扫描电镜操作
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
扫描电镜的结构原理及其操作使用课件
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材料内部结构分析
通过扫描电镜观察材料内部不同层次的结构，可以研究材 料的晶体结构、相组成、微织构等，对于材料的性能研究 和优化具有重要意义。
材料元素分布分析
扫描电镜配备的能谱分析仪可以测定材料中元素的种类和 分布情况，对于研究材料的化学成分和元素迁移行为具有 重要作用。
生物医学研究应用案例
01
细胞结构与功能研究
半导体器件结构与性能分 析
扫描电镜可以观察半导体器件的结构和性能 ，如芯片的微观电路结构、缺陷分析等，对 于半导体行业的产品研发和质量监控具有重 要意义。
半导体材料表面形貌与成 分分析
扫描电镜可以观察半导体材料表面的微观形 貌和成分，如硅片、锗片的表面粗糙度和化 学组成，对于半导体材料的研究和质量控制
特点
高分辨率、高景深、高灵敏度、多功能性等。
历史与发展
历史
SEM最早出现于1940年代，但真 正的发展和应用是在1950年代以 后。
发展
经历了多个阶段，从最初的简单 扫描电镜，到现在的场发射扫描 电镜、能量色散X射线谱仪等高级 配置。
应用领域
01
02
03
04
材料科学
用于研究材料的微观结构和性 能，如金属、陶瓷、高分子等
图像扭曲
可能是由于扫描电镜的电子束不稳定或样品表面不平整所 致。解决办法是调整扫描电镜的电子束稳定性或对样品表 面进行预处理。
样品烧蚀
可能是由于样品表面有金属杂质或样品放置不当所致。解 决办法是更换样品或调整扫描电镜的加速电压和电流。
05
扫描电镜应用案例展示
材料科学研究应用案例
材料表面形貌分析
扫描电镜可以用于研究材料表面的微观形貌，如表面粗糙 度、颗粒大小等，对于材料科学的基础研究和应用研究有 重要作用。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。
下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。
1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。
b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。
c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。
2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。
b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。
c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。
3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。
b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。
c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。
4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。
b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。
c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。
d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。
5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。
b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。
c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。
6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。
b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。
以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。
在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作 1、进样后，等待电镜抽真空，当真空读数小于5E-04，开启电子枪，打开观察Observation （点击按钮ON 变绿色），点击操作台上ACB （自动白平衡），WD 调到10.0mm （CL 要调到14.1mm ），移动操作球（X,Y ， 或使用鼠标右键选取点击位置到屏幕中心），找到观察样品表面，将放大倍数调大，旋转操作球的旋钮调整Z 轴到合适的观察距离使得画面清楚（注意Z 轴动态，不要超过2mm ，操作球旋钮调整Z 轴的速率跟放大倍数成反比）。
2放大倍率旋钮顺时针可将样品放大至需要的倍数，反复调整焦距，使样品表面尽量清楚（可找到样品表面的裂缝或突起作为参照物）。
若画面还不清楚，可先放大到较高倍率（1万倍以上）反复调整像散x 、y 及焦距至影像清楚，直至影像清晰后再切回所需倍率。
3、进行上述操作后，若图像仍不清楚，可点击操作面板上的WORB 模式进行对中操作，此时面板上的WORB 和ALIGN 灯会持续闪烁，此时画面应像心脏一样跳动，若左右或上下晃动需调整像散的X ，Y ，调好后点STIG 会取消对中模式，反复切换对中模式和像散模式，结合焦距进行图像调整。
4、扫描模式：快速扫描模式QUICK VIEW （QUICK 1移动快, 再点一下显示屏上可看到变成QUICK 2），在LED （二次电子图像）模式下，移动或者调焦距需在QUICK 1模式下。
慢速扫描模式FINE VIEW （FINE 1移动慢但成像较好，FINE 2照相的速度），在BED-C （背散射模式）或CL(阴极发光模式)下可切换到FINE 1模式下观察或移动。
5、LED （二次电子图像）模式是观察样品的表面形貌；BED-C （背散射）模式代表了样品的成分，颜色不同成分不同。
鼠标左键点LED 可在下拉列表中切换。
切换前，需在右下角SRBE 前点对号把背散射探头送进去。
在BED-C （背散射模式）下可慢慢旋转BRIGHTNESS 和CONTRAST 来调节亮度和对比度，若图像模糊可把对比度和亮度调大，若图像中亮的太亮看不清内部结构可把对比度和亮度同时稍调低。
扫描电镜操作手册
SEM操作手册一、开机在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一图一a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。
b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。
c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入系统。
d 双击SmartSEM并登陆。
二、放置样品（1）从样品室放入样品a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。
该窗口包括六个控制版面（如图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。
b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。
图二c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。
图三（2）用Airlock放置样品图四a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。
b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。
c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。
（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）三、观察样品（1）移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离a如果已经勾选了Joystick disable，在stage中取消Joystick disable选项。
PS: 在SmartSEM 5.06中，增加了Stage Disabe选项，此选项也需要取消勾选。
扫描电镜操作说明书
扫描电镜操作说明书一、准备工作1.1 准备扫描电镜操作所需的材料和设备，包括扫描电镜主机、计算机、样品支架、镊子、电镜屏幕清洁布等。
1.2 确保扫描电镜主机已接通电源，并处于待机状态。
1.3 打开计算机，并确保与扫描电镜主机连接正常。
二、样品处理2.1 确保样品已按照预定的方法进行制备，并处理掉可能对扫描电镜操作产生干扰的杂质。
2.2 将样品放置在样品支架上，并通过镊子轻轻固定。
三、开始扫描3.1 打开扫描电镜软件，并在计算机上进行相应的设置。
3.2 将样品支架插入扫描电镜主机，确保插入深度适当。
3.3 根据样品特性和所需观察的区域，选择适当的扫描电镜模式和参数。
3.4 等待扫描电镜主机进行自检，确保操作正常。
四、调整参数4.1 通过软件界面调整所需观察的放大倍数。
4.2 调整电子束的加速电压和亮度，以获得清晰的图像。
4.3 根据样品的导电性和形态，选择合适的工作模式和探针电流。
五、观察与记录5.1 在电镜屏幕上观察样品表面的图像。
5.2 根据需要，可以通过扫描电镜软件对图像进行操作，如调整对比度、亮度、灰度等。
5.3 如需记录图像，可以使用截屏工具保存图像到计算机中。
同时，应对图像进行必要的标注和注释。
六、操作注意事项6.1 在进行扫描电镜操作时，要小心谨慎，避免对设备和样品造成损坏。
6.2 避免触摸或碰撞扫描电镜主机，以免影响其正常工作。
6.3 在更换样品或进行其他操作前，应先关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
七、操作结束7.1 在使用完扫描电镜后，将样品从样品支架上取下，并妥善保存。
7.2 关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
7.3 清洁电镜屏幕和设备表面，确保无灰尘、指纹等污染。
7.4 检查设备和周围环境，确保没留下个人物品和其他杂物。
以上为扫描电镜操作说明书的内容，仅供参考。
实际操作时，请遵循设备和软件的使用说明，并严格遵守相关安全规定。
扫描电镜操作
[1]把key从off转到start，之后会自动转换到on[2]EVAV抽真空，该键前的绿灯闪则 wait，不闪则start [3]放样品：点air（如上图），wait[4]量尺寸：在如图刻度处测量尺寸。
Attention：应该输入稍高的尺寸，如测量为10，输入12[5]放样品按如图左侧白色按钮，然后插入样品，一定要插到底，否则尺寸会有误差。
样品放好后会自动旋转90度。
（样品越矮，照的越清楚）[6]输尺寸放入样品后按白色按钮，会自动在页面上出现一个对话框，点取消cancel，之后出现stage界面。
点set，输入高度，点OK。
注：圆盘尺寸为51，32，26[7]image设置把PROTTATIOW设置为0[8]抽真空点右上角EVAV键，等响一声后点左上角on[9]设置stage界面Z值一般用10-15照相，越近分辨率越好，断口要远点一般先调20，没有问题后调15或者直接调10. 注：最小为6[10]聚焦先聚焦再调倍数，先看1000倍左下角（大）：放大倍数旁边（两个）：相散。
（聚焦不成功时，调使图像清楚）右侧上边（两个）：颜色对比度右侧下边（左）：粗调（放大倍数）右侧下边（右）：微调（放大倍数）右侧下边（两个）：聚焦[11]小图调用Redf键调，先调高倍，再看低倍[12]调亮度如上图，用ABCC自动调亮度[13]照相先在D盘建一个文件夹。
点1280键照相。
Attention：1.导电性差的用fast，后面选8或者16 frames2.slow分辨率高，一般选择20或者40 s[14]保存电压右边扭TV1为打开图像键，all为全存，或者选择图像之后点save，设名字[15]再照相再照相按1280重新选择别的地方照，按run，转换成freeze（如图）换样品步骤：[1]点左上角off[2]点右上角homez65（前为紫色）[3]点右上角air（前为桔黄色）出样品响三声后OK[4]放样品Attention：[1]高电压，低电流图像分辨率高，电流一般60左右，看能谱，电流高点[2]当看到视场中的相上下左右动时，considered相散questions，按盘上相散按钮[3]如果还动，按screen的alight键，准确调。
扫描电镜操作方法
扫描电镜操作方法1、接通电源，打开电镜主机上的开关（开关有三个档，第一档为关闭，第二档开启，第三档为启动）启动的时候把钥匙放在第三档大约两秒钟松手，电镜启动，钥匙自动回到第二档（回到第二档的原因是防止突然断电，又突然来电）。
2、打开电脑。
3、打开电脑桌面上的电镜操作软件（打开软件电镜真空泵会自动工作，开始抽电子枪与样品室内的空气。
此时软件上的“HT”为灰色，真空抽完之后，“HT”会变成蓝色）4、点操作界面的Sample，选择“Vent”（此时电镜主机上的“放气”指示灯开始闪烁，停止闪烁为工作完成），调正“Staqe”中的“Z”轴为40mm以上（“Z”轴最大位置为80mm），打开样品室，取出样品台（注意：在取样品台时手不得接触二次电子探头和背散射探头），固定样品（样品要确保良好的导电性），完成后再抽真空，点击Sample中的“Evac”，真空泵开始工作，当“HT”变为蓝色，抽真空完成。
5、确定工作电压与工作距离（工作电压“Acc.volt”一般为30KV，工作距离“WD”一般为10mm，束斑Spotsize一般为30，工作模式Signal：二次电子SEI和背散射BEW，真空模式Vac.mode：HV和LV）在确定工作电压和工作距离时，不用看原来的数值是多少都要重新指定。
6、点击“HT”打开高压，“HT”变为绿色。
7、打开“Staqe”通过调正“X、Y、T、R”四个轴向找到样品的位置，再调正“Z”轴确定样品台的位置（注意：在确定工作位置的时候要确定样品的高度。
如：样品为2mm，那么Z轴的数值应调正为15mm），放大样品到模糊看不清的倍数，通过对“Z”轴的上、下位置调正样品为最清淅的位置，再放大样品到模糊看不清的倍数，再用同样的方法调正到最清淅的位置。
8、点击“Vlew”使放大倍数回到30X，9、先放大到一个合适选择最佳拍照位置的倍数，选择一个最佳的拍照位置（样品表面尽量平整）10、旋转操作台上的放大旋钮到样品合适的放大倍数（此数值的确定跟据样品的不同而不同），氧化锌的适合放大倍数为15000X，软件上操作窗口的Soan2为被选择状态。
扫描电镜操作流程
扫描电镜操作流程扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以使用电子束扫描样品表面以获取高清晰度的图像。
它是通过与样品表面相互作用的电子进行成像，不同于传统光学显微镜，可以提供更高的放大倍数和更详细的表面特征。
以下是扫描电镜的操作流程细节：1.准备工作：首先，检查SEM的状态，包括电子枪、二次电子和反射电子探测器、样品台、真空系统和电子束控制系统等等。
确保这些部件运作正常，并进行必要的维护和保养。
2.真空系统调节：打开SEM并启动真空泵以排出系统内的空气。
当系统达到所需的真空度时，关闭真空泵并稳定真空状态，确保SEM的内部环境符合操作要求。
3.样品准备：选择合适的样品进行观察。
样品要求平整、干燥，并且需要导电性，因为在SEM中需要通过导电样品进行电子束的传递。
如果样品非导电，可以通过涂覆薄层金或碳来增加导电性。
4.固定样品：将样品固定在SEM的样品台上。
使用吸附性材料（如双面胶带或碳胶），使样品稳定在台面上。
确保样品平整地放置，并避免接触样品表面。
5.样品调整：根据需要，可以使用样品台上的微动控制装置来对样品进行粗略的位置和焦距调节。
确保样品所需的区域位于视野范围内，并且处于最佳对焦状态。
6.电子束调整：对于SEM，需要调整电子束的加速电压、光圈和聚焦等参数，以获得高清晰的图像。
根据样品特性和观察需求，调整这些参数，以确保电子束能够有效穿透样品并获得最佳成像效果。
7.图像获取：一切准备工作完成后，可以开始进行图像获取。
通过SEM系统的控制软件，选择所需图像的扫描区域和扫描参数，包括扫描速度、图像放大倍数等。
点击“开始”或相应按钮后，电子束将开始扫描样品表面，并将所得得电子信号转换为图像。
8.图像处理与分析：获取到的图像可以通过SEM系统的软件进行进一步处理和分析。
常用的操作包括亮度和对比度调整、放大和缩小、图像滤波、颜色调整等。
还可以使用图像处理软件进行粒径测定、表面形貌分析、化学成分分析等。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种将电子束聚焦在样品表面，通过扫描方式来获得样品高分辨率3D表面形貌和成分信息的仪器。
为了确保SEM操作的有效性和安全性，以下是SEM操作规程。
一、设备准备：1.认真阅读并了解SEM操作说明和安全规范。
2.检查SEM主机和附件是否处于正常工作状态，包括真空度、电源和冷却系统。
3.确保SEM试样台和样品夹具是干净的，无油污和灰尘。
二、样品处理：1.样品制备前，需要了解样品性质和要求，选择合适的样品制备方法。
2.对于生物样品，应优先使用冷冻切片等方法固定样品形态，以避免形变。
3. 样品尺寸应适合SEM观察，常规样品尺寸为10mm×10mm。
三、真空系统操作：1.打开SEM干净室门前，请先关闭室门内的LED灯进行暗室操作。
2.打开真空系统电源，并调节抽真空系统排气阀门，观察真空度是否达到工作要求。
若真空泄漏现象，请通知维修人员。
3.室外样品台安装完成后，请确保样品台和附件干净，并将样品固定到样品夹具上。
4.朝样品夹具上的固体样品均匀喷涂金属薄层来提高导电性。
四、SEM主机操作：1.打开SEM主机电源开关，仪器会进行自检程序，确认系统启动正常后才能进行操作。
2.将SEM控制软件打开，并加载上一次使用的配置文件，确认加热丝和工作功能正常。
3.调节电子枪电流和加速电压，以达到最佳分辨率和清晰度。
4.运用选择二级电子或回散二级电子来实现图像形成，根据具体需求调整像素率和扫描速度。
五、SEM样品观察：1.在获得清晰的样品图像之前，调整样品和悬臂梁的位置，以保证电子束准确的投射到样品表面。
2.调节电子束扫描范围、分辨率和时间，以获得高质量的SEM图像。
六、SEM样品操作结束：1.操作完成后，关闭SEM主机电源开关和控制软件。
2.关闭系统真空排气阀门，并观察真空泵的运行情况，确保真空度恢复正常。
3.清理和保养SEM主机和附件，如清除样品夹具上的残留物。
扫描电镜的使用步骤流程
扫描电镜的使用步骤流程简介扫描电镜是一种高分辨率成像设备，通过电子束的扫描，可以用来观察和分析样品的微观结构和形貌。
本文将介绍使用扫描电镜的步骤流程和注意事项。
步骤一：准备工作1.将待观察样品切割成适当的大小，并尽量保持表面平整。
2.将样品清洁干净，以去除任何不必要的污垢或尘埃。
步骤二：样品处理1.在需要的情况下，使用样品预处理方法，如金属蒸镀或镀碳，以提高样品的导电性。
2.将待观察样品放在样品台上，确保样品与台面接触良好。
步骤三：真空处理1.将样品台放入扫描电镜的样品室中。
2.关闭样品室后，使用真空泵抽取室内空气，以确保样品室内的真空环境。
步骤四：参数设置1.打开扫描电镜软件，并连接到扫描电镜设备。
2.在软件界面上设置扫描电镜的加速电压和放大倍数等参数，根据实际需要进行调整。
步骤五：对焦和校准1.将电镜中的标本对焦，并调整物镜和透镜，使得图像清晰可见。
2.进行必要的校准，如调整电子束的扫描速度和扫描模式等。
步骤六：观察和拍摄1.点击软件界面上的“开始扫描”按钮，开始观察和拍摄样品。
2.通过软件界面上的缩放和导航功能，调整图像的细节和位置，以获取所需的观察结果。
步骤七：图像分析和保存1.使用扫描电镜软件提供的图像分析工具，对图像进行分析和测量，如粒径分布、表面形貌等。
2.在分析完成后，将结果保存到计算机中，以备后续处理或报告使用。
注意事项•使用扫描电镜时，应注意保持设备干燥和清洁，避免灰尘和水分进入设备。
•在操作过程中，避免触碰或划伤样品表面，以免影响观察结果。
•样品制备时，应根据具体要求进行处理，以提高样品的观察效果。
•在观察和拍摄过程中，尽量避免电镜参数的频繁调整，以稳定图像质量。
以上是使用扫描电镜的步骤流程和注意事项。
通过按照这些步骤操作，您将能够有效地使用扫描电镜观察和分析样品的微观结构和形貌。
使用前请仔细阅读设备使用手册，并遵循相关安全操作规范。
简述扫描电镜操作流程
简述扫描电镜操作流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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扫描电镜操作流程
扫描电镜操作流程操作扫描电镜是一项需要仔细操作和准确实施的过程。
以下是一份详细的扫描电镜操作流程，请按照顺序操作。
1. 准备工作在进行扫描电镜操作之前，您需要做一些准备工作。
首先，确保扫描电镜的工作环境整洁，没有灰尘或杂物。
然后，检查电镜的供电情况和仪器状态，确保电源正常连接并处于稳定状态。
2. 样品制备选择您要观察的样品，并进行适当的制备。
具体制备步骤会因不同的样品类型而有所不同，但一般包括固定样品、切片和上样。
确保样品处理过程中遵循相应的安全规范，并使用适当的工具和试剂。
3. 装载样品将制备好的样品装入扫描电镜样品室。
这一步需要小心操作，以免损坏样品或者导致其他问题。
确保样品正确而稳定地安装在样品台上，并避免触碰到样品表面。
4. 调整仪器参数在开始观察前，您需要调整扫描电镜的一些参数，以获得最佳观察效果。
首先，调整电子束的加速电压。
根据您的样品类型和需要观察的细节，选择适当的加速电压。
然后，调整电子束的聚焦和对准，以确保电子束能够准确地照射到样品表面。
5. 图像获取调整好仪器参数后，您可以开始进行图像获取。
使用扫描电镜软件控制图像采集过程。
在获取图像前，确保样品所在区域是清晰可见的，并根据需要选择适当的放大倍数。
同时，确保在图像获取过程中保持仪器的稳定性，避免外部干扰。
6. 数据分析与保存当您获得一组满意的图像后，可以对这些图像进行进一步的分析。
使用扫描电镜软件可以进行图像增强、测量、标记等操作。
根据您的需要，对图像进行必要的分析，并将结果进行记录和保存。
7. 清理与关闭当完成扫描电镜操作后，确保对实验环境进行清理。
处理好使用过的化学试剂和样品残留物，并将仪器内外部进行清洁。
断开电源，并依据实验室的相关规定进行仪器关闭。
通过遵循以上流程，您可以顺利进行扫描电镜操作，并获得准确可靠的结果。
请确保在操作过程中保持耐心和仔细，以确保实验的成功进行。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。
它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。
本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。
二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。
当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。
这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。
三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。
首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。
其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。
注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。
2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。
在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。
预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。
3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。
然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。
4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。
主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。
调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。
5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。
选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。
在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。
6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。
首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。
等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。
清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。
扫描电镜的使用流程
扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用扫描电镜之前，需要进行一些准备工作，以确保设备的正常运行和样品的质量。
•将扫描电镜放置在稳定的平台上，并连接电源线。
•检查设备是否处于正常状态，保证电镜和屏幕功能正常。
•准备好需要观察的样品，并确保样品表面干净、平整。
2. 扫描电镜的打开和预热在正式使用扫描电镜之前，需要进行打开和预热的操作。
•按下电源按钮，启动扫描电镜。
•等待设备完成启动程序，通常需要几分钟的时间。
•在设备预热的过程中，可以将样品放置在样品架上准备观察。
3. 样品装载样品装载是使用扫描电镜的重要步骤，需要注意一些细节。
•打开样品室的门，并使用工具小心地将样品放置在样品架上。
•关闭样品室的门，确保样品安全。
•确保样品架和样品室的接触良好，以避免扫描电镜运行时的异常情况。
4. 图像获取和观察使用扫描电镜进行图像获取和观察是主要的操作步骤。
•打开扫描电镜软件，并选择合适的观察模式。
•调整图像的对比度、亮度和聚焦等参数，以得到清晰的图像。
•通过镜头调节观察范围和放大倍数，选择合适的视野。
•使用扫描电镜的操作杆或按钮，移动和调整样品的位置和角度，以获取更多的信息。
5. 数据保存和分析在观察完样品并获得需要的图像后，需要进行数据保存和分析。
•将观察到的图像保存到计算机或其他存储设备中。
•根据需要，对图像进行后续的操作和分析，如测量、计数、拼接等。
•将分析结果整理并保存，以备将来参考和报告使用。
6. 关闭扫描电镜使用完扫描电镜后，需要进行关闭和清理的操作。
•关闭扫描电镜软件。
•关闭扫描电镜设备，并断开电源线。
•清理样品架和样品室，确保下次使用时的卫生和安全。
•将设备和周围环境归位，保证实验室的整洁。
以上就是使用扫描电镜的基本流程，希望能对你在使用扫描电镜时有所帮助。
记得在操作过程中遵守安全规范，保护好设备和样品的安全。
扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程
环境扫描电镜（Quanta200FEG）操作规程一．在Standby状态时：1．确认Chiller的水温、水压及Air compressor的气压正常；2．开启显示器；3．开启电镜控制器（主机），进入Windows2000操作系统，在提示下输入用户名及密码并确认；4．按下镜筒前面板上的绿色按钮，亮为开启状态；5．在Windows2000操作界面下，鼠标左键双击“XT Microscope Server”图标，进入Server界面；6．等待Gun&Vacuum、Optics、Motion及Imaging等四个信号灯全都变绿以后，鼠标左键单击“Start”，使系统开始进行初始化。
待操作界面（UI）出现后，鼠标左键单击XT Microscope Server界面右上角的“×”将该界面最小化至Windows2000操作界面的右下角（双击绿色近圆形图标可将其再次打开）；7．根据提示，输入用户名及相应的密码并确认，然后做“Home Stage”；8．确认Gun Pressure正常（≤3e-7Pa）后，鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignments”按钮，打开下拉菜单，选“5-Emitter Control”，鼠标左键依次单击“Start”、“Next”、“Emitter ON”等，以点燃灯丝。
这过程约需40分钟，然后鼠标左键单击Finish以结束该过程。
待Emission Current的数值稳定后（大约需要2-10小时）可以进行下一步的工作。
二．在Over night状态时：1．确认水温水压及气压正常；2．拉开样品室门，放入测试样品，用专用规尺测量样品的高度，一般应在10mm刻度线以下；3．轻轻关紧样品室门，同时须注意样品上表面与极靴要有一定距离，鼠标左键单击“Pump”，使样品室抽真空（这时真空信号指示灯由红变黄）；4．当真空信号指示灯由黄变绿后，可以加高压开始测试（为保护TMP，一般应到5e-3Pa 以后再加高压）。
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[1]把key从off转到start，之后会自动转换到on
[2]
EVAV抽真空，该键前的绿灯闪则 wait，不闪则start [3]放样品：
点air（如上图），wait
[4]量尺寸：
在如图刻度处测量尺寸。
Attention：应该输入稍高的尺寸，如测量为10，输入12
[5]放样品
按如图左侧白色按钮，然后插入样品，一定要插到底，否则尺寸会有
误差。
样品放好后会自动旋转90度。
（样品越矮，照的越清楚）[6]输尺寸
放入样品后按白色按钮，会自动在页面上出现一个对话框，点取消cancel，之后出现stage界面。
点set，输入高度，点OK。
注：圆盘尺寸为51，32，26
[7]image设置
把PROTTATIOW设置为0
[8]抽真空
点右上角EVAV键，等响一声后点左上角on
[9]设置stage界面Z值
一般用10-15照相，越近分辨率越好，断口要远点一般先调20，没有问题后调15或者直接调10. 注：最小为6
[10]聚焦
先聚焦再调倍数，先看1000倍
左下角（大）：放大倍数
旁边（两个）：相散。
（聚焦不成功时，调使图像清楚）右侧上边（两个）：颜色对比度
右侧下边（左）：粗调（放大倍数）
右侧下边（右）：微调（放大倍数）
右侧下边（两个）：聚焦
[11]小图调
用Redf键调，先调高倍，再看低倍[12]调亮度
如上图，用ABCC自动调亮度[13]照相
先在D盘建一个文件夹。
点1280键照相。
Attention：1.导电性差的用fast，后面选8或者16 frames
2.slow分辨率高，一般选择20或者40 s
[14]保存
电压右边扭TV1为打开图像键，all为全存，或者选择图像之后点save，设名字
[15]再照相
再照相按1280
重新选择别的地方照，按run，转换成freeze（如图）
换样品步骤：
[1]点左上角off
[2]点右上角homez65（前为紫色）
[3]点右上角air（前为桔黄色）
出样品
响三声后OK
[4]放样品
Attention：
[1]高电压，低电流图像分辨率高，电流一般60左右，看能谱，电流高点
[2]当看到视场中的相上下左右动时，considered相散questions，按盘上相散按钮
[3]如果还动，按screen的alight键，准确调。
如果图像都向中间缩就不用调了。