洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
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洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/m）空气洁净度等级
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4（十级）10000 2370 1020 352 83
5（百级）100000 23700 10200 3520 832 29 6（千级）1000000 237000 102000 35200 8320 293 7（万级）352000 83200 2930 8（十万级）3520000 832000 29300 9（一百万级）35200000 8320000 293000