蔡司场发射扫描电镜操作培训-zlm

图像的冻结是以手动 形式还是扫完整幅图 片后
积分次数或者是 平均次数
SEM Control：Stage界面
样品台目前所在的位置 双击数据区，输入你 想要去的位置。输入 后，样品台移动到你 输入的位置。 点击功能块，输入 你要移动的距离。 例如：现在样品台 X，Y的位置在 64.125，64.485 你 想让X和Y方向各移 动2mm，你可在 XY 激活后输入2， 2后点击OK即可。
• 测试时须换鞋，不得携带任何食物入内，测试完后打扫卫生，保 持扫描电镜室干净整洁。 • 测试完后必须进行登记！
电镜室隔间
隔间放有高纯氮气钢 瓶、水循环机、UPS电 源、干泵、空气压缩 机。 由于隔间内无空调， 水循环机给机器降温 散热量很大，所以隔 间门要打开，不得关 闭，尤其在夏天，否 则水循环机负荷太大 会损坏。
开关机操作说明
FESEM 主机的开机
首先将水冷机打开。确认控制面板上的3个灯亮（红圈中）。右侧的水机温度下降 到左侧的设定温度。 检查水机后面的压力表的读数。 如果有压缩空气机的话，打开压缩空气机。确保输出压力达到6 bar。 注意：本机长时间开机，一般操作人员只需在Standby按钮亮起时，按下旁边ON按钮， 绿灯长亮后即可进行下一步操作。
Baidu Nhomakorabea
快捷键： 详细说明 见下。
操作软件简介
操作软件简介
操作软件简介
操作软件简介
数据区：显 示电镜当前 的一些参数
控制真空，灯 丝开关，EHT 的开关。当 Gun或者EHT出 现绿勾时，代 表正在工作。 Vac出现绿勾时， 代表真空已经 达到工作要求
软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。当设备出现硬件 问题时，软件将自动出现提示
自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密 码，进入SmartSem软件。
system 无密码
软件简介：SEM Control 面板（启动 快捷键Ctrl＋g)
操作软件简介
SEM Control: Gun 界面
• 样品台一定要卡紧在样品室基座上，左右不得晃动！
样品台背面：卡槽
样品台的安装：请注意图片上箭头方向
• 样品观测结束后，一律将高压关掉（EHT OFF），否则 会影响灯丝寿命。 • 如需要回收样品，则取出样品后必须抽真空，否则会增 加抽真空的时间和难度。 • 关上氮气瓶阀门。 • 把重新设定的参数改回。 • 数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门在此机器上 刻录，禁止使用在其它机器上刻录过的光盘，禁止使 用U盘和移动硬盘。 • 设备的电源一定要保持持续和稳定，无需开关硬件电 源，每次实验后只需关闭电脑显示器电源。
点击此处，可以 选择灯丝的开关 和高压的开关
双击或者拉动滑块 可以改变不同的 EHT
严禁擅自更改 Fil I和Extractor V处的数值。如 需更改，请先 取得服务工程 师的同意。
SEM control: Detector 面板
选择SE2 探头收集极电压 值 选择不同的探头 选择两种不同探头的信号 进行混合 混合信号时，两个 探头的信号比例 调节图像的亮度 调节图像对比度
蔡司场发射扫描电镜操作培训
安全规则
• 设备的电源一定要确保持续 和稳定。
• 当设备出现短路，起火等重 大紧急故障时，切断设备电 源和UPS电源。电源开关见 下图红圈
• 当样品台移动的时候， 一定要在TV模式下， 确保其不会碰撞到探 头。（尤其是在样品 台上升的过程中）要 求WD>8mm
• 平时观测时，注意不要碰到左边的操 纵杆，以免样品高度和倾斜度发生变 化，损坏镜头和探测器！
SEM Control: Aperture 面板
选择不同的尺寸的光阑 激活此处，可进行 光阑对中 观察六孔光阑 的位置和形状 光阑对中 灯丝对中 像散校准 电子束移动 高电流模式
SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的 分辨率 扫描速度 图像噪音去除的六种方 式选择：帧平均，帧积 分，线平均，线积分， 像素平均，连续平均。
激活此处：样品台泄真空时， Z方向自动下降到最低点
激活此处：样品的上升 时，SEM的工作距离自 动进行更改。 激活此处：样品台控制 器失效
SEM Control：Vacuum界面
点击Pump，样品 室开始抽真空。
点击Vent，泄掉样品 室内的真空。
激活此处：当机器 在Standby状态时， 真空泵停止工作。
当空调停机的时候，应立即关闭主机和水机！！
注意：关机由管理员进行，一般测试人员不需要进行此项操作，只需按下进行 EHT off，关闭软件，按下Standby按钮。
操作软件简介说明
Smart软件的启动 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中选 择START PROGRAMS������ SMARTSEM ������ SMARTSEM USER INTERFACE
FESEM 主机的关机
按下黄色的Standby按钮（设备除真空 和MPSU电路板外的所有电路板关闭电 源）。 等待30秒后。 按下红色的Off按钮。设备的所有电路板 关闭。 15分钟后关闭水冷机和压缩空气机。
注意事项：
开机以前，一定要提前把空调打开。让房间里的温度控制到指 定要求。并很稳1－2小时。
注意事项
• 制样过程中，手不能直接接触小样品架及样品台，防止手上的 油脂等杂质污染真空系统，要戴手套。 • 需要倾斜样品时，需经电镜管理老师同意，不得自行倾斜样品！ • 放置电镜的台子不能放置其它物体，不能将身体靠在台子上！ • 电镜室温度范围：214C；湿度65％。 • 使用者不得更改计算机内之任何设定或私自加载任何软件，不得 将样品台、小样品架等电镜室内的物品携出SEM实验室。 • 样品台须放在干净的培养皿中操作，不能直接放在桌子上或其它 不洁净物体上面。用完后，样品台放入培养皿中盖好。
• 开关仓门时必须轻拉轻推，避 免撞击，震动极易损坏探测器。
安全规则
• 样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应基本一致， 样品表面平整，样品大小不得超出大样品台边缘（3英 寸硅片一次只能放入一片），高度不得超过30mm,重 量不得超过500g。
• 不允许放入：液体、有机、生物、不耐热、熔融蒸发、 松动粉末或碎屑等有挥发物样品！（电镜镜筒最怕污 染，无VP模式） • 凡是不导电样品必须镀导电膜。