金属油扩散泵介绍
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言：油扩散泵是一种常用的工业泵，广泛应用于石油、化工、制药等行业。
它的主要作用是将液体从低压区域抽送到高压区域，实现物质的输送。
油扩散泵的工作原理是通过油膜的扩散来实现液体的压力增加，这种原理有着较高的效率和可靠性。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
一、油扩散泵的基本结构油扩散泵通常由泵体、泵腔、压力传感器和控制系统等部分组成。
泵体通常采用高强度材料制成，以保证泵的密封性和耐腐蚀性。
泵腔是液体流通的主要空间，它由进口管道、出口管道和液体流动通道组成。
压力传感器用于监测泵的工作压力，以便实时调节泵的工作状态。
控制系统负责整个泵的工作过程的自动控制。
二、油扩散泵的工作原理油扩散泵的工作原理基于油膜的扩散效应。
具体来说，当泵启动时，泵腔内的液体经过进口管道进入泵腔，并在泵腔内形成液体膜。
随着液体的流动，液体膜逐渐减薄，从而形成了一个液体膜梯度。
在液体膜梯度的作用下，液体分子将向低压区域扩散，从而增加了压力。
同时，液体膜的减薄还会增大液体分子之间的相互作用力，使得液体分子更加紧密地排列在一起，从而进一步增加了压力。
三、油扩散泵的工作过程油扩散泵的工作过程可以分为吸液过程和压液过程。
在吸液过程中，液体通过进口管道进入泵腔，随后在液体流动的作用下，液体膜逐渐形成，从而实现了液体的吸取。
在压液过程中，液体膜梯度的形成使液体分子向低压区域扩散，进一步增加了压力。
同时，在液体分子之间的相互作用力的作用下，液体分子紧密排列，使得压力进一步增加。
控制系统会根据压力传感器的反馈信号，自动调节泵的工作状态，以保证泵的稳定工作。
四、油扩散泵的优点油扩散泵具有以下优点：1. 高效节能：油扩散泵采用油膜扩散的原理，工作效率高，能耗低。
k600t油扩散泵说明书
1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。
1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。
2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。
3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。
3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。
3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。
3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。
4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。
各橡胶密封处应密封可靠。
4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。
4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。
4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。
4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。
机械、扩散、分子泵工作原理
油扩散泵工作原理油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。
当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。
沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。
气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。
到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。
泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。
但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。
因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏（一、物质的分离和提纯基本原理混合物的分离是指用物理、化学方法将混合物中各组分分开，并恢复到原状态，得到比较纯的物质。
物质的提纯则只要将杂质除去即可。
物质提纯的原则为：不增（不引入新的杂质）、不变、易分离。
实验操作要简便，不能繁杂。
用化学方法除去溶液中的杂质时，要想把被分离的物质或离子尽可能除净，需要加入过量的分离试剂，在多步分离过程中，后加的试剂应能够把前面所加入的无关物质或离子除去。
二、常用的分离和提纯方法1.过滤过滤是除去溶液中混有不溶于溶剂的杂质的方法。
过滤时应注意：（1）一贴：将滤纸折叠好放入漏斗，加少量蒸馏水润湿，使滤纸紧贴漏斗内壁。
（2）二低：滤纸边缘应略低于漏斗边缘，加入漏斗中液体的液面应略低于滤纸的边缘。
（3）三靠：向漏斗中倾倒液体时，烧杯的夹嘴应与玻璃棒接触；玻璃棒的底端应和漏斗中有三层滤纸处轻轻接触；漏斗颈的末端应与接受器的内壁相接触，例如用过滤法除去粗食盐中少量的泥沙。
2.蒸发和结晶蒸发是将溶剂气化、使溶液浓缩从而使溶质析出的方法。
结晶是溶质从溶液中析出晶体的过程，可以用来分离和提纯几种可溶性固体的混合物。
加热蒸发皿使溶液蒸发时，要用玻璃棒不断搅拌溶液，防止由于局部温度过高，造成液滴飞溅。
当蒸发皿中出现较多的固体时，即停止加热。
莱宝油扩散泵使用说明书(GA04106-0702)
警告
遭遇伤害风险！ 扩散泵不适合抽空氧含量高于大气的气体。 每当抽空高氢含量气体时，应联系制造商。
警告
遭遇伤害风险！ DIP在 如 下 标 志 区 （ ﹥ 80℃） 运 行 会 很 热 ， 小 心烫伤。 防止触碰炙热部件，注意设备上危险警告，穿 防护服。 系统关断后，必须留有一段冷却时间。 只有泵破空和冷却状态下才能打开排油口或进 气口。 若 打 开 处 于 热 态 的 DIP泵 ， 有 被 泵 油 蒸 汽 烫 伤 的危险。 泵发热表面附近，禁止使用易燃物。
索引
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文操作说明书有出入的地方，应严格以原英文操作说明书为准。欢迎您的批评指教。 2
重要安全信息
为避免人身伤害，必须严格遵守的工艺和操作规 程。 为防止设备损坏，必须严格遵守的工艺和操作规 程。
按 照 操 作 说 明 书 的 指 导 正 确 使 用 ， 莱 宝 DIP油 扩散泵才能安全有效地运行。用户必须仔细阅 读 和 知 晓 本 文 的 安 全 警 告 。 此 DIP只 能 在 操 作 说明书中所述条件下运行。只有受训人员才能 操作和维护。特殊要求请咨询代理商。如有进 一步关于安全、运行或维护问题请联系最近的 莱宝办事处。
工 作 范 围 mbar
Hale Waihona Puke 极 限 总 压 2)mbar
最大容许前级
压力
mbar
充入油量
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
扩散泵技术参数
扩散泵技术参数
以下是扩散泵的技术参数：
1. 抽速：通常在1000-40000 L/s 范围内。
大多数扩散泵的抽速在
5000-20000 L/s 之间。
2. 最大背压：大多数扩散泵的最大背压在10-100 Pa 之间，但是一些高性能扩散泵可以达到1000 Pa。
3. 进口直径：通常在40-400 mm 范围内。
进口直径越大，扩散泵的抽速越高。
4. 噪音水平：扩散泵通常产生噪音水平在60-85 dB(A) 之间，但是一些高性能扩散泵可以降低到50 dB(A)。
5. 工作温度：扩散泵通常需要在200-300°C 的温度下工作，但是一些高温扩散泵可以在500°C 左右的温度下工作。
6. 操作压力：扩散泵通常需要在10-6 - 10-2 Pa 的真空范围内工作，但是一些高真空扩散泵可以达到10-8 Pa 的真空度。
7. 泵油：扩散泵通常需要使用硅油或烟酰胺（PAO）作为泵油。
液体喷嘴通常需要使用烟酰胺或氢氧化钠作为沉积物清洗剂。
8. 推荐用途：扩散泵通常用于真空蒸发，真空冷焊接，真空干燥，真空冷却，真空淬火和真空氧化等应用中。
K-600T油扩散泵说明书
1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。
1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。
2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。
3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。
3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。
3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。
3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。
4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。
各橡胶密封处应密封可靠。
4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。
4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。
4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。
4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种用于输送液体或气体的机械设备，主要利用机械作用将液体或气体从低压区域输送到高压区域。
具体而言，油扩散泵的工作原理如下：
1. 首先，油扩散泵将被输送的液体或气体吸入泵体内部。
这通常通过泵体内的一个吸入阀门实现。
吸入阀门会打开并允许流体进入泵体。
2. 当吸入阀门关闭后，泵体开始进行压缩。
这会导致泵体内的压力增加，从而推动液体或气体通过泵体的排出阀门。
3. 排出阀门打开后，压缩后的液体或气体会被推送出泵体，并通过管道输送到目标区域。
通常，泵体内会有一个压力调节阀，用于控制输出压力。
4. 一旦液体或气体被排出泵体，压缩力会减小，泵体内的压力也会下降。
此时，重复上述步骤，使得液体或气体连续地从低压区域输送到高压区域。
总的来说，油扩散泵通过吸入、压缩和排出的过程，实现了液体或气体的输送。
根据具体的工作条件和需求，油扩散泵的结构和工作原理会有所差异，但核心的工作原理大体相似。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种用于输送液态或气态介质的泵，它通过扩散原理将介质从低压
区域输送到高压区域。
其工作原理主要包括扩散、泵吸和排出三个过程。
首先，介质在低压区域通过扩散装置进入泵内。
扩散装置通常由多孔板或多孔
管组成，通过这些多孔结构，介质能够在低压区域自由进入泵内。
在进入泵内后，介质会被吸附到泵内的工作部件上，如转子或活塞。
接下来是泵吸过程，泵内的工作部件开始运动，将吸附在其表面的介质输送至
高压区域。
泵的工作部件通常由转子、活塞或膜片等构成，它们的运动使得介质能够被连续地吸附和输送。
在泵吸过程中，泵内的压力逐渐增大，介质也随之被压缩，从而能够被输送到高压区域。
最后是排出过程，泵内的介质被输送至高压区域后，通过排出装置排出泵外。
排出装置通常由阀门或喷嘴组成，它们能够控制介质的流动方向和流速，确保介质能够被有效地输送至目标位置。
总的来说，油扩散泵的工作原理是基于扩散原理和泵的吸排过程。
通过这些过程，泵能够将介质从低压区域输送至高压区域，实现液态或气态介质的输送和压缩。
这种工作原理使得油扩散泵在化工、石油、制药等领域具有广泛的应用，为工业生产提供了重要的支持。
扩散泵
一、扩散泵原理示意图真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。
油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。
·1、油扩散泵的概述：油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的，所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点。
不一样的一点是扩散泵工作在高真空区域，是获得高真空的主要设备。
其工作压强范围为10-2～10-6pa。
广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
2、油扩散泵的工作原理与结构：当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷射出来后，它的速度越来越快，压力及密度慢慢降低，喷射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环利用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，这样就可以逐级压缩，最后被前级泵抽走。
其抽速特性曲线如图所示。
3、油扩散泵的发展历程：历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。
1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。
这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以最终获得10-5帕的真空。
1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。
1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。
这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。
从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下了高真空技术的基础。
1960年代开始，油扩散泵又有了新的改变。
主要的改进是：①泵的材料采用放气量微小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。
③改变结构，新款的油扩散泵在泵的进气口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40%。
扩散泵原理
扩散泵原理引言扩散泵是一种用于真空工艺的重要设备，它通过分子扩散的方式实现气体的抽取和排放。
本文将详细介绍扩散泵的原理以及其工作过程。
扩散泵的定义扩散泵是一种基于分子扩散运动原理工作的真空泵，它通过将气体分子从低浓度区域传递到高浓度区域，从而实现气体的抽取和排放。
扩散泵广泛应用于半导体制造、真空冶金、核工业等领域。
扩散泵的结构扩散泵通常由下列主要部分组成： 1. 泵体：承担容器和连接管道的作用，通常由不锈钢制成； 2. 加热器：用于提高泵体温度，以加快气体分子的扩散速度； 3. 砗磲：位于泵体内部，用于增大表面积以增强分子扩散效果； 4. 压缩器：用于增加泵体内部气体的压力，提高气体分子的扩散速度； 5. 冷却器：用于降低泵体温度，以防止泵体过热。
扩散泵的工作原理扩散泵的工作原理基于分子扩散运动的特性。
分子扩散是指气体分子由高浓度区域向低浓度区域的运动。
在扩散泵中，气体分子从进气口进入泵体后，会与砗磲表面发生碰撞，并因扩散效应被传递到高浓度区域。
在高浓度区域，气体分子会继续向其他方向进行扩散，最终被排出泵体。
扩散泵的工作过程扩散泵的工作过程可分为以下几个步骤： 1. 加热：泵体通过加热器加热，提高其温度，以加快气体分子的扩散速度。
2. 扩散：进入泵体的气体分子会在砗磲表面发生碰撞，并扩散到高浓度区域。
3. 排放：在高浓度区域，气体分子会继续向其他方向进行扩散，最终被从排气口排放出去。
4. 冷却：泵体在工作过程中会产生热量，冷却器用于降低泵体温度，防止泵体过热。
扩散泵的优缺点扩散泵具有以下优点： - 抽取速度快：扩散泵的分子扩散效应使得气体的抽取速度较高，可满足高真空环境下的抽取需求。
- 无油污染：扩散泵不需要使用润滑剂，因此不会产生油污染问题，适用于对气体纯净度要求较高的场合。
然而，扩散泵也存在一些缺点： - 温度限制：扩散泵需要通过加热来提高分子扩散速度，因此存在温度限制，不能处理温度过高的气体。
扩散泵原理
扩散泵原理一、扩散泵的概述扩散泵是一种常用于真空系统中的高效气体排放设备，其主要作用是将气体从高压区域输送到低压区域，从而实现真空度的提升。
扩散泵广泛应用于半导体、光学、仪器仪表等领域，其原理基于气体分子在高温下与金属表面相互碰撞而产生的扩散作用。
二、扩散泵的结构1. 扩散泵主体扩散泵主体通常由不锈钢或铝合金制成，内部设置有热阱和电加热器。
热阱位于扩散泵主体底部，其作用是收集被吸附在壁面上的杂质和水分，并通过电加热器将其蒸发掉。
2. 扩散泵转子扩散泵转子是扩散泵中最重要的部件之一，由不锈钢或镍合金制成。
转子上覆盖着许多小孔，当转子旋转时，这些小孔会与静止的固定板上的相应小孔对齐，并形成一系列漩涡，从而将气体从高压区域输送到低压区域。
3. 扩散泵冷却器扩散泵冷却器通常由水或空气冷却，其作用是降低扩散泵主体和转子的温度，从而减少气体分子在内部碰撞的机会，提高扩散泵的效率。
三、扩散泵的工作原理1. 气体分子的扩散当气体分子进入扩散泵主体后，会被吸附在内壁上，并通过热阱和电加热器蒸发掉。
在此过程中，气体分子与金属表面相互碰撞，并发生扩散作用。
这种作用类似于溶液中溶质分子向溶剂中自由移动的过程。
2. 气体分子的输送当转子旋转时，其上覆盖着的小孔会与固定板上的小孔对齐，并形成一系列漩涡。
这些漩涡将气体从高压区域带到低压区域，并通过出口管排放出去。
整个过程类似于离心式风机将空气吸入并排放出去的过程。
3. 温度的控制在扩散泵中，温度是一个非常重要的因素。
通过控制扩散泵主体和转子的温度，可以控制气体分子在内部碰撞的机会，从而提高扩散泵的效率。
通常情况下，扩散泵主体和转子会通过冷却器进行降温。
四、扩散泵的应用由于其高效、稳定、可靠等特点，扩散泵被广泛应用于半导体、光学、仪器仪表等领域。
在半导体工业中，扩散泵通常用于真空蒸镀和离子注入等工艺中；在光学领域中，扩散泵则用于真空蒸镀反射镜等设备中；在仪器仪表领域中，则用于真空测量设备和质谱仪等设备中。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言：油扩散泵是一种常见的工业设备，主要用于将液体或气体中的油分子扩散开来，以实现泵送或抽取的目的。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理，包括其构造、工作流程和应用场景等方面的内容。
一、油扩散泵的构造油扩散泵主要由真空室、油蒸汽发生器、冷凝器、油过滤器、油泵和控制系统等部件组成。
其中，真空室是整个系统的核心部分，起到扩散真空作用的关键。
油蒸汽发生器利用加热装置将液态油转化为蒸汽状，冷凝器则将蒸汽冷凝为液态油，以保证系统的正常运行。
油过滤器用于除去杂质，保持油的纯净度。
油泵则负责将液态油送入系统，以维持其正常工作。
二、油扩散泵的工作流程1. 开始工作时，首先启动油泵，将液态油送入真空室。
2. 液态油经过油蒸汽发生器中的加热装置，被加热转化为蒸汽状态。
3. 蒸汽进入真空室后，与空气或其他气体中的油分子进行扩散反应，使油分子逐渐分散到更大的范围内。
4. 分散的油分子被吸附在真空室的壁面上或被其他部件捕获。
5. 经过一段时间的工作，蒸汽中的油分子会逐渐减少，减小真空室中油分子的浓度。
6. 为了保持系统的正常运行，需定期清理或更换油蒸汽发生器中的油，确保油的纯度和质量。
三、油扩散泵的应用场景油扩散泵广泛应用于真空冶炼、电镀、医疗设备、半导体制造等领域。
具体而言，它在真空冶炼中用于抽取高纯金属的含气体，以保证产品质量。
在电镀行业，常用于将有毒气体如铜蒸汽抽取。
在医疗设备中，油扩散泵常用于真空干燥、真空冷冻、真空包装等。
同时，油扩散泵的高效、稳定性能使其成为半导体制造过程中的重要设备。
结论：油扩散泵利用油蒸汽发生、扩散和吸附的工作原理，有效实现了液体或气体中的油分子的分散和抽取。
它的工作流程清晰简单，能够在各种应用场景下发挥重要作用。
随着工业技术的不断发展，油扩散泵将继续得到更广泛的应用和改进。
金属油扩散泵工作原理
金属油扩散泵工作原理
1.金属油扩散泵的结构主要由泵头、泵座、阀体和阀芯组成。
泵头是金属泵的核心部件，它的形状像一个倒扣的漏斗，口径略
大于扩散管口径，使气体和扩散管直接接触。
扩散管是一种特殊
的空心圆筒式管道，其管壁上开有许多小孔，在流体通过时可使
气体和液体直接接触。
2.阀体是泵头与泵座之间的连接部件。
它是一个中空的圆筒，内装阀芯，阀芯上开有小孔。
当气体通过时，在扩散管内壁形成
真空并推动阀芯向外移动，当阀芯到达出口时与进口连通，而气
体则由小孔流出。
3.在泵座内装有一个单向阀，它的作用是防止气体倒流和防
止油从泵座侧面流出。
在金属油扩散泵中还装有一个精密机械弹
簧式安全阀，它可以防止在工作过程中由于油压变化或温度变化
而引起的油从扩散管中倒流。
4.金属油扩散泵一般可在-10~50℃范围内正常工作。
在工作
过程中若温度变化超过允许范围时，将引起油从泵座侧面流出。
—— 1 —1 —。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理一、引言油扩散泵是一种常用的真空泵，主要用于高真空系统中的抽气和漏气检测。
其工作原理基于油分子在高温下蒸发并扩散到低压区域，从而形成真空。
二、油扩散泵的结构1. 泵体：通常由不锈钢制成，内部光滑无缝。
2. 油箱：位于泵体底部，用于存放工作介质（液态矿物油）。
3. 加热器：位于油箱下方，用于加热工作介质并提高其蒸发速率。
4. 气密性密封件：用于保证泵体内外的气密性。
5. 油雾分离器：位于排气口处，用于分离排出的油雾和气体。
6. 冷却器：位于排气口处，用于冷却排出的气体并凝固其中的油雾。
7. 电机及传动装置：用于驱动泵体旋转。
三、油扩散泵的工作原理1. 初始状态当油扩散泵处于初始状态时，加热器和冷却器均关闭。
此时，泵体内部的压力与外界相等，油箱中的液态矿物油处于静止状态。
2. 启动过程当电机启动时，传动装置会带动泵体旋转。
在泵体旋转的同时，加热器也开始工作，将油箱中的液态矿物油加热至高温状态。
高温下，液态矿物油开始蒸发并扩散到低压区域。
3. 扩散过程随着液态矿物油的蒸发和扩散，泵体内部的气体分子被逐渐排出。
由于扩散速度与气体分子数密切相关，因此在真空度较高的情况下，扩散速度会更快。
4. 排气过程当泵体内部的气体被排出后，它们会通过排气口进入冷却器。
在冷却器中，气体被冷却并凝固其中的油雾。
凝固后的油雾会落入油雾分离器中，并返回到油箱中重新循环使用。
5. 停止过程当需要停止油扩散泵时，加热器和电机会停止工作，泵体逐渐停止旋转。
此时，油箱中的液态矿物油会回流到泵体内部，泵体内部的压力也会逐渐恢复至初始状态。
四、总结油扩散泵是一种基于油分子扩散原理的真空泵。
其工作原理简单明了，但需要注意保持加热器和冷却器的合理使用，以确保油扩散泵在长期运行中能够稳定高效地工作。
K-600T油扩散泵说明书
1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。
1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。
2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。
图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。
3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。
3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。
3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。
3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。
4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。
各橡胶密封处应密封可靠。
4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。
4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。
4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。
4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。
油增压泵与油扩散泵
油增压泵(一)油增压泵结构与工作原理油增压泵和扩散泵一样都做成多级的。
利用伞形喷嘴和喷射喷嘴组成泵的导流系统。
从外观上看油增压泵和油扩散泵相似，只是内部导流系统稍有差别。
( )油增压泵的抽气原理也和油扩散泵扣似。
用加热器加热油锅中的油，油受热沸腾，变成油蒸气沿导流管上升从喷口喷出，喷出的油蒸气夹带着泵入口处的气体打到泵体冷却壁上，油燕气被冷凝为油滴流回油锅内，气体则被下一级喷嘴抽走，直至送到被机械泵排到大气中。
(二)油增压泵与油扩散泵的区别(1)油增压泵工作范围在0.133322-13.3322Pa之间，而油扩散泵的工作范围在1.33322一13.3322 Pa之间。
油增压泵在0.13332 Pa以下低真空时工作性能最好，而油扩散泵是在0.133322Pa以上高真空时工作性能最佳。
(2)油增压泵是通过油蒸气与气体分子间的粘滞作用来使气体分子向下运动的，而扩散泵抽出气体则是通过气体分子扩散到蒸气流中，被高速油燕气分子碰撞，使得气体分子具有向下运动的速度。
(3)油增压泵在低真空工作时，要求油蒸气的密度大，气流速度大，一般可达音速的三倍，这样就需要大量的油蒸气供给喷口，故装油最和加热功率均需要很大，而扩散泵在高真空范围内工作时，要求油蒸气的密度小，速度也比增压泵小，因此装油MT和加热功率均小。
例如:4500L/s的油增压泵的加热功率为25kW,装油量为20L。
而5000L/，的油扩散泵的加热功率为7kW,装油量为3-5L.(4)油增压泵所使用的油与扩散泵油也是不同的，增压泵油比扩散泵油在正常沸腾沮度下抗分解，抗氧化能力高，甚至在应用时与大气接触对其性能也没有影响。
而其常温下的饱和蒸气压比扩散泵油高，约为1.33322 x 10-3Pa。
(5)由于油的性能、加热功率、装油量与扩散泵不同，所以油增压泵的性能与扩散泵也就不同。
它的最大出口压强比扩散泵高，扩散泵的最大出口压强约为13.3322-66.6610Pa，油增压泵的最大出口压强为133.322~1333.322Pa。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理概述油扩散泵是一种常用的设备，用于将液体或气体扩散到更大空间。
它具有高效、可靠的特点，在很多行业得到广泛应用。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
工作原理油扩散泵的工作原理涉及到两个主要过程：油蒸发和扩散。
1. 油蒸发油扩散泵中的工作液体通常是一种易挥发的油。
在泵内加热工作液体，使其达到沸点，液体开始蒸发。
蒸发的液体经过一系列构造精密的通道，形成气体状态。
2. 扩散蒸发的气体在泵内被抽出，并通过泵的排气口排出。
在油扩散泵内部，有一个扩散器。
扩散器通常由许多小孔组成，形成一个环形的结构。
蒸发的气体从扩散器的小孔中释放出来，进入到扩散器的真空空间中。
在这个过程中，气体会因浓度差异而扩散。
即使在非常低的气体压力下，气体分子也会朝着低浓度的方向扩散。
工作流程了解油扩散泵的工作流程有助于更好地理解其工作原理。
1. 启动首先，油扩散泵需要通过加热使工作液体达到蒸发温度。
启动过程中，通过控制加热功率来控制工作液体的蒸发速率。
一般来说，启动时加热功率会较高，以加快蒸发速度。
2. 吸气当工作液体开始蒸发，泵内的压力开始下降。
此时，泵会吸入外部的气体，将其排出泵外。
泵在吸气过程中需要保持一定的真空度，以获得更高的抽气效率。
3. 扩散蒸发的气体经过泵内的扩散器，向环形的扩散空间进行扩散。
扩散过程中，气体会逐渐从高浓度区域向低浓度区域扩散。
4. 排气扩散后的气体进入排气管道，在泵外被排出。
排气的速度取决于泵的抽气速度和气体的浓度。
优缺点油扩散泵具有一些独特的优势和限制。
优点•高效：油扩散泵在低压力范围内具有较高的抽气速度和较好的抽气效果。
•可靠：油扩散泵结构简单，维护方便，使用寿命长。
•稳定性好：油扩散泵适用于大部分气体和蒸气，工作稳定可靠。
缺点•污染：油扩散泵在工作过程中需要使用润滑油，可能会导致气体被污染。
因此，在一些对气体纯度要求较高的应用中，需要慎重选择。
•高成本：与其他气体泵相比，油扩散泵的成本较高。
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金属油扩散泵介绍
金属油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。
金属油扩散泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。
金属油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
油扩散泵与水银扩散泵的比较
水银扩散泵是1915年发明的，但自1928年发现可以用油作为工作液体代替水银后，水银扩散泵不太被人们重视，油扩散泵便发展很快。
1938年已经出现了金属三级分馏油扩散泵，油扩散泵发展后，在大部分实验室研究工作和工业上的用途上，油扩散泵代替了水银扩散泵，这是因为油的蒸汽压比水银的小得多，因此使用水银扩散泵时，必须使用液体空气或干冰，而使用油扩散泵时只用冷水甚至空气冷却就可以了。
更重要的是，水银蒸气有毒性，因而在使用水银泵的实验内，如何避免水银蒸气散在室内空气中是很难的问题。
尤其是，当玻璃的水银扩散泵发生炸破事故时，大量的热水银蒸气发散出来，对人更是危险。
此外，水银对各种有色金属具有腐蚀性，也是它的严重缺点，但是油也有它的缺点，它很怕氧化，它的前级耐压低，在高电压的真空设备上，油的蒸气附在电极上会使耐压下降等等。
因此，在油扩散泵发展以后，水银扩散泵在某些实验室用途上仍有它的特殊作用，不过大部分高真空工作中都用油泵。
金属油扩散泵的优点
金属油扩散泵最大的优点：金属油扩散泵坚固不易碰坏;其次是大型的扩散泵必须做金属的，现在一般大的玻璃油扩散泵速度只有100—200升/秒;而大的金属油扩散泵可以达到20000—40000升/秒，因此一切大型的真空设备都用金属的油扩散泵。
由于大型玻璃活门难制，使玻璃油扩散泵更没有向大型方向发展的可能。
另外，因为金属加工容易比玻璃精确，金属扩散泵易于制造，这也是它的优点。
金属油扩散泵的简单工作原理
当用机械泵把金属油扩散泵和被抽容器中的空气抽到很稀薄时，我们把金属油扩散泵的油用电炉加热到200℃左右时(各种油不同)，油的蒸气压上升到0.5—1毫米，蒸气便由各级喷口喷出，喷出方向是向下向外，打在水冷却的壁上便凝结流下，流回锅炉，不停地加热，油蒸气便不停地喷出来，喷出的蒸气分子流的速度
大约是每秒200米以上，原有的空气分子遇到蒸气喷流便被打下来，于是渐渐上面的气压便比下面的气压小，上面便形成了高真空，这便是最粗浅的扩散泵工作原理。
怎样提高金属油扩散泵能够达到的真空度
金属油扩散泵抽到极限真空时所剩余的气体包括下列各项:(1)反扩散的空气分子;(2)漏气;(3)出气、虚漏;(4)橡皮圈出气及透过性;(5)油的分解物;(6)油的蒸气等项。
为了提高真空，要采取下列措施：
(1)使用好的油，不分解的以DC—703为最好;
(2)加强分馏作用，我们的三级分馏扩散泵，除有分馏筒外，还加上分馏圈，通过油的孔都形成180°距离，使油尽量走长的距离;
(3)为了消灭橡皮出气透过的作用，金属刀口泵或将是今后重点努力的方向;
(4)为了减少油的吸收气体作用及加强内杂质的排出，我们采用了另一油扩散泵为前级，同时可以避免可能机械泵油反扩散的作用;
(5)根据经验，泵体及喷口所用的材料以铁、紫铜、铝三种可用，黄铜不可用;因为在高温下，锌会蒸发出来，引起油的分辨作用。
理论上，玻璃及搪瓷或真空蒸镀的表面可能有利;
(6)降低锅炉底的温度，因为油的温度在锅炉表面是最高的，因此分解可能主要是在这地方，减低温度方法有三个：(A)减少喷口的面积，并且加放散热以减少负担;(B)增加热对流的效应，减少面部油的过热;(C)炉底分为两部，分别调节加热的功率。
(7)长时间的抽气以及利用冷却技术。
综上所言，金属油扩散泵对于一般高真空技术的应用，即在一定极限真空是很容易达到的，我们可以完全采用国产材料来达到。