SEM的景深

SEM的景深

在观察有纵深感的样品时，如果近处聚焦了，远处就离焦。在这种情况下，远、近图像模糊圈大，叫做景深大，如果远、近图像模糊圈小，叫做景深小。图8如所示，电子探针的平行度高（孔径角小），即使焦点变化很大，图像也保持聚焦，如果电子探针有一定的角度（孔径角大），焦点即使变化很小，图像离焦也很严重。象光学显微镜不使用电子探针时，从样品方向看到的物镜角度（孔径角）小景深则大，角度大景深则小。另一方面，即便是图像模糊，在倍率低的时候感觉不到，但在倍率增大的时候能够发现，也就是说，景深也随放大倍率的变化而改变。

图8 电子探针孔径角和景深图9 SEM和光学显微镜的景深

在图9的图表中显示了SEM和光学显微镜的不同景深，虽然光学显微镜中的实体显微镜获得的图像景深比较大，但用SEM 获得的景深还要大很多，这是因为与光学显微镜的物镜孔径角相比，电子探针的孔径角要小很多的缘故。此外SEM的景深根据观察条件而改变。

图10是用光学显微镜和SEM对螺丝断口进行观察的比较。由于样品表面凹凸不平，用光学显微镜，表面只有一部分被聚焦，而使用大景深的SEM，整个观察表面都被清晰地聚焦。

光学显微镜图像SEM图像

图10 同一视野的光学显微镜图像和SEM图像