四探针测试仪测试说明

四探针测试仪测试说明

1.抽样：用真空吸笔在每炉中等间距抽取5片扩散后的硅片，充分冷却后放在四探针测试台上。

2.选择电流“10×”档，EXCH。I亮显。按“下降”键使探针接触硅片中心点，换到I档，校准工作电流后按“上升”键使探针脱离硅片，换到R档。

3.测试电流(156×156为

4.532mA）。

4.测量硅片四角及中心方块电阻。按“下降”键，待显示数字稳定后记录所测硅片位置的方块电阻，按“上升”键使探针脱离硅片，移动硅片换一个位置测量。中心点方块电阻的测量要在中心附近，不准漏出台面上的方格图样，多取几个点求平均值。确认扩散后方块电阻及其均匀性是否在检验要求规定的范围内。因偏磷酸滴落或其它原因使硅片表面有明显痕迹或色差的硅片必须百分之百检测，直接返工。

5.为避免测试误差，边缘处的测试位置应离硅片边缘(1~2)cm，切不可在同一点上反复测量。

6.每4h校准一次工作电流，遇电流不稳情况，需多次校验。每班上班后由负责扩散工序的工艺员人对每条线的四探针进行相互校准，判断每条线之间的四探针是否存在差异，如有通知计量人员对其进行校准。

7.为了减小测试值与实际值的差异，测试必须在较暗的环境下进行。

8.测得的数据应写在纸上，再输入电脑，按照时间，日期，管号排列。

9.测试完成后，工艺员将按照测试值与标准值的偏差调节工艺。