扫描电镜操作
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[1]把key从off转到start,之后会自动转换到on
[2]
EVAV抽真空,该键前的绿灯闪则 wait,不闪则start [3]放样品:
点air(如上图),wait
[4]量尺寸:
在如图刻度处测量尺寸。
Attention:应该输入稍高的尺寸,如测量为10,输入12
[5]放样品
按如图左侧白色按钮,然后插入样品,一定要插到底,否则尺寸会有
误差。样品放好后会自动旋转90度。(样品越矮,照的越清楚)[6]输尺寸
放入样品后按白色按钮,会自动在页面上出现一个对话框,点取消cancel,之后出现stage界面。点set,输入高度,点OK。
注:圆盘尺寸为51,32,26
[7]image设置
把PROTTATIOW设置为0
[8]抽真空
点右上角EVAV键,等响一声后点左上角on
[9]设置stage界面Z值
一般用10-15照相,越近分辨率越好,断口要远点一般先调20,没有问题后调15或者直接调10. 注:最小为6
[10]聚焦
先聚焦再调倍数,先看1000倍
左下角(大):放大倍数
旁边(两个):相散。(聚焦不成功时,调使图像清楚)右侧上边(两个):颜色对比度
右侧下边(左):粗调(放大倍数)
右侧下边(右):微调(放大倍数)
右侧下边(两个):聚焦
[11]小图调
用Redf键调,先调高倍,再看低倍[12]调亮度
如上图,用ABCC自动调亮度[13]照相
先在D盘建一个文件夹。
点1280键照相。
Attention:1.导电性差的用fast,后面选8或者16 frames
2.slow分辨率高,一般选择20或者40 s
[14]保存
电压右边扭TV1为打开图像键,all为全存,或者选择图像之后点save,设名字
[15]再照相
再照相按1280
重新选择别的地方照,按run,转换成freeze(如图)
换样品步骤:
[1]点左上角off
[2]点右上角homez65(前为紫色)
[3]点右上角air(前为桔黄色)
出样品
响三声后OK
[4]放样品
Attention:
[1]高电压,低电流图像分辨率高,电流一般60左右,看能谱,电流高点
[2]当看到视场中的相上下左右动时,considered相散questions,按盘上相散按钮
[3]如果还动,按screen的alight键,准确调。
如果图像都向中间缩就不用调了。