电铸
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二 精密电铸
1
＋
阳极
阴极
Mn++ ne 电解液
M
电铸层
芯模（导电）
基座
2
1. 芯模 2. 电铸液 3. 电流波形 4. 过程参数 5. 工艺特点
（精度高、成本低、尺寸
效率低、种类单一、均匀性差）
3
4
5
6
7
南京航空航天大学 研制的电铸机床
8
9
10
11
12
13
14
15
16
• CD/DVD STAMPER • 光纤接插件 • 激光防伪商标 • 表面粗糙度样块 • 光学镜面 • 电动剃须刀网罩
加工技术的精密化和微细化
电磁马达用微齿轮（德国，Institute of Microtechnology Mainz）
33
南航制造的微型齿轮 齿径：200m 厚度：80m
34
利用微细电铸方法制 作分离喷嘴
微齿轮副
wk.baidu.com35
微型齿轮
微型泵轮
微 齿 轮
36 微型齿轮与蚂蚁首部对比
提高沉积速度
• 激光辐照
29
加工技术的精密化和微细化
静电线性执行机构，结构高100 µ m，最小侧面尺寸1 µ （德国，Karlsruhe核能中心） m
30
加工技术的精密化和微细化
通过重叠倾斜暴光得到的复杂结构（德国，Institute of Microtechnology Mainz）
31
加工技术的精密化和微细化
32
• 强烈对流：冲液、振动、压缩空气、 阴极移动
37
提高材料性能
合金电铸：镍锰、镍钴
复合电铸：陶瓷颗粒、碳纤维、碳纳米管 晶粒细化：纳米晶粒尺度
脉冲电铸：单向脉冲、双向脉冲
38
改COPY加工为轨迹加工成型
电解：数控电解
电铸：仿RP、空间移动诱导
应用场合
39
微细电铸
深槽沉积
表面整平 结合强度
微变形
40
低成本LIGA
LIGA-LIKE
与微细电火花加工的结合
41
17
18
19
20
21
22
三 LIGA 和 UV-LIGA
23
LIGA和UV-LIGA
24
曝光光源
照射
感光胶
刻蚀
电铸
金属
结构
25
LIGA
掩模版制造
前处理
胶层
曝光
刻蚀 超净工作间
薄膜
沉积
除胶
微注塑
26
27
28
SU-8微柱阵，每个柱子大约15微米宽，500微米高 （英国，罗瑟福实验室）
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＋
阳极
阴极
Mn++ ne 电解液
M
电铸层
芯模（导电）
基座
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1. 芯模 2. 电铸液 3. 电流波形 4. 过程参数 5. 工艺特点
（精度高、成本低、尺寸
效率低、种类单一、均匀性差）
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南京航空航天大学 研制的电铸机床
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• CD/DVD STAMPER • 光纤接插件 • 激光防伪商标 • 表面粗糙度样块 • 光学镜面 • 电动剃须刀网罩
加工技术的精密化和微细化
电磁马达用微齿轮（德国，Institute of Microtechnology Mainz）
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南航制造的微型齿轮 齿径：200m 厚度：80m
34
利用微细电铸方法制 作分离喷嘴
微齿轮副
wk.baidu.com35
微型齿轮
微型泵轮
微 齿 轮
36 微型齿轮与蚂蚁首部对比
提高沉积速度
• 激光辐照
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加工技术的精密化和微细化
静电线性执行机构，结构高100 µ m，最小侧面尺寸1 µ （德国，Karlsruhe核能中心） m
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加工技术的精密化和微细化
通过重叠倾斜暴光得到的复杂结构（德国，Institute of Microtechnology Mainz）
31
加工技术的精密化和微细化
32
• 强烈对流：冲液、振动、压缩空气、 阴极移动
37
提高材料性能
合金电铸：镍锰、镍钴
复合电铸：陶瓷颗粒、碳纤维、碳纳米管 晶粒细化：纳米晶粒尺度
脉冲电铸：单向脉冲、双向脉冲
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改COPY加工为轨迹加工成型
电解：数控电解
电铸：仿RP、空间移动诱导
应用场合
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微细电铸
深槽沉积
表面整平 结合强度
微变形
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低成本LIGA
LIGA-LIKE
与微细电火花加工的结合
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三 LIGA 和 UV-LIGA
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LIGA和UV-LIGA
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曝光光源
照射
感光胶
刻蚀
电铸
金属
结构
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LIGA
掩模版制造
前处理
胶层
曝光
刻蚀 超净工作间
薄膜
沉积
除胶
微注塑
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SU-8微柱阵，每个柱子大约15微米宽，500微米高 （英国，罗瑟福实验室）