20111129-XPS课程-数据处理及分峰步骤介绍

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X射线光电子能谱数据处理及分峰步骤

2011.11.29

XPS结果说明

XPSPeak分峰软件•

•打开;

数据分四列,一般用第二列和第三列的值•

数据导入:XLS 格式TXT 格式

删除

荷电校正值•

C 1s分峰拟合-step 1•

C 1s分峰拟合-step 2•

C 1s分峰拟合-step 3

(ASCII),导入处理后TXT格式的C 1s数据,出现Region 1窗口,得到原始谱线(蓝色)

C 1s分峰拟合-step 4-1

•蓝色黑色

C 1s分峰拟合-step 4-2•

¾

¾

¾

¾

于信号强度

C 1s分峰拟合-step 5-1•

黑色

红色

红色

C 1s分峰拟合-step 5-2•

¾

¾

¾

¾

¾

¾

C 1s分峰拟合-step 5-3•

¾

¾

¾

¾

C 1s分峰拟合-step 6

C 1s分峰拟合-step 7

C 1s分峰拟合-step 8

C 1s分峰拟合-step 9•

分峰拟合举例1-O 1s

分峰拟合举例2-Cu 2p

分峰需要注意•

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