Fortix硅片分选机生产操作规范

硅片检测机生产操作规范

一.目的

为规范员工操作，提高设备管理水平，降低设备故障率，更好的促进人机磨合，使设备更好的服务于生产，特编制此规范。

二.范围

本规范适用于国电光伏（江苏）有限公司硅片检测工序生产操作人员。

三.参考

FORTIX设备手册

四.职责

4.1 熟练掌握硅片检测间的日常生产操作、设备及工夹具的掌控。

4.2 懂得生产过程中的正确防护

五.定义

该设备主要用来对来料硅片的尺寸、厚度、表面粘污、TTV、少子寿命等参数进行检测

设备名称：Fortix硅片检测机

设备型号：FWIS-300

电源：380ACV+-10%、50HZ、3相

压空：5bar-6bar

流量：300L/min

控制单元：PC控制

六.Operation

1开机：

首先将总电源打开

：

然后将Fortix 机台电源（Main power

）打开：

将Semilab 主机和Fortix 主机的UPS 电源分别打开，

如图待UPS 处于On Line 状态时，方将Fortix 和Semilab 开机! Semilab 键盘上Ctrl 两次是切换键，可以进行少子寿命模组和厚度电阻率TTV 模组之间的切换。

将Inteckplus 开机：（红色圆圈处钥匙旋转打开盖子后按下里面黑色电源开关）

Intek ：点击桌面上Isolar 和Host 快捷方式进入Vision1（尺寸，油污，崩边）。两下CTRL 键，就切换到Vision2（微裂纹）以及Vision3。

3台电脑全部软件开启后。首先要 Handler Initialize ,然后点击右上角处vision 2、3使其显示绿色，如不能正常显示绿色 表示vision2、3未开机或者软件未打开，最后host 数据保存操作步骤：

Vision 1界面选择LOT START

Vision 1界面Initialize handler

FORTIX 主机：

1） 开机后打开FXA 软件，进入MMI

界面；

2） 点击SORTING DATA ，进入界面后进行硅片分类的设定，设定完成后依次点击SA VE TO

FILE---APPL Y---CLOSE ；

3） 点击LOT ID ，输入硅片的批次或单号。

1. 少子寿命模组：

1) 开机后打开uPCD 软件，点击STOP 进入静态测试模式；

2) 放入硅片，点击进入Record 界面，点击Autosetting 按钮进行参数自动设置，设置完成后需要将Average 改成16以下；

3）完成后点击START

进入连续测试模式；

4）自动测试一片，点击Linescan观察曲线情况，在曲线上点击右键选择Skip Edge可进行边缘剔除，会先后弹出两个对话框，第一个是前部剔除，第二个是后部剔除。边缘调整好之后可以正常测试。

4）数据保存：点击Clear Statistics输入硅片批次或单号进行数据保存，然后点击New Batch。

2. 厚度电阻率TTV模组：

1）开机后打开cap软件，点击STOP进入静态测试模式，将Average改成16以下；

2）对模组进行校准，步骤如下：

a) 校准片放入探头下，点击 Calibrate Thickness ，输入校准片的实际厚度值，点击确定； b ）取出校准片，点击compensate Resistivity ；

c ）放入校准片，点击new ，所有参数有值后，点击Calibrate resistivity ，输入校准片的电阻值，点击确定；

d ）取出校准片，点击START 进入连续测试模式；

e ）观察Linescan 中的曲线，可进行边缘剔除Skip Edge ；

f ）在Options 中点击Save Measurement Options ，保存校准文档。校准结束。

3）数据保存：点击Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存，然后点击New Batch 。 建议：每四个小时校准一次。

4) Troubleshooting

有时皮带正常运行，模组却没有进行测试可能是以下几个原因： a ）Start 按钮没有点击----------点击Start 按钮

b ）Average 的数值太高---------调低Average 的值，可以调整到16或8

c ）边缘剔除Skip Edge 值太多，导致测试时间过短------将Skip Edge 的值适当减小

d ）调整过皮带传输速度而没有更改Averag

e 及Skip Edge 等参数------进行适当的修改

2．AUTO RUN 前机台准备工作：

所有马达复位（TEN-KEY 数字键按99#）：

确保安全门是关闭的：

确保没有ERROR 报警（FORTIX 操作界面里的ERROR 栏）：

注意：①当出现报警时，先检查Error,确保没有Error 之后，即Error 清除之后，再按Reset,之后按Start 。

3．生产过程中或下料：

A ：Sorting 部分分类片盒满100片之后会报警，请及时将硅片取出后放回片盒；

B ：上料端两边最多各可放3个满的卡盒，放置空卡盒的的区域两边也最多只能放3个，3个满了时或未满3个时都请务必及时将空卡盒取出。

4．关机：

①SEMILAB ：将运行界面关闭之后关机，切换到另外一个界面，关闭后关机即可。 ②FORTIX ：将运行界面关闭，输入密码，退出后关机。 ③将两个UPS 电源关闭。 ④将主电源main power 关闭。 ⑤关闭总电源