反射镜-金膜平面反射镜
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
技术指标
材料
光学膜
面精度测量法
面精度测量用波长平行度
表面质量
有效尺寸范围
尺寸公差BK7
Pyrex(派来克斯)
硅晶
Cr＋Au (铬膜＋金膜)
采用ZYGO公司激光干涉仪测量基板632.8 nm
≤3分
60－40
实际尺寸的90%
直径或尺寸＋0〜－0.1 mm
厚度±0.1 mm
反面：毛面，或光面
形状：圆形，或正方形正面：Cr＋Au