白光扫描粗糙度轮廓仪应用

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白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
• • 白光扫描干涉测量法是一种非接触的测 量方式，通过干涉条纹，来比较样品测 试表面跟理想参考面的偏差。 通过显微镜物镜的垂直扫描测试样品表 面，得到整个视场区域的测试结果----整幅的三维数据地图，而不是只有一条 剖面线的结果。
– SWLI 垂直方向的分辨率与放大倍率无关， 无论使用1倍镜头，或者50倍镜头时， 其视场范围每个像素点的纵向分辨率都 是0.1nm，而基于共聚焦方式光学检测 设备的纵向分辨率是基于NA的。
– 可溯源台阶块
– 可溯源横向标准块 – 可溯源平面度标准块
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谢谢
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在光学计量设备领域 有41年专业经验
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在世界范围内售出大约10,000套系统.
Zygo公司是世界级最专业的，扫描白光干涉仪制造商。SWLI
在世界范围内13个地区 有大约625个雇员.
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Zygo 公司分支机构
Richmond, 美国加州
Montreal, 加拿大
Middlefield, 美国康涅狄格州
光强 信号包络
对物理高度的结果。 • 单波长激光干涉系统在测量粗糙样品时，就没 有这样的优点，移相法在处理每个像素的数据 时候会结合邻近像素相位结果，并且得到的原 始结果是基于相位的而不是物理距离。 • 这使在测量处理粗糙样品表面的数据时候，白 光干涉扫描具有很大优势，能测量粗糙或者有
条纹信号
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0 扫描距离 (microns) Nexview 典型的干涉条纹信号
– 对于样品不同的表面结构，只用一种算法分析测量。 – 可以测试0.1nm的超光滑表面粗糙度 – 提供最长可达70mm工作距离，数值孔径最大0.85的镜头。（数值孔径决定了最大 可以测量的坡度） – 分析软件提供可视化2维或者3维结果。 – 结果符合ISO4287 和25178标准 – 可以通过自动平台实现拼接功能，测试更大的范围。 – 提供开放的脚本编程语言工具，使用者可自行设置让设备全自动运行的程序，可 以组合自己特殊的测量结果。 – 可选自动的4位塔台
Darmstadt, 德国
中国上海
Tokyo, 日本 新加坡
Fremont, 美国加州
Costa Mesa, 美国加州
பைடு நூலகம்
Tucson, 美国
中华台湾
总部 (销售，市场，制造，研发)
销售及支持
Darmstadt, 德国 上海，中国 新加坡 Fremont, 美国加州 中华台湾 东京，日本
生产部门
上海，中国 Tucson, 亚利桑那 Richmond, 加州 Middlefield, 康涅狄格
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台阶跳跃结构的表面；而在测量光滑样品表面
时，单色光移相法则相对具有速度快的优势。
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Nexview 白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
•正如上图所示，每条信号线代表了每个像素在扫描过程中光强信号的变化。 •每条信号线包络的峰值即为这个像素的完美等光程点。 •每个像素点的物理绝对高度都是以这个等光程点为参考的。 •如图把等光程点连接起来就形成了样品表面的面形。
研发部门
Costa Mesa, 加州 Watsonville, 加州 Montreal, 加拿大
Middlefield, 美国康涅狄格州
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Zygo 扫描白光干涉仪 SWLI
• • 高速，非接触测量，各种尺寸的样品都能提供高分辨率三维数据结果： 优势
– 在0.1nm到150微米的范围上使用一种测量方式，一种算法。
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平面度测量
大尺寸拼接。
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灵活选择的附件
ZYGO为工业应用提供广泛的物镜选择
标准工作距离
长工作距离
超长工作距离
2.75x
5x
5.5x
10x
20x
50x
100x
1x
(8mm)
2x
(20mm)
5x
(20mm)
10x
(18mm)
1x (40mm)
2.5x (40mm)
5x (40mm)
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其他附件 – 4位塔台
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SWLI 是一种被公认的非接触表面轮廓测 试计算方法，收录在基于3D数据地图的 全新国际粗糙度计量标准，ISO/DIS 25178-604 Part D 里面
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白光干涉扫描轮廓仪的工作原理
• 白光干涉扫描对于测量粗糙，不连续表面很有 帮助。因为白光扫描的测试结果是基于每个像 素点上的光强信号单独分析，其结果是基于绝
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超光滑样品粗糙度测量
• 可以测试0.1nm粗糙度 的超光滑样品。
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同时以3D和2D的方式评 价粗糙度。符合 ISO4287 和25178标准。
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可以通过自动平台，实 现多点自动测量
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平面度测量
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单次测量即可测量 9.5mmX7mm范围内的 平面度
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平面度测量
使用自动平台的拼接功能，能实现在大尺寸范围的平面度测量。
ZYGO 白光扫描粗糙度轮廓仪应用
Zygo 是怎样的一个公司?
• Zygo 具有完全自主设计，研发，制造的能力… – 专业的测试方案：Zygo公司对于光学干涉测量具有独一无二 专业经验。能提供关于表面面形，粗糙度，材料特性，薄膜 厚度，平台精确定位等应用专业的工艺控制解决方案。 – Zygo提供超高精度，具有高技术价值的光学系统和光学部件。 这些部件包括尺寸达到米级别的平面镜，以及在医学和空间 科学应用中，所需要的光学部件。 • • • 纳斯达克上市公司，名称：ZIGO 作为业界的佼佼者，Zygo公司拥有广泛和多样化的客户基础。 历来在技术创新领域积极进取，成为新技术的领导者。>500 项已 经发布的专利技术，> 200 项正在申请的专利技术。 1983成为上市公司 成立于1970年.