皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
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仪器配有 2 米电源线。如电源线与您的系统不兼容,请使用自带 接地保护的电源线。
插座必须用额定值为 10 安最大的保险丝保护
电源开关/插座 参照 EN 61010-1标准
如仪器安装在开关柜中, 应通过中央配电箱进行供电,以及开启 /关闭电源。
14
tinb14c1 (2009-07)
仪器保护接地
在真空计后面板上,已配备一个接地螺丝用于将仪器接地,用 来保护仪器。请使用导线在此与接地设备相连接。
9
测量值 测量范围 (空气, O2, CO, N2)
测量误差 增益误差 偏移误差
测量率 显示率 筛选时间常数 压强单位
真空规管电源 电压 电流 功耗 保险丝保护
真空计开关控制功能 数量 反应时间
控制范围 滞后
5×10-4 … 1000 毫巴(mbar) (+1.9 … +10.0 伏 直流) (→ [1])
≥10% 测量值
10
tinb14c1 (2009-07)
开关继电器参数 触点类型 最大负荷
使用寿命 机械 电
触点位置 连接口
模拟输出 数量 电压范围 内阻 测量讯号与压强的关系 连接口
浮动切换触点 60 伏直流, 1 安 (电阻型) 50 伏交流, 5 安 (电阻型)
108 个循环 105 个循环 (最大负荷下) → 17 后面板OUTPUT接口,9-脚 DSub、 插头型(接脚分配→ 17)
3 4 5
Off
值
开关阈值定义压强值, 当压强跌落 至这个压强值时,开关功能起作用。
(缺省值)
tinb14c1 (2009-07)
压强单位 测量值, 阈值等的单位。
值
mbar( 毫巴)/缺省 Torr(乇) Pa(帕)
tinb14c1 (2009-07)
25
5 维护及检修
产品无需维护。
PGD400真空计的清洁 使用稍润湿的棉布清洁 PGD400 的外壳,切勿使用任何腐蚀性或 摩擦性清洗剂。
tinb14c1 (2009-07)
3
目录
产品标识
2
有效性
2
用途
3
交货规格
3
1 安全
6
1.1 标志
6
1.2 人员要求
7
1.3 一般安全规则
7
1.4 责任和保修
8
2 技术参数
9
3 安装
12
3.1 控制柜安装方式
12
3.2 电源连接
14
3.3 规管(SENSOR)连接
15
3.4 信号输出(OUTPUT)连接
减至 50% 于 +40 °C 仅室内 最大海拔高度 2000 米 NN II IP20 (EN 60529)
1 PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
RJ45 (FCC68)、插座型 (接脚分配→ 16)
通过 3 个键
tinb14c1 (2009-07)
31
B: 参考文献
31
EC 一致性声明
32
符号 (→ XY): 详细信息参照第XY页 符号 (→ [Z]):详细信息见参考文献[Z]
tinb14c1 (2009-07)
5
1 安全
1.1 标志
危险 有关防止危及任何人身安全的信息。
警告 有关防止设备和环境损伤的信息。
注意 有关正确掌握使用的信息. 不注意将导致故障或设备受损。 其它标志
贮存 工作 相对湿度
使用
污染级别 保护等级 兼容真空规管
数量 兼容型号
真空规管连接 后面板SENSOR接口
操作 前面板
100 … 240 伏 交流 50 … 60 Hz ≤30 伏安 II 1 欧洲仪表连接标准:IEC 320 C14
–20 … +60 °C + 5 … +50 °C
≤80% 高至 +31 °C,
皮拉尼真空计
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时,请告知产品标牌上的信息。为便于参考, 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
1 0 … +10 V 660 Ω 对数,1.286 伏/量级 后面板OUTPUT接口,9-脚 DSub、 插头型(接脚分配→ 17)
尺寸 [毫米]
安装方式 控制柜安装
重量
0.85 公斤
tinb14c1 (2009-07)
11
3 安装
危险 危险:产品损坏。 运行损坏的产品将是十分危险的。 一旦发现损坏,须将产品退出运行。
危险 危险: 电源电压。 任何液体渗入仪器时,接触带电部件是十分危险 的。 确保无液体渗入设备中。
26
tinb14c1 (2009-07)
6 故障查找
误差信号
误差信息 状态信息
可能原因和解决方法 真空规管线路故障或连接中断。
更换真空规管或检查规管连接线。 可能原因和解决方法 真空规管灯丝损坏。
必须不超过允许的 最高室温 (→ 9) 并具备良好的通风。
为降低面板上的机械应力,应在适当位置对仪器进行支撑。 将 PGD400 滑入控制柜的开口中 …
… 接着用四个 M3 或等效的螺丝进行紧固。
tinb14c1 (2009-07)
13
3.2 电源连接
危险
危险: 线电压 确保产品已经安全接地,否则出现故障是十分危 险的.仅推荐使用带保护接地的 3 芯电源电缆 (3×1.5 毫米2)。 电源线插头必须插入带保护接地的插座中,不能使 用无保护接地的延伸电缆。
P/N:
S/N:
INFICON Instruments (Shanghai) Co.,Ltd.
有效性
本文件适用于货号为 398-800 的产品,货号 (P/N) 可从产品标牌 上看到。
本文件基于软件版本号 F-1.01。 如您的仪器未如本文中所述正常工作,请检查是否装备上述版本 号软件(→ 19)。
3.1 控制柜安装方式
PGD400适合于柜式安装。
危险 危险: 控制柜的保护等级 如产品安装在机架上, 很可能降低机架的保护等级 (对外来物体与水的防护) 例如按 EN 60204-1 有关 开关柜的规程。 对控制柜采取适当的措施,使它符合保护等级的 要求。
12
tinb14c1 (2009-07)
参照图示尺寸进行开口,并将PGD400 安装在控制柜上,
23
4.5.1 参数
开关阈值 PGD400 真空计有带可调节阈值的开关功能。开关的状态显示 在前面板上 (→ 18),开关触点动作信号通过后面板信号输出 (OUTPUT)接口 (→ 16) 输出。
测量值
滞后 (10% 阈值)
时间 t
压强 p
显示
开关
3 4 5
Off
例如: 24
功能
3 4 5
On
关闭PGD400真空计 电源开关拨至OFF将 PGD400真空计电源关闭 (如仪器安装在控制柜机架上, 应通过中央配电箱开关)。
在再次启动 PGD400 电源前,至少等待 10 秒钟 仪器本机初始化。
tinb14c1 (2009-07)
19
4.3 运行模式
PGD400真空计工作于下列运行模式:
• 测量模式 用于显示测量值或状态信息 (→ 21)
16
4 运行
18
4.1 前面板
18
4.2 PGD400 启动(On)与关闭(Off)
19
4.3 运行模式
20
4.4 测量模式
21
4.5 参数模式
22
4.5.1 参数
24
5 维护及检修
26
6 故障查找
27
7 检修
29
8 贮存
29
9 处置
30
4
tinb14c1 (2009-07)
附录
31
A: 缺省参数
1.4 责任和保修
对于下列情况,INFICON 将不再承担任何用户或第三方的责任 和保修: • 无视本操作手册中的信息; • 以不适当的方式使用产品; • 对产品进行任何种类的改变 (改装, 检修和拆卸等); • 使用未列入本操作手册中的附件;
8
tinb14c1 (2009-07)
2 技术参数
电压要求 电压 频率 功耗 过压Байду номын сангаас别 保护等级 连接 环境要求 温度
≤0.02% 全刻度 ≤0.05% 全刻度 30 / 秒 50 / 秒 150 毫秒 (fg = 1 Hz) 毫巴(mbar), 帕(Pa),乇(Torr)
+24 VDC ±5% 750 毫安 18 瓦 900 毫安带 PTC 元件, PGD400 电源关闭或规管连接线 断开后规管自复位
1 ≤10 毫秒如开关阈值接近于 测量值 (对较大的差别考虑 筛选时间常数)。 1×10-3 … 500 毫巴(mbar)
15
规管(SENSOR)接口接脚分配
8-脚 RJ45
18
的接脚分配:
脚 信号
4 识别 1 电源 2 电源公共 3 信号输入 5 信号公共 6 未连接 7 未连接 8 未连接
+24 伏直流
GND (测量信号+) (测量信号–)
3.4 信号输出(OUTPUT)连接
读取测量讯号功能、触发开关功能。
使用插座线(配备D-Sub-9插座)将需控制的部件与仪器 后面板的 OUTPUT 接口(D-Sub-9插头)进行连接,并 使用屏蔽电缆 (电磁兼容)。
0 … +10伏直流
3
压强低于
4
阈值
5
9 未连接 8 未连接
6 未连接 7 未连接
压强高于 阈值或 电源 off
tinb14c1 (2009-07)
17
4 运行
4.1 前面板
4.1 前面板
测量值:浮点/指数方式/状态信息
误差警告 开关状态 开关 ON
压强单位 操作键
18
tinb14c1 (2009-07)
16
tinb14c1 (2009-07)
危险
危险: 保护性低电压 按 EN 61010 规定, 电压超过 30 伏交流或 60 伏直 流是危险的。 仅连接保护性低电压 (SELV)。
信号输出(OUTPUT)接口接脚分配
插座型 9-脚 D-Sub 连接线 接脚分配:
51 96
脚 信号
1 模拟输出 2 机箱 = GND
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
(单位) 按下键或至少1 秒钟后显示, 接着,显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1; 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小;
保存修改的参数值;
tinb14c1 (2009-07)
3.3 规管(SENSOR) 连接
真空规管连接至仪器后面板的 SENSOR 接口,使用1:1 屏蔽电缆 (电磁兼容)。确保真空计是兼容的 (→ 9)。
危险
危险:保护性低电压。 按 EN 61010 规定, 电压超过 30 伏交流或 60 伏直 流 是危险的。 仅连接保护性低电压 (SELV)。
tinb14c1 (2009-07)
指示灯/显示屏亮。 指示灯/显示屏暗。 按键 (例如: '设定' 键)。 切勿按任何键。
6
tinb14c1 (2009-07)
1.2 人员要求
人员要求
本操作手册中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或 由产品最终用户授权的人员执行。
1.3 一般安全规则
遵守适当的规程和本操作手册中的安全规定,并对您要做的全 部工作采取必要的防护措施。
我们保留不事先通知技术修改的权利。
全部尺寸为毫米(mm)。
2
tinb14c1 (2009-07)
用途
PGD400 真空计与 INFICON PSG5xx 系列的皮拉尼标准真空规 管一起用于总压强测量。全部产品必须按照相关的操作手册进行 使用。
交货规格
PGD400皮拉尼真空计
x1
电源线
x1
操作手册
x1
危险 危险: 电源电压。 当任何液体渗入仪器时,接触带电部件是十分 危险的。 确保无液体渗入设备中。
tinb14c1 (2009-07)
7
电源的断开
电源开关/插座须置于一个易于用户识别和触及的位置。 必须拔下电源线才能将真空计完全断开电源。
电源开关/插座 参照EN 61010-1标准
将此安全规则告知所有使用人员。
4.2 PGD400启动(On)和关闭( Off)
确保 PGD400 真空计正确安装 ,并符合技术参数中的要求。
启动PGD400 电源开关在仪器后面板; 电源开关拨至ON将 PGD400 真 空计电源接通 (如仪器安装在控 制柜机架上,应通过中央配电箱 开关);
启动( On )后,PGD400 真空计将… • 自动执行本机测试 • 短暂显示软件版本号F-1.01(约为3秒) • 判别是否已连接真空规管 • 启用上次电源关闭( Off )前运行的参数 • 转换至测量模式
• 参数模式 用于设置或显示参数 (→ 22)
20
tinb14c1 (2009-07)
4.4 测量模式
测量模式是 PGD400真空计的标准运行模式。在这个模式中显 示测量值以及状态信息(→ 27)。
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21
进入参数模式
(→ 22)
4.5 参数模式
参数模式用于显示、设置和输入参数值。
插座必须用额定值为 10 安最大的保险丝保护
电源开关/插座 参照 EN 61010-1标准
如仪器安装在开关柜中, 应通过中央配电箱进行供电,以及开启 /关闭电源。
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仪器保护接地
在真空计后面板上,已配备一个接地螺丝用于将仪器接地,用 来保护仪器。请使用导线在此与接地设备相连接。
9
测量值 测量范围 (空气, O2, CO, N2)
测量误差 增益误差 偏移误差
测量率 显示率 筛选时间常数 压强单位
真空规管电源 电压 电流 功耗 保险丝保护
真空计开关控制功能 数量 反应时间
控制范围 滞后
5×10-4 … 1000 毫巴(mbar) (+1.9 … +10.0 伏 直流) (→ [1])
≥10% 测量值
10
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开关继电器参数 触点类型 最大负荷
使用寿命 机械 电
触点位置 连接口
模拟输出 数量 电压范围 内阻 测量讯号与压强的关系 连接口
浮动切换触点 60 伏直流, 1 安 (电阻型) 50 伏交流, 5 安 (电阻型)
108 个循环 105 个循环 (最大负荷下) → 17 后面板OUTPUT接口,9-脚 DSub、 插头型(接脚分配→ 17)
3 4 5
Off
值
开关阈值定义压强值, 当压强跌落 至这个压强值时,开关功能起作用。
(缺省值)
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压强单位 测量值, 阈值等的单位。
值
mbar( 毫巴)/缺省 Torr(乇) Pa(帕)
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25
5 维护及检修
产品无需维护。
PGD400真空计的清洁 使用稍润湿的棉布清洁 PGD400 的外壳,切勿使用任何腐蚀性或 摩擦性清洗剂。
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3
目录
产品标识
2
有效性
2
用途
3
交货规格
3
1 安全
6
1.1 标志
6
1.2 人员要求
7
1.3 一般安全规则
7
1.4 责任和保修
8
2 技术参数
9
3 安装
12
3.1 控制柜安装方式
12
3.2 电源连接
14
3.3 规管(SENSOR)连接
15
3.4 信号输出(OUTPUT)连接
减至 50% 于 +40 °C 仅室内 最大海拔高度 2000 米 NN II IP20 (EN 60529)
1 PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
RJ45 (FCC68)、插座型 (接脚分配→ 16)
通过 3 个键
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31
B: 参考文献
31
EC 一致性声明
32
符号 (→ XY): 详细信息参照第XY页 符号 (→ [Z]):详细信息见参考文献[Z]
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5
1 安全
1.1 标志
危险 有关防止危及任何人身安全的信息。
警告 有关防止设备和环境损伤的信息。
注意 有关正确掌握使用的信息. 不注意将导致故障或设备受损。 其它标志
贮存 工作 相对湿度
使用
污染级别 保护等级 兼容真空规管
数量 兼容型号
真空规管连接 后面板SENSOR接口
操作 前面板
100 … 240 伏 交流 50 … 60 Hz ≤30 伏安 II 1 欧洲仪表连接标准:IEC 320 C14
–20 … +60 °C + 5 … +50 °C
≤80% 高至 +31 °C,
皮拉尼真空计
PGD400
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操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时,请告知产品标牌上的信息。为便于参考, 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
1 0 … +10 V 660 Ω 对数,1.286 伏/量级 后面板OUTPUT接口,9-脚 DSub、 插头型(接脚分配→ 17)
尺寸 [毫米]
安装方式 控制柜安装
重量
0.85 公斤
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11
3 安装
危险 危险:产品损坏。 运行损坏的产品将是十分危险的。 一旦发现损坏,须将产品退出运行。
危险 危险: 电源电压。 任何液体渗入仪器时,接触带电部件是十分危险 的。 确保无液体渗入设备中。
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tinb14c1 (2009-07)
6 故障查找
误差信号
误差信息 状态信息
可能原因和解决方法 真空规管线路故障或连接中断。
更换真空规管或检查规管连接线。 可能原因和解决方法 真空规管灯丝损坏。
必须不超过允许的 最高室温 (→ 9) 并具备良好的通风。
为降低面板上的机械应力,应在适当位置对仪器进行支撑。 将 PGD400 滑入控制柜的开口中 …
… 接着用四个 M3 或等效的螺丝进行紧固。
tinb14c1 (2009-07)
13
3.2 电源连接
危险
危险: 线电压 确保产品已经安全接地,否则出现故障是十分危 险的.仅推荐使用带保护接地的 3 芯电源电缆 (3×1.5 毫米2)。 电源线插头必须插入带保护接地的插座中,不能使 用无保护接地的延伸电缆。
P/N:
S/N:
INFICON Instruments (Shanghai) Co.,Ltd.
有效性
本文件适用于货号为 398-800 的产品,货号 (P/N) 可从产品标牌 上看到。
本文件基于软件版本号 F-1.01。 如您的仪器未如本文中所述正常工作,请检查是否装备上述版本 号软件(→ 19)。
3.1 控制柜安装方式
PGD400适合于柜式安装。
危险 危险: 控制柜的保护等级 如产品安装在机架上, 很可能降低机架的保护等级 (对外来物体与水的防护) 例如按 EN 60204-1 有关 开关柜的规程。 对控制柜采取适当的措施,使它符合保护等级的 要求。
12
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参照图示尺寸进行开口,并将PGD400 安装在控制柜上,
23
4.5.1 参数
开关阈值 PGD400 真空计有带可调节阈值的开关功能。开关的状态显示 在前面板上 (→ 18),开关触点动作信号通过后面板信号输出 (OUTPUT)接口 (→ 16) 输出。
测量值
滞后 (10% 阈值)
时间 t
压强 p
显示
开关
3 4 5
Off
例如: 24
功能
3 4 5
On
关闭PGD400真空计 电源开关拨至OFF将 PGD400真空计电源关闭 (如仪器安装在控制柜机架上, 应通过中央配电箱开关)。
在再次启动 PGD400 电源前,至少等待 10 秒钟 仪器本机初始化。
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19
4.3 运行模式
PGD400真空计工作于下列运行模式:
• 测量模式 用于显示测量值或状态信息 (→ 21)
16
4 运行
18
4.1 前面板
18
4.2 PGD400 启动(On)与关闭(Off)
19
4.3 运行模式
20
4.4 测量模式
21
4.5 参数模式
22
4.5.1 参数
24
5 维护及检修
26
6 故障查找
27
7 检修
29
8 贮存
29
9 处置
30
4
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附录
31
A: 缺省参数
1.4 责任和保修
对于下列情况,INFICON 将不再承担任何用户或第三方的责任 和保修: • 无视本操作手册中的信息; • 以不适当的方式使用产品; • 对产品进行任何种类的改变 (改装, 检修和拆卸等); • 使用未列入本操作手册中的附件;
8
tinb14c1 (2009-07)
2 技术参数
电压要求 电压 频率 功耗 过压Байду номын сангаас别 保护等级 连接 环境要求 温度
≤0.02% 全刻度 ≤0.05% 全刻度 30 / 秒 50 / 秒 150 毫秒 (fg = 1 Hz) 毫巴(mbar), 帕(Pa),乇(Torr)
+24 VDC ±5% 750 毫安 18 瓦 900 毫安带 PTC 元件, PGD400 电源关闭或规管连接线 断开后规管自复位
1 ≤10 毫秒如开关阈值接近于 测量值 (对较大的差别考虑 筛选时间常数)。 1×10-3 … 500 毫巴(mbar)
15
规管(SENSOR)接口接脚分配
8-脚 RJ45
18
的接脚分配:
脚 信号
4 识别 1 电源 2 电源公共 3 信号输入 5 信号公共 6 未连接 7 未连接 8 未连接
+24 伏直流
GND (测量信号+) (测量信号–)
3.4 信号输出(OUTPUT)连接
读取测量讯号功能、触发开关功能。
使用插座线(配备D-Sub-9插座)将需控制的部件与仪器 后面板的 OUTPUT 接口(D-Sub-9插头)进行连接,并 使用屏蔽电缆 (电磁兼容)。
0 … +10伏直流
3
压强低于
4
阈值
5
9 未连接 8 未连接
6 未连接 7 未连接
压强高于 阈值或 电源 off
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4 运行
4.1 前面板
4.1 前面板
测量值:浮点/指数方式/状态信息
误差警告 开关状态 开关 ON
压强单位 操作键
18
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危险
危险: 保护性低电压 按 EN 61010 规定, 电压超过 30 伏交流或 60 伏直 流是危险的。 仅连接保护性低电压 (SELV)。
信号输出(OUTPUT)接口接脚分配
插座型 9-脚 D-Sub 连接线 接脚分配:
51 96
脚 信号
1 模拟输出 2 机箱 = GND
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
(单位) 按下键或至少1 秒钟后显示, 接着,显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1; 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小;
保存修改的参数值;
tinb14c1 (2009-07)
3.3 规管(SENSOR) 连接
真空规管连接至仪器后面板的 SENSOR 接口,使用1:1 屏蔽电缆 (电磁兼容)。确保真空计是兼容的 (→ 9)。
危险
危险:保护性低电压。 按 EN 61010 规定, 电压超过 30 伏交流或 60 伏直 流 是危险的。 仅连接保护性低电压 (SELV)。
tinb14c1 (2009-07)
指示灯/显示屏亮。 指示灯/显示屏暗。 按键 (例如: '设定' 键)。 切勿按任何键。
6
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1.2 人员要求
人员要求
本操作手册中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或 由产品最终用户授权的人员执行。
1.3 一般安全规则
遵守适当的规程和本操作手册中的安全规定,并对您要做的全 部工作采取必要的防护措施。
我们保留不事先通知技术修改的权利。
全部尺寸为毫米(mm)。
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tinb14c1 (2009-07)
用途
PGD400 真空计与 INFICON PSG5xx 系列的皮拉尼标准真空规 管一起用于总压强测量。全部产品必须按照相关的操作手册进行 使用。
交货规格
PGD400皮拉尼真空计
x1
电源线
x1
操作手册
x1
危险 危险: 电源电压。 当任何液体渗入仪器时,接触带电部件是十分 危险的。 确保无液体渗入设备中。
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电源的断开
电源开关/插座须置于一个易于用户识别和触及的位置。 必须拔下电源线才能将真空计完全断开电源。
电源开关/插座 参照EN 61010-1标准
将此安全规则告知所有使用人员。
4.2 PGD400启动(On)和关闭( Off)
确保 PGD400 真空计正确安装 ,并符合技术参数中的要求。
启动PGD400 电源开关在仪器后面板; 电源开关拨至ON将 PGD400 真 空计电源接通 (如仪器安装在控 制柜机架上,应通过中央配电箱 开关);
启动( On )后,PGD400 真空计将… • 自动执行本机测试 • 短暂显示软件版本号F-1.01(约为3秒) • 判别是否已连接真空规管 • 启用上次电源关闭( Off )前运行的参数 • 转换至测量模式
• 参数模式 用于设置或显示参数 (→ 22)
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4.4 测量模式
测量模式是 PGD400真空计的标准运行模式。在这个模式中显 示测量值以及状态信息(→ 27)。
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进入参数模式
(→ 22)
4.5 参数模式
参数模式用于显示、设置和输入参数值。