Track工艺设备培训资料教学教材
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EC
•ELV：Elevator panel Buffer •DP：Dry plate •R/P：Rotary Pass
①
②
IN Pass
APP
SCR
DHP & COL CV Buffer/Pass
PRE-BAKE & COL
CV R-Pass
放入buffer
③ 注意玻璃缺口方向的变化。
④
动画stop 1Sec
Air Curtain
•
Brush 可在0-5mm范围上下调整。
•
BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。
•
Brush 上方Rinse：72±3mm
பைடு நூலகம்
•
下部Spray距离上方：73mm
•
Air knife：35° / heigh(gap):2-
3mm(2.5±0.5mm)
修改
BOE Copyright ⓒ 2010
Track工艺设备培训资料
Company Confidential BOE Copyright ⓒ 2010
1
Index ( before you read this article )
• 本报告书的结构：
1. ExcelinerTM 1800 设备简介 （2. ExcelinerTM 1800 安全教育）
① SCR
Final Rinse
• SCR ： Air Knife
Bubbling Brush
Glass 方向
OUT Stage Dry Stage
Brush Wash Stage
•
SCR的参数：
•
Air curtain 高度 8±1mm
DI Water 1.19%TMAH
•
Brush 转速：300-400rpm
•基板经过HP Bubbling和 HP Rins e后到达Final Rinse。
•为了保证在没有基板的情况下下 部的Rinse喷射出的水不会飞溅到 上部的chamber盖上。在这里使用 了一个防止喷溅的挡板。在经过这 些以后，使用Air Kinfe 干燥。
Air Knife Final Rinse
•气液分离器，可以分离液体和气体。在其靠 近通往1楼的排气侧有过滤器。 •利用气体的浮力和液体会自然分开，在中间 形成一个可以静置的空间，气体向上浮出。从 而分离水和气泡。
Air
BOE Copyright ⓒ 2010
•气液分离器上方的手动调节排气量的一个简 易阀门，通过旋转里面的薄圆形铁片。可以调 节排气量的大小。
•容易将玻璃变形， 在Brush抬起时
APP
挤压用Roller 材质VPE
① SCR
• SCR 1：
•从APP进入SCR实际上是有一个坡度的。In PASS和APP比S CR高7mm。也就是说，水无法流向APP和in pass，SCR整体 比其他的要低。
•Air Curtain是在距离玻璃大概高度 8±1mm的位置。如左图所 示，利用气体的隔断，从而保证1.19% TMAH的Rinse和DI Wa ter的Rinse间互相不影响，可以在有限的设备流水线长度上放 置密集的Rinse，减少了设备的长度，使设备更紧凑。同时也 防止了药液互相混合，有利于回收再利用。
① SCR
• SCR 2：
1
•此处双向Rinse，在BCT管路图上标记为两个,其DI Water供应
软管数目为其他的两倍。分别向Upper Brush 和 Lower Brush喷
水。
2
•Brush下部的Rinse，图中的Brush还没有装上，所以看得比较
清楚。从下往上喷水，清洁Brush。
•Brush Rinse
Robot运动与Recipe有关，
SLIT
S/A
DP
Buffer
I/F
EXP
不一定按此运行。
LD/ULD (Robot)
AOI
ELV
⑥
Block 0 控制区域
Block 1 控制区域
EC
Block 2 控制区域
Block 3 控制区域
BOE Copyright ⓒ 2010
CV
POST-BAKE & COL
Bubbling
•Final Rinse的Water来自于DI Water Ta nk 2 ，Tank2的水流到Tank1 重复利用。
•AK DRY
BOE Copyright ⓒ 2010
•防止喷溅板
•Rinse
•Rinse •基板传送方向
SCR的排气部分
• Exhaust管增加气泵加速排气。 • 为了弥补排气量的不足。
3. ExcelinerTM 1800 软件界面 4. ExcelinerTM 1800 控制&电力系统
5. ExcelinerTM 1800 的维护
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1. ExcelinerTM 1800设备简介
BOE Copyright ⓒ 2010
Track产线
• Track产线布局(请放映动画)：
1
Brush
•Brush
BOE Copyright ⓒ 2010
2
•Rinse
Brush
•使用Brush的目的主要是为了清除比 较大颗粒的Particle。
•Brush是可以调节高度的。不同的厚 度的玻璃可以调节不同的上下间距。 从而调节Brush上的软毛对极板的压 力。
① SCR
• SCR 3 ：
•铁片遮挡的部分越小则排气量越大。
② OVEN（动画）
Pre-Heat
OVEN BAKE
COL
在此中可控制冷风的温 度，冷却玻璃基板
•Pre - COL
•T.C. – COL
在此中直接吹冷风，温 度下降
Cool Air
冷却水 Unit
Cool Air FFU
•Heater的温度大于玻璃 温度 基板需要达到的目标温 度。而且，由于在靠近 入口和出口的位置的散 热量大，所以Heater块 温在度此的中设玻置璃常基常板是保：持目
DEV
Titler
⑤
如有Titler，在Titler中转向，没有 在此位置为Rotary单元
•LD/ULD 和 APP ,AOI 都不是TEL的设备，由各自研修小组负责讲 解。
•BAKE 和 COL合并在②中讲解。
•Coater, EXP, AOI 前都有BUFFER, 在讲特殊的⑥ELV时其他会提 到并讲解。
•Air Curtain
•玻璃搬运方向 •Air Curtain •Rinse
BOE Copyright ⓒ 2010
DI Water
1.19%TMAH
•首先，使用1.19%的TMAH进行预
Air Curtain 湿润处理(Pre Wet)。设置风刀从 而隔断液体的流向。
•紧接着是DI Water水洗。其中的 水来自下方的 DI Water Tank 1
•ELV：Elevator panel Buffer •DP：Dry plate •R/P：Rotary Pass
①
②
IN Pass
APP
SCR
DHP & COL CV Buffer/Pass
PRE-BAKE & COL
CV R-Pass
放入buffer
③ 注意玻璃缺口方向的变化。
④
动画stop 1Sec
Air Curtain
•
Brush 可在0-5mm范围上下调整。
•
BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。
•
Brush 上方Rinse：72±3mm
பைடு நூலகம்
•
下部Spray距离上方：73mm
•
Air knife：35° / heigh(gap):2-
3mm(2.5±0.5mm)
修改
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Track工艺设备培训资料
Company Confidential BOE Copyright ⓒ 2010
1
Index ( before you read this article )
• 本报告书的结构：
1. ExcelinerTM 1800 设备简介 （2. ExcelinerTM 1800 安全教育）
① SCR
Final Rinse
• SCR ： Air Knife
Bubbling Brush
Glass 方向
OUT Stage Dry Stage
Brush Wash Stage
•
SCR的参数：
•
Air curtain 高度 8±1mm
DI Water 1.19%TMAH
•
Brush 转速：300-400rpm
•基板经过HP Bubbling和 HP Rins e后到达Final Rinse。
•为了保证在没有基板的情况下下 部的Rinse喷射出的水不会飞溅到 上部的chamber盖上。在这里使用 了一个防止喷溅的挡板。在经过这 些以后，使用Air Kinfe 干燥。
Air Knife Final Rinse
•气液分离器，可以分离液体和气体。在其靠 近通往1楼的排气侧有过滤器。 •利用气体的浮力和液体会自然分开，在中间 形成一个可以静置的空间，气体向上浮出。从 而分离水和气泡。
Air
BOE Copyright ⓒ 2010
•气液分离器上方的手动调节排气量的一个简 易阀门，通过旋转里面的薄圆形铁片。可以调 节排气量的大小。
•容易将玻璃变形， 在Brush抬起时
APP
挤压用Roller 材质VPE
① SCR
• SCR 1：
•从APP进入SCR实际上是有一个坡度的。In PASS和APP比S CR高7mm。也就是说，水无法流向APP和in pass，SCR整体 比其他的要低。
•Air Curtain是在距离玻璃大概高度 8±1mm的位置。如左图所 示，利用气体的隔断，从而保证1.19% TMAH的Rinse和DI Wa ter的Rinse间互相不影响，可以在有限的设备流水线长度上放 置密集的Rinse，减少了设备的长度，使设备更紧凑。同时也 防止了药液互相混合，有利于回收再利用。
① SCR
• SCR 2：
1
•此处双向Rinse，在BCT管路图上标记为两个,其DI Water供应
软管数目为其他的两倍。分别向Upper Brush 和 Lower Brush喷
水。
2
•Brush下部的Rinse，图中的Brush还没有装上，所以看得比较
清楚。从下往上喷水，清洁Brush。
•Brush Rinse
Robot运动与Recipe有关，
SLIT
S/A
DP
Buffer
I/F
EXP
不一定按此运行。
LD/ULD (Robot)
AOI
ELV
⑥
Block 0 控制区域
Block 1 控制区域
EC
Block 2 控制区域
Block 3 控制区域
BOE Copyright ⓒ 2010
CV
POST-BAKE & COL
Bubbling
•Final Rinse的Water来自于DI Water Ta nk 2 ，Tank2的水流到Tank1 重复利用。
•AK DRY
BOE Copyright ⓒ 2010
•防止喷溅板
•Rinse
•Rinse •基板传送方向
SCR的排气部分
• Exhaust管增加气泵加速排气。 • 为了弥补排气量的不足。
3. ExcelinerTM 1800 软件界面 4. ExcelinerTM 1800 控制&电力系统
5. ExcelinerTM 1800 的维护
BOE Copyright ⓒ 2010
1. ExcelinerTM 1800设备简介
BOE Copyright ⓒ 2010
Track产线
• Track产线布局(请放映动画)：
1
Brush
•Brush
BOE Copyright ⓒ 2010
2
•Rinse
Brush
•使用Brush的目的主要是为了清除比 较大颗粒的Particle。
•Brush是可以调节高度的。不同的厚 度的玻璃可以调节不同的上下间距。 从而调节Brush上的软毛对极板的压 力。
① SCR
• SCR 3 ：
•铁片遮挡的部分越小则排气量越大。
② OVEN（动画）
Pre-Heat
OVEN BAKE
COL
在此中可控制冷风的温 度，冷却玻璃基板
•Pre - COL
•T.C. – COL
在此中直接吹冷风，温 度下降
Cool Air
冷却水 Unit
Cool Air FFU
•Heater的温度大于玻璃 温度 基板需要达到的目标温 度。而且，由于在靠近 入口和出口的位置的散 热量大，所以Heater块 温在度此的中设玻置璃常基常板是保：持目
DEV
Titler
⑤
如有Titler，在Titler中转向，没有 在此位置为Rotary单元
•LD/ULD 和 APP ,AOI 都不是TEL的设备，由各自研修小组负责讲 解。
•BAKE 和 COL合并在②中讲解。
•Coater, EXP, AOI 前都有BUFFER, 在讲特殊的⑥ELV时其他会提 到并讲解。
•Air Curtain
•玻璃搬运方向 •Air Curtain •Rinse
BOE Copyright ⓒ 2010
DI Water
1.19%TMAH
•首先，使用1.19%的TMAH进行预
Air Curtain 湿润处理(Pre Wet)。设置风刀从 而隔断液体的流向。
•紧接着是DI Water水洗。其中的 水来自下方的 DI Water Tank 1