金属氧化物激光晶体生长

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金属氧化物激光晶体生长
赵 军 11721403
Ti:Al2O3 激光晶体
YAG 基质激光晶体 Nd:YAG Yb:YAG
金属氧化物激光晶体
金属氧化物晶体,如Al2O3、Y3Al5O12等。这类 晶体作基质,掺入三价过渡族金属离子或三价稀土 离子的激光晶体是应用最广泛,研制最多的一种。 掺钛氧化铝(Ti3+:Al2O3)即钛宝石:迄今发现的 最为成功的一种宽带调谐激光晶体。 掺钕钇铝石榴石(Nd:YAG):常用作连续激光器 和高重复频率激光器的工作物质。 掺镱钇铝石榴石(Yb:YAG):激光二极管泵浦全 固态激光器的首选工作物质。
虽然Yb3+离子较容易掺入YAG 基质,由掺杂效应引起的 缺陷较Nd:YAG 少,Yb:YAG 晶体还是存在其他一些典型的生 长缺陷,如色心、杂质离子及退火后产生的散射中心
A 散射中心
为了消除晶体毛坯的色心和应力,原生态的晶体必须进 行高温氧化气氛退火处理,退火是基于Nd:YAG 的退火工艺, 在1600℃进行,往往造成大量的散射颗粒,严重地影响了晶 体的质量和激光性,散射颗粒是Yb:YAG 晶体中的一种缺陷。
Ti:Al2O3 激光晶体生长缺陷形成及消除
解决方法:抑制Ti4+的生长和促进Ti4+转化成Ti3+ 关键:粉料制备阶段掺杂物必须含有大量非4 价钛离
子,为此对粉料提出的要求是:(1)纯度高;(2) 分散性好;(3)颗粒均匀;(4)掺入杂质内的钛离 子绝大部分为Ti3+,并且在焙烧过程中要不变价。
TGT 法 晶体毛坯尺寸 φ120mm
存在差异:晶体尺寸 主要原因:晶体的加工技术滞后
Nd:YAG 激光晶体
基于Nd:YAG 晶体在物理化学性能和光谱性能 方面都表现出可以成为一种优良的激光工作物质, 它的激光性能除巨脉冲大功率外均超过已有掺Nd3+ 激活离子的其它一些激光晶体,这就促使人们采用 不同的生长工艺来得到它。 目前:布里奇曼法和温梯法在生长大尺寸盘片 状Nd:YAG 晶体方面存在着潜在的优势。
Ti:Al2O3 激光晶体生长缺陷形成及消除
问题存在:生长过程中采用了弱还原性气氛,但是
熔体中Al2O3 :Al2O3=Al2O(g)+O2↑(2100℃ 左右),氧分压的增加使得部分Ti3+被氧化为Ti4+, 导致掺钛宝石严重光散射。
解决方法:避免环境中氧分压存在,需适当还原退
火处理(对Ti4+离子的有效还原)
Ti:Al2O3 激光晶体生长
优点:无气泡,无金属夹杂物, 晶体完整性好,应力小 缺点:采用He 气作用导热介质, 长晶成本很高;滑移系统 间的相互作用,难于在零 双折射方向[0001]上生长 单晶,因此晶体利用率低
热交换法
Ti:Al2O3 激光晶体生长
温度梯度法特点: (1)晶体的结构完整性高; (2)高的光学均匀性; (3)具有高掺Ti3+浓度,晶体的 峰值吸收系数高; (4)具有高的FOM 值:采取强 还原气氛下高温退火,提高其 FOM 值,最高达400
温梯法
Ti:Al2O3 激光晶体生长缺陷形成及消除
生长钛宝石过程中最易产生的缺陷是,红外残余吸收和 光散射中心。
A 红外残余吸收
对激光晶体而言,重要的是Ti3+离子,其能级 结构简单,没有激发态吸收,生长钛宝石晶体的关 键是克服激光波段的残余红外吸收,提高品质因素 FOM 值。而钛宝石晶体的残余红外吸收则来源于晶 体内存在的Ti4+,因为Ti3+-Ti4+离子对要产生附加 吸收。
Yb:YAG 激光晶体生长缺陷形成就消除
B 色心和杂质离子吸收
提拉法生长的晶体存在两个吸收带,此吸收带与 Yb2+和色心有关。 温梯法生长的Yb:YAG 晶体中不存在Yb2+和色心, 这对Yb:YAG 晶体的激光性能有十分重要的意义。
Yb:YAG激光晶体发展趋势
Yb:YAG 晶体 具有优异的光谱性能 晶体的尺寸和质量 已经完全能够满足高功 率激光输出的要求 高功率激光输出方面 仍有大量工作去做 以温梯法Yb:YAG 晶体 作为增益介质的激光器 占有一席之地
温梯法
温梯法在高掺杂浓度方面 同样取得了进展,其最高浓度 为3at%。 温梯法整个生长装置处于 相对稳定的状态,具有稳定的 热场,有利于Nd3+离子进入 YAG 晶体。
Nd:YAG 激光晶体生长缺陷形成就消除
生长过程中“云层”和“内核”是最容易产生的缺陷
A 云层(Nd析出物富集层)
晶体生长过程中的排杂作用使固液界面附近的熔体中 Nd3+离子浓度增高,熔体凝固点降低,为了维持一定的生长 速度,势必要降低熔体的温度,使固液界面处的过冷度维持 不变,这就使过冷区域比原来更深入到熔体的内部,这就是 Nd3+离子造成的组分过冷。过冷区的扩大使得有更多的Nd3+ 离子非“过剩”的熔体部分因温度的降低而以较快的生长速 度趋于结晶,把固液界面处过剩的Nd3+离子带入晶体,在晶 体中形成Nd3+析出物富集层——“云层”或失透。
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另外:Ti:Al2O3 晶体高温退火
Ti:Al2O3 晶体置于还原性气氛中
Ti:Al2O3 激光晶体生长缺陷形成及消除
B 散射中心
还原气氛退火后,晶体中Ti3+离子浓度增加,晶 体中的主吸收增大,残余吸收也得到降低。 一般的钛宝石晶体中都存在着不同程度的散射 中心,散射损耗在透过谱上的反映就是透过的降低, 而且散射对波长是不敏感的,与掺钛宝石的宽带吸 收是吻合的。
温梯法
积极探索新的 掺Yb3+激光晶体 和掺Yb3+复合激光晶体

谢!
Ti:Al2O3 激光晶体
掺钛蓝宝石(Ti:Al2O3)晶体是性能优良的可调 谐激光晶体,可以广泛应用于连续和脉冲等激光运 转方式,已经成为发展飞秒超短脉冲激光和太瓦级 高功率激光等技术关键,具有优良的光学、物理化 学和机械性能,特别是热传导性能好。 另外,它也是高功率可调谐激光器和超短脉冲 理想的激光振荡和放大介质,在小型化太瓦级高功 率可调谐超短脉冲激光系统方面有广阔应用前景。
Nd:YAG激光晶体发展趋势
提拉法生长优质 大尺寸Nd:YAG
设备条件依赖性强
国内
仅以“人机”紧密结合方式 难保障生长条件的一致性 及晶体质量的稳定性 大力发展 晶体生长的自动化 控制技术
国外
自动化程度较高的设备 摆脱了人为因素的干扰
Yb:YAG激光晶体
InGaAs激光二极管(发射波长为0.9~1.1μm) 出现,使 Yb3+离子掺杂材料重新被重视,因为Yb3+离子的吸收带在 900nm~1100nm 区域,能与InGaAs LD 泵浦源有效耦合, 而且吸收线较宽,无需严格的温度控制。 1991 年,美国林肯实验室Lacovara 等人在室温下 InGaAs 二极管泵浦Yb:YAG 晶体获得连续激光输出,吸收泵 浦功率为245mW 时,获得了23mW 的最大输出功率。 1993 年,Fan 等人用InGaAs 二极管作为泵浦源,在室 温下获得Yb:YAG 调Q 脉冲激光输出,其脉冲能量为72μJ, 脉冲宽度为11ns。 2004 年,商业化的Yb:YAG圆盘激光器的输出功率已经 达到4kW。
Ti:Al2O3 激光晶体发展趋势
美国晶体系统公司 大于φ80mm 高质量掺钛蓝宝石
解决方法
1、采用合适优化的
温场和生长工艺参数,解 决钛离子的价态问题 2、通过退火工艺来提高晶体 完整性及消除晶体中的Ti3+Ti4+离子对,提高FOM 值
中国科院 上海光机所晶体中心 φ50mm 激光晶体
可提供最大尺寸 φ100mm
Nd:YAG 激光晶体生长
提拉法
提拉法是目前生长YAG 的 主要方法,为了提高YAG 中 Nd 离子的浓度均匀性,在提 垃法中采用了双坩埚和自动 加料系统,在生长过程中不 断向熔体中添加低浓度的粉 料,使熔体中Nd 的浓度基 本不变,最终获得了浓度均 匀的Nd:YAG 晶体。
Nd:YAG 激光晶体生长
Nd:YAG 激光晶体生长
中科院上海光机所较早开展Yb:YAG 晶体研究
提拉法生长Yb:YAG 晶体毛坯典型尺寸约 为Φ32×170 mm3, 蓝绿色,高温氧气气 氛退火后,晶体变为 无色透明
温梯法生长 Yb:YAG 晶体毛坯尺寸为 Φ75×45 mm3,无色
Yb:YAG 激光晶体生长缺陷形成就消除
Nd:YAG 激光晶体生长缺陷形成就消除
解决方法:降低生长速度
降低生长速度使单位时间泄回熔体的Nd3+离子 量减少,即减少了固液界面附近Nd3+离子浓度,可 达到减小Nd3+离子引起的组分过冷,来消除“云 层”。
Nd:YAG 激光晶体生长缺陷形成就消除
A 核芯
核芯:晶体中沿中轴存在的一个折射率较高的部分 提拉法生长Nd:YAG 存在核芯,限制了晶体的实用尺寸, 为了保证晶体中Nd3+浓度的均匀性,需要控制析晶率,这就需 制作更大容量的铱坩埚,必须增大投资,提拉法要完全消除核 心在技术上又存在很大的障碍。 温梯法和布里奇曼法在生长无核芯大尺寸Nd:YAG 晶体方 面存在着一定的优势,且使用的是钼坩埚,成本低,值得大力 发展。
Ti:Al2O3 激光晶体生长
Ti:Al2O3 虽有优良的激 光、物理、化学特性,但属 于高温难熔化合物,其熔点 高达2050℃,生长方法有提 拉法、热交换法、温梯法。
提拉法
提拉法生长掺钛宝石晶体具有下列缺点: 由于提拉法生长系统具有弱氧化性气氛,在生长 出的晶体中含有大量的Ti4+离子,或者Ti3+-Ti4+ 离子对,容易产生附加吸收,导致了钛宝石晶体 的红外残余吸收较为严重 由于宝石的熔点较高(约2050℃),在高温弱 氧化性气氛中Ir 金挥发严重,Ir 易以包裹物的形式 进入晶体 采用提拉法很难生长掺钛宝石晶体,容易产生镶 嵌结构,严重影响了晶体的质量 在提拉炉中,晶体所受的热应力很大,晶体尺寸 受到坩埚直径等的限制
布里奇曼法
布里奇曼法是一种典型的熔 体生长法。 垂直布里奇曼法生长YAG 晶 体,可能主要受坩埚和加热器条 件限制使得该方法所能生长晶体 的熔点不能太高。 水平布里奇曼法生长YAG 晶 体,俄罗斯的Nd:YAG的荧光性 能相当于普通Nd:YAG 的两倍, 具有很高的光学均匀性。
Nd:YAG 激光晶体生长
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