式4-2）气泡内的体积L ′=πD ³/6 （M 3） （式4-3） 漏率计算按照“阿弗加德罗定律”计算漏率Q ，并代入式4-2和4-3，即： Q=PV=P b *L ′=（P a +4R/D ）*πD ³/6*n （Mpa* M 3/min ） （式4-4） 式中：n 为气泡的频率 （1/min ）；R 取20度时的水张力0.0728（N/M ）。
根椐公式：PV=nRT （式4-5） 查表得：n=1/102=0.00980(质量分数1/g)；R=8.31 （气体常数pa* M 3/S ）；T=293.15 （20℃的绝对温度K ）。
氦检漏漏率及水检漏标准
氮检漏漏率及水检漏标准1范围本标准规定了压缩机泄漏的检测方法及泄漏的判定标准。
本标准适用于公司内所有压缩机的泄漏检测。
2引用标准GB/T21360-2008 《汽车空调用制冷压缩机》。
3名词备注压力：文中所指压力在未说明时均指表示压力氦检：指氦质谱检漏方法，文中简称氦检。
4检漏方法包括水检漏和氦气检漏两种方法。
4.1水检漏4.1.1水检漏漏率理论计算（气泡观察检漏）气泡检漏法适用于允许承受正压的容器、管道、零部件、密封元件等的气密性检验。
在被检件内充入一定压力的示漏气体后放入清洁水中，气体通过漏孔进入周围的液体形成气泡，气泡形成的地方就是漏孔存在的位置，根据气泡形成的速率、气泡的大小以及所用气体和清洁水的物理性质，计算出漏孔的泄漏率。
图示1如图1所示,当气泡在液面以下一定深度h时，测得气泡的直径为D,此时，气泡内的压力P b为大气压力P a、漏孔所处位置的液体压力 Qgh和清洁水表面张力R引起的压力 4R/D 之和，即：气泡 1 内压力 P b=P a+Qgh+4R/D （Mpa ）（式4-1）式中：P b —气泡内的压力（Mpa ）;Qgh —液体压力（Mpa ）；R —液体的表面张力（N/M2）; D 为气泡直径（ M ）。
如图 1 所示，当气泡在液面或接近液面时，气泡内的压力 Pb 为大气压力 Pa 和清洁水表面张力 R 引起的压力 4R/D 之和，即： P b=P a+4R/D （Mpa）（式4-2）气泡内的体积L =n D3/6 （M3）（式4-3）漏率计算按照“阿弗加德罗定律”计算漏率Q,并代入式4-2和4-3,即：Q=PV=P b*L = （P a+4R/D ） * n D3/6*n （Mpa* M 3/min ）（式4-4）式中：n为气泡的频率（1/min ）;R 取 20度时的水张力 0.0728（N/M ）。
根椐公式： PV=nRT （式 4-5）查表得：n=1/102=0.00980（质量分数 1/g）;R=8.31 （气体常数 pa* M3/S）；T=293.15 （20C的绝对温度 K ）。
氦质谱检漏仪检漏标准
氦质谱检漏仪检漏标准
氦质谱检漏仪广泛用于发现贵重设备和系统中微小或难以访问的泄漏，它是一种高灵敏度的检测技术，能够检测到极小的气体泄漏。
具体的检漏标准如下：
1. 默认泄漏率：在正常操作条件下，当系统内压力为1.33×10^-5 Pa（0.1 torr）时，泄漏率不得大于1×10^-6 Pa·m^3/s（1×10^-8 mL/s）。
2. 类别1泄漏率：对于容积大于50 L，1.33×10^-5 Pa（0.1 torr）以下的泄漏检测，泄漏率应不大于1×10^-6 Pa·m^3/s（1×10^-8 mL/s）。
3. 类别2泄漏率：对于容积在10L~50L的系统，1.33×10^-5 Pa（0.1 torr）以下的泄漏，泄漏率应不大于5×10^-7 Pa·m^3/s（5×10^-9 mL/s）。
4. 细微泄漏率：对于容积小于10L的系统，检测细微泄漏时，泄漏率应不大于1×10^-7 Pa·m^3/s（1×10^-9 mL/s）。
值得注意的是，氦质谱检漏仪的泄漏标准是依据欧洲和美国的相关安全规范制定的，在国内生产环境中可能存在些许差异，具体标准应在实际生产中结合相关国家的标准进行调整。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍一、原理氦质谱检漏仪的原理基于质谱技术。
质谱技术是一种将样品原子或分子离子化并加速到特定质量的仪器分离和检测方法。
在氦质谱检漏仪中，首先将氦气引入被测系统中，然后利用真空泵将系统抽成高真空状态，此时如果系统存在泄漏，氦气会从泄漏点进入真空室。
接下来，仪器将氦气离子化并加速，然后将其通过质谱仪进行分离和检测。
质谱仪按质量对氦离子进行分离，只保留本离子，其他离子则被排除在外。
最后，通过测量离子的电流，就可以确定氦气的浓度，从而判断系统是否有泄漏的情况。
二、使用方法1.准备工作：将氦气瓶连接到仪器中，确保连接紧固，打开氦气瓶阀门。
2.开机操作：按下电源开关，等待仪器启动并进入工作状态。
此时，仪器会进行自检，并显示相关的信息。
3.设置参数：根据需要，设置仪器的工作参数，如离子加速电压、离子电流等。
这些参数的设定会影响仪器的灵敏度和分辨率。
一般来说，根据被测系统的特点和泄漏的排查需求来确定。
4.测试操作：将仪器探头移至被测系统周围，并尽量靠近可能存在泄漏的区域。
慢慢移动探头，直到仪器探测到氦气浓度的变化。
此时，仪器会发出声音或显示信号，以提示泄漏处的位置。
5.结果判断：根据仪器显示的信号确定泄漏点，可以通过仔细观察和移动探头来进一步定位泄漏。
6.数据记录：记录泄漏点的位置、泄漏大小以及检测时间等信息，便于后续处理和跟踪。
三、相关介绍1.灵敏度：氦质谱检漏仪具有非常高的灵敏度，可以检测非常微小的氦气泄漏。
一般来说，它可以检测漏率为10^-9至10^-12毫升/秒的泄漏。
2.应用范围：氦质谱检漏仪广泛应用于各个领域，如航空航天、化学工业、电子、制药等。
在这些领域，确保系统的密封性非常重要，而氦质谱检漏仪的高灵敏度和精确度可以满足这些需求。
3.优点：氦质谱检漏仪的优点包括操作简单、快速、准确，具有高灵敏度和分辨率，可以定位并确定泄漏点。
4.注意事项：在使用氦质谱检漏仪时，需要保证被测系统处于高真空状态，以确保准确的检测结果。
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。
其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。
具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。
2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。
3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。
4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。
5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。
6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。
7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。
需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。
此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。
氦质谱检漏仪标准
氦质谱检漏仪的标准包括以下方面：氦质谱检漏仪应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于110-10mbarl/s。
特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于110-9mbarl/s。
阀座测漏法测定的泄漏率不得大于110-6mbarl/s。
外向测漏法测定的泄漏率不得大于110-6mbarl/s。
对于某些高纯度气体，如硅烷、磷烷等，其氦检漏试验的标准可能要求气体管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送气。
总之，氦质谱检漏仪是一种高精度、高灵敏度的检漏仪器，具有操作简单、样品无损、应用范围广等优点。
在应用过程中，要结合具体应用场景和要求来选择合适的氦质谱检漏仪，并严格遵守相关标准进行操作。
氦质谱检漏技术
真空检漏
概述
2
漏的危害性 1破坏真空设备或真空器件的工作真空度 2破坏仪器设备内部的工作压力 3使储存的高压气体或燃料损失 4对器件内部造成污染。 5污染大气环境
3
检漏的根底知识 漏孔大小的最直观的表示方法是： 〔1〕漏孔的几何尺寸 〔2〕单位时间内流过漏孔气体的质量或分子数。 尺寸是难以测量的 气体质量与分子个数也难以直接测量，那么用什么方法来表示漏孔的大小呢？
39
抽速S无关，仅仅取决于管道的流导。这时如采用大抽速的泵，实际上是不必要的，只会带来 浪费。
由以上讨论可知，管道的流导C在气体流动现象中有重要作用。
40
甲：真空机组中泵抽速的选择配合 在串联使用的各泵之间，不但极限真空要有一定的要求，抽速之间也应有合理的配合，以发挥
每个泵的应有效能。各泵抽速之间的关系，可根据流量恒定关系予以确定。 设S1为主泵的抽速，S2为前置泵的抽速；P1为工作时主泵的进口压强，P2为前置泵的进口压
例如：某只电子管，其内腔容积为0.1L，封离时的压力P0为1*10-7帕，电子管正常工作的
最高压力P1为1*10-3帕，要求器件保存和工作的时间T为50000H。那么，该电子管允许漏
率应为
[Ql]=(1/10)V〔P1-P0〕/T=3.6*10-14帕升/秒
17
真空检漏法 真空计检漏法〔目前还有些用户在使用〕 工作原理 它们的读数与气体种类有关，选用适当的气体作为示漏气体，这些真空计就是很好的探测器。
强。那么主泵的抽除量为P1S1。前
41
级泵的抽除量为P2S2。在稳定流动时，两者应相等，故有
P1S1=P2S2
S2=P1S1/P2
即前级泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值P1/P2。因常有P2〉P1，故S2<S1, 即前级泵抽速比主泵抽速为小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为10-5托，机械泵为10-2托， 那么
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
氦质谱检漏仪 技术要求
氦质谱检漏仪技术要求篇一【氦质谱检漏仪技术要求】哎呀，咱今天就好好聊聊这氦质谱检漏仪的技术要求。
为啥要整这些要求呢？你想想看，要是这仪器不靠谱，那咱们的工作不就抓瞎啦？先说这检漏的精度要求，这可是关键中的关键啊！咱得保证它能检测到最小泄漏率低于 1×10⁻¹² Pa·m³/s ，这可不是闹着玩的，要是精度不够，那小漏咱都发现不了，后面麻烦可就大了去了！**这精度要求达不到，那还检个啥漏啊？**再说说响应时间，它得快！不能磨蹭，得在 2 秒以内给出响应。
你说要是响应慢腾腾的，等它反应过来，黄花菜都凉了！**这响应时间慢，能行吗？**还有重复性，每次检测的结果得差不多才行，误差不能超过5%。
不然今天测一个样，明天又一个样，这不把人搞晕啦？操作界面也得友好，不能让人看着就头疼。
按钮标识得清楚明白，菜单设置得简单易懂，**难不成还让人拿着说明书一步一步对照着操作？**这仪器的稳定性也很重要，连续工作 8 小时以上，性能不能有明显下降。
要是干一会儿活就掉链子，那不是耽误事儿嘛！咱为啥要提这些要求？还不是为了能高效、准确地检测泄漏，保证产品质量，提高工作效率嘛！要是达不到这些要求，那后果可严重了，产品可能不合格，客户不满意，咱们的饭碗都可能保不住喽！篇二【氦质谱检漏仪技术要求】嘿，伙伴们！今天来谈谈氦质谱检漏仪的技术要求，这可关乎着大事儿呢！为啥要有这些要求？很简单啊，咱们得保证检测的准确性和可靠性，不然就是瞎忙活。
首先，分辨率得高！至少要达到1×10⁻⁷Pa·m³/s ，这意味着啥？就是再小的泄漏它也能给咱揪出来！**你说要是分辨率低了，能行吗？**仪器的检测范围也不能小，从 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 到 1×10⁻² Pa·m³/s 都得能覆盖。
范围小了，有些大漏小漏就测不了啦。
压力容器氦质谱检漏法介绍
被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。
采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。
检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。
2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。
当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。
3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。
检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。
用这种方法测得的漏率也是总漏率。
图1－7为背压法检漏示意图。
4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。
检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。
氦质谱检漏仪工作参数
氦质谱检漏仪工作参数
氦质谱检漏仪是一种常用于检测密封件和容器泄漏的仪器。
其工作参数包括以下几个方面：
1. **检测灵敏度（Leak Detection Sensitivity）**：是指仪器能够检测到的最小泄漏速率，通常以标准气体氦（He）为例，单位一般为毫升/秒。
2. **泄漏检测范围（Leak Detection Range）**：该参数表示仪器能够检测的泄漏量的范围。
通常以不同的单位表示，包括毫升/秒、立方厘米/分钟等。
3. **响应时间（Response Time）**：指仪器检测到泄漏后产生警报或显示结果所需的时间。
4. **泄漏定位精度（Leak Location Accuracy）**：表征在泄漏检测过程中，仪器可以精确定位泄漏的能力。
5. **氦气检测液体（Helium Detection Gas）**：氦质谱检漏仪使用氦气作为检测气体，因此氦气的纯度、流量等参数是关键的工作参数。
6. **环境要求（Environmental Requirements）**：包括工作温度、工作湿度等环境要求，以保证仪器的正常工作。
以上参数可能会根据具体的仪器型号和制造商而有所不同。
在使用氦质谱检漏仪时，需要仔细阅读相关的使用说明书和操作手册，以确保正确操作和准确的泄漏检测结果。
如果您有特定型号的氦质谱检漏仪，建议查阅相关的制造商提供的技术资料，以获取更详细的工作参数信息。
氦质谱检漏仪测试使用规范
氦质谱检漏仪1．本规范是氦气质谱检漏仪的使用和保养的技术指导规范2．概述质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。
其技术参数如下：型号：SFJ-211B最小可检漏范围：漏率显示范围：吸枪长度：探头直径：制造标准：渗氦型真空校准漏孔：校准标准：3．使用方法a.实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。
插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽真空15分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。
b.按下检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。
c.将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。
也可以根据客户要求进行测试。
4．注意事项a.在使用过程中，不允许开风扇或者有引起空气流动的动作。
b.在测试进行一个小时后，应在标漏一次。
c.设备必须在停止状态下才能松开卡箍。
d.真空校准漏孔在使用时不要磕碰、用力甩动。
e.吸枪使用时不要有污垢堵住探头口，延长线不要弯折、打结。
f.每次嗅探中途停止时，应按下停止键。
g.非测试人员不得操作设备。
5．设备保养每次使用完设备后应将机器擦拭干净、吸枪接头松开、盖上卡箍盖，用卡箍拧紧。
吸枪绕好，放在设备上方，拔掉电源线，盖上透明塑料袋。
将渗氦型真空校准漏孔收到专门的盒子内。
安徽氦检漏标准
安徽氦检漏标准
根据《安徽氦检漏技术标准》（AH/TD 1001-2007）规定，安徽省内的氦检漏工作应遵循以下标准：
1. 氦检漏设备要求：使用符合国家标准的氦质谱检漏仪器，具备良好的灵敏度和稳定性；
2. 氦检漏操作要求：操作人员应熟悉氦检漏仪器的使用方法，合理设置检漏参数，确保检漏结果的准确性；
3. 检漏环境要求：检漏现场应确保密封，无风、无扬尘、无其他干扰物质的存在，以确保氦气的浓度稳定；
4. 检漏样品要求：被检漏物体应充分清洁，并与氦气源相连，确保氦气可以充分渗透并暴露漏洞；
5. 氦检漏报告要求：检测完毕后，应生成详细的氦检漏报告，包括被检漏物体的名称、漏洞位置和大小、检测结果评价等信息；
6. 安全要求：操作人员应严格遵守安全操作规程，确保操作过程中无泄露和安全事故发生。
此外，根据具体应用领域和要求，还需参考相关行业标准和技术规范。
氦质谱检漏国际标准
氦质谱检漏国际标准摘要：1.氦质谱检漏技术的概述2.氦质谱检漏国际标准的意义3.氦质谱检漏国际标准的制定与实施4.我国在氦质谱检漏国际标准方面的贡献和应用正文：一、氦质谱检漏技术的概述氦质谱检漏技术是一种用于检测真空系统中微小泄漏的高灵敏度方法，其基本原理是利用氦气作为示踪剂，通过质谱分析检测系统中的氦浓度，从而准确定位泄漏位置。
该技术在科研、生产和工业领域具有广泛应用，尤其在航空航天、核工业、半导体制造等领域具有重要意义。
二、氦质谱检漏国际标准的意义氦质谱检漏国际标准的制定对于保证检测技术的准确性、可靠性和互换性具有重要意义。
国际标准可以统一不同国家、地区和组织在氦质谱检漏技术方面的要求，有助于提高检测设备的质量、降低成本，并促进国际间的技术交流与合作。
三、氦质谱检漏国际标准的制定与实施氦质谱检漏国际标准的制定主要由国际标准化组织（ISO）负责，具体分为以下几个阶段：1.前期调研：对氦质谱检漏技术的现状、发展趋势和应用需求进行全面调查，明确标准的制定目标和范围。
2.标准起草：在充分调研的基础上，由专家组起草标准草案，并经过多轮讨论和修改。
3.征求意见：在标准草案初步完成后，向各国相关机构、企业和专家征求意见，以确保标准的科学性、合理性和适用性。
4.标准发布：在征求意见并进行修改后，国际标准化组织将正式发布氦质谱检漏国际标准。
5.标准实施：各国根据国际标准，对本国的氦质谱检漏技术进行改进和完善，并推广应用。
四、我国在氦质谱检漏国际标准方面的贡献和应用我国在氦质谱检漏技术方面具有较强的研究实力和应用经验，积极参与了国际标准的制定工作，并在实际应用中取得了显著成果。
此外，我国还加强了与国际标准化组织的合作，推动了氦质谱检漏技术的发展和国际标准的实施。
总之，氦质谱检漏国际标准的制定和实施对于保证检测技术的准确性、可靠性和互换性具有重要意义。
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书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
氦质谱检漏技术与仪器的相关技术指标
氦质谱检漏仪的工作原理
氦质谱检漏仪是一种用来检漏的对比仪器。
它是一种质谱分析仪,检漏时以氦气作为示踪介质,当氦气与其它气体一同进入仪器内部时即被电离,并在质谱室的电磁场中作圆周运动;由于各种气体的质量不一样,因而形成许多束圆半径不一样的电子流,其中只有氦子流可被接收,经放大后在仪器的输出表上显示一个电量,进入的氦气越多,显示的电量越大。
工件检漏时,可以用不同的方式将工件与检漏仪连接在一起,使氦气通过工件漏孔并进入检漏仪。
检漏仪上只有电量显示,但相应的电量相当于多大的漏率还不知道。
为此,可以用一支已知漏率的漏孔(习惯上称作标准漏孔) ,将它与检漏仪连接在一起,使通过标准漏孔的氦气也在检漏仪上有一电量显示。
以标准漏孔显示的电量作为基准,与工件检漏时在检漏仪上显示的电量作比对,再参照其它因素,按一定的公式即可算出工件的漏率。
这是确定工件漏率的基本方法。
但有一点应特别强调,被检工件的漏孔所处的检漏条件应与标准漏孔所处的检漏条件相同,这样它们在检漏仪上显示的电量才好进行比对, 以计算工件漏率的大小。
检漏技术与仪器的相关技术指标
随着航天技术的发展,检漏技术也在不断取得进步。
目前比较成熟的检漏方法有喷吹法、氦罩法、充压法、吸枪法、探漏盒法、累积检漏法、背压法及四极质谱检漏法。
各种方法都有其特点及适用条件。
在检漏实践中,由于我们所遇到的被检器件的结构、大小、要求等各不相同,如何根据这些特定的条件选择检漏方法,这是检漏工作人员必须解决的首要问题。
因此,了解各种检漏方法及其特点,熟练地运用它们来满足被检器件的检漏要。