半导体载流子浓度

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系统费米能级愈低,温度愈高,则价带中的空穴浓度就愈高。 *例GSv意i,义30:0K如下果,将G所v=有2.6空6穴10集19中cm在-3。价带顶,其状态密度应为G6v。
讨论I
n G e(Ec EF )/ kBT c
p G e(EF Ev )/ kBT v
Gc
2
2m* n
•能量越高,空穴占据几率越大。反之,占据几率小。
空穴和电子的费米分布函数相对与费米能级成镜像。高电
子能量对应低空穴能量。
1
与金属不同,半导体费米能级通常在禁带之中,因此对于本 征半导体或低掺杂半导体,载流子的能量通常满足:
E EF kBT , 对于导带电子 EF E kBT , 对于价带空穴
2
载流子浓度求解思路
E
EC
Eg
k
导带电子浓度

n f (E)g(E)dE Ec
单位体积dE 区间电子数
单位体积dE 能量区间量 子态数
费米分布函数(退化为玻耳兹曼分布)。已解决!!
单位体积态密度函数g(E)?
3
导带底和价带顶能态密度
半导体中载流子主要集中在导带底和价带顶附近,采用自由
3/ 2
e Ev ( EF E ) / kBT

EV EdE
p 2
2m* p
k
BT
h3
3/ 2
e( EF Ev ) / kBT
(2
定义价带顶有效状态密度Gv: Gv 2
mpkBT )3/ 2 h3
则价带空穴浓度:
p G e(EF Ev )/ kBT v
EF

Ec
kBT
ln
Gc ND
Ec EF
Ev 本征半导体
n p ni
GcGv
exp(
Eg 2kBT
)
Ec
EF
Ev
p型半导体
p NA(完全电离) n ni2 / N A
EF

Ev
kBT
ln
Gv NA
n G e(Ec EF )/ kBT
c

p G e(EF Ev )/ kBT v Eg
np GcGve kBT ni2
适 公 式
16
17
杂质的补偿作用
当半导体内部同时存在施主和受主时,完全电离且 ︱NA-ND︱远大于本征载流子浓度ni时,半导体内载 流子浓度:
当NA>ND,p型, pp=NA-ND,np=ni2/(NA-ND) 当ND>NA ,n型,nn=ND-NA,pn=ni2/(ND-NA)
低温弱电离区:
p
N G e 1/ 2 EI / 2kBT Av
EI EA Ev
高温完全电离区: p N A
Ec
Ei
EF
Ev
p型半导体
EF

Ev
kBT ln
Gv NA
•费米能级接近价带底。
15
小结
Ec EF
Ev n型半导体
n ND (完全电离) p ni2 / ND
13
N型半导体费米能级
完全电离情况: n ND
导带电子浓度一般表达式:
n G e(Ec EF )/ kBT c
EF

Ec
kBT
ln
Gc ND
EF
Ec
•费米能级接近导带底。
Ei
•温度升高,费米能级向Ei
Ev
靠近。
n型半导体
14
P型半导体载流子浓度和费米能级
•P型半导体,受主浓度为NA。
9
本征半导体载流子浓度
本征半导体载流子浓度:简称本征载流子浓度ni。
n p ni
Eg
pn GcGve kBT ni2
n p ni
GcGv
exp(
Eg 2kBT
)
•材料禁带宽度越小,本征载流子浓度越大。温度升高,ni越 大。
•本征载流子浓度ni同样为材料基本常数(当然需指明温度)。 如室温下,Si:ni=9.65109cm-3; GaAs:ni=2.25106cm-3。 10
4ND Gc
eEI
/ kBT

2 eEI / kBT

1
1
2ND Gc
eEI
/ kBT


2 eEI / kBT
2ND eEI / kBT Gc 2 eEI / kBT
ND
Gc
Gc
Gc
导带电子数将接近于施主数,即施主几乎完全电离。
根据电中性条件:n=ND-nD。一般施主杂质电离能较低,温 度足够高时,施主完全电离,nD=0,显然有n=ND。(这里忽略 本征激发影响,过高温度时影响显著。)
7
讨论II
n G e(Ec EF )/ kBT c
p G e(EF Ev )/ kBT v
Ec Ev
Eg
n p GcGve kBT GcGve kBT
热平衡态下,载流子浓度乘积只依赖温度而与费米能无关。 ------质量作用定律。
换句话说,一定温度下,电子和空穴的浓度乘积只与材料类 型有关,而与是否掺杂无关。带隙越小,乘积越大。
1/ 2
n

1
1
4ND Gc
eEI
/ kBT

2 eEI / kBT
Gc
低温弱电离区
温度很低的情况下, 4ND eEI /kBT 1
Gc
1/ 2
1/ 2
n

1
1
4ND Gc
eEI
/ kBT

2 eEI / kBT

2
ND Gc

1 fn (E) e(EEF )/kBT 1
fn (E) e(EEF )/ kBT
1 f p (E) e(EF E)/ kBT 1
f p (E) e(EF E)/ kBT
量子的费米分布退化为经典的玻耳兹曼分布。
原因:导带电子和价带空穴的占据几率远小于1,泡利不 相容原理限制消弱。
较高浓度的杂质决定半导体的传导类型
18
eEI / 2kBT
2 eEI / kBT

N G e 1/ 2 EI / 2kBT Dc
Gc
Gc
电子浓度随温度 升高指数增加--施主随温度升高 逐渐电离。12
高温完全电离区
由于Gc与T3/2成正比,当温度足够高,则有:
4ND eEI / kBT 1 Gc
1/ 2
n

1
1
本征或非本征半导体,质量作用定律同样适用。
本征半导体,n=p;N型半导体,施主掺杂使n增大,p减小,
n>p。P型半导体,受主掺杂使p增大,n减小,p>n。
8
本征半导体费米能级
本征激发:价带电子直接激发到导带产生载流子 (电子和空穴)。
导带
E
Ei
g
价带
本征激发过程中的电中性条件:
n p
G e G e (Ec EF )/ kBT c
半导体载流子的统计分布
半导体载流子包括导带电子和价带空穴。热力学平衡下, 导带电子满足费米分布:
1 fn (E) e(EEF )/kBT 1
•能量越高,电子占据几率越小。反之,占据几率大。
价带空穴就是电子的欠缺,因此能量为E的状态不被电子 占据的几率就是空穴的占据几率:
1
1
f p (E) 1 fn (E) 1 e(EEF )/ kBT 1 e(EF E)/kBT 1
N型半导体载流子浓度
杂质激发:施主能级电子激发至导带或受主能级空穴激发至 价带。
设N型半导体,施主能级位置为ED,施主浓度为ND,受主浓 度NA=0。在足够低的温度下,载流子将主要是由施主激发 到导带的电子。用n代表导带电子浓度,则电中性条件为:
n ND nD
nD为施主能级上电子浓度,同样满足费米分布: 1
V
2
2

2m* n 2
3/ 2
E Ec
单位体积导带底能态密度:
gc (E)

1
2 2

2m* n
2
3/ 2
E Ec
单位体积价带顶能态密度:
gv(E)
1
2 2

2m* p
2
3/ 2
Ev E
4
导带电子浓度
导带电子占据几率随能量E的增大按玻耳兹曼规律迅速减少,
( EF Ev ) / kBT v
本征半导体费米能级(称为本征费米能级,Ei):
EF
Ei

Ec Ev 2
kBT 2
ln (
Gv Gc
)
Ec
Ev 2
3kBT 4
ln (
m*p mn*
)
Ec Ev 2
•本征费米能级Ei非常靠近禁带中央。随温度改变。
•本征费米能级Ei为材料基本参数。
电子近似,能谱:
导带底:
E(k)
Ec

2k 2 2mn*
价带顶:
E(k)
Ev

2k 2 2m*p
mn*为导带底电子有效质量;mp*为价带顶空穴有效质量。
导带底能态密度:
gV
(E)

2V
(2 )3
dS k E

2V

m* n
4k 2
(2 )3 2k
Vm*

n
22
k
k
BT
h3
3/ 2
Gv

2
(2
mp kBT h3
)3
/
2
以上电子和空穴浓度表达式对本征和非本征半导体均适用。
影响电子和空穴浓度的因素:材料类型;温度;费米能级。
温度越高,空穴和电子浓度越大。------热激发。
费米能级越高,电子浓度越大,空穴浓度越小。反之亦然。
费米能级待确定------依赖掺杂杂质浓度和类型。
主要集中在导带底附近,故其浓度可表示为:
n

fn (E)gc (E)dE
2
2mn*kBT
h3
3/ 2
e(Ec EF ) / kBT
Ec
令:Gc
2
2m* n
k
BT
h3
3/ 2
Gc称为导带底的有效能态密度。
n G e 导带电子
浓度:
( Ec EF ) / kBT c
在热平衡情况下,系统费米能级愈高,温度愈高,则导带中 的电子浓度就愈高。
*Gc意义:如果所有导带电子集中在导带底Ec,则其状态密
度应为Gc。例Si,300K下,Gc=2.861019cm-3。
5
价带空穴浓度
Ev
p f p (E)gv (E)dE

1
2 2
Байду номын сангаас
2m* p
2
nD ND e(ED EF )/ kBT 1
1 n ND ND e(ED EF )/ kBT 1
n G e(Ec EF )/ kBT c
n, EF
11
上两式消去eEF/kBT,可得:
n2eEI / kBT n Gc NDGc 0
其中EI = EcED代表导带底与施主能级之间的能量差,即施主 的电离能。上式可求出导带电子浓度:
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