扩散常见异常处理

工艺控制点异常
2.扩散方阻超出下限 情况3：扩散某台机台整体方阻整体超出正常范围5Ω/ ♢以内 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，检查片源电阻率情况、废排情况， 若有异常通知相关部门调试异常，若上述情况正常，进行各个炉管DLV调试。 （备注：运行记录检查方法、DLV调试方法同上。）
片子的处理办法：选一、二组片子下传观察效率，无明显异常整体下传并跟踪 效率。
工艺控制点 检查分析
外围动力情 况检查
• 整理检查各Tube热排、废排点检数据，并作出折线图。 • 收集整理扩散车间洁净度点检情况，分别作出大/小颗粒折线图。 • 对比效率折线图，查看效率波动时间点与外围动力波动时间点是否存在关系。
物料更换情 况
• 与外围动力沟通，统计外围气体（N2、O2）更换日期。 • 整理各Tube三氯氧磷更换时间节点。 • 对比效率折线图，查看气体及POCl3更换时间与效率波动是否存在直接关系。
图4：选择Recipe 界面
扩散工序更改工艺步骤
在CCC软件中导入与导出炉管工艺步骤如下：
图1：打开CCC-RM软件， 点击界面，输入密码
该栏中为炉管 中已有工艺
图2：点击图上选项， 弹出图3对话框
图3：选中需要导入工艺 的炉管号
该栏中为电 脑中已有工 艺
图6：选择需要导出的工艺点击 向右的箭头，完成工艺导出
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 情况4：扩散某台机台整体方阻整体超出正常范围5Ω/ ♢以内 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，检查片源电阻率情况、废排情况， 若有异常通知相关部门调试异常，若上述情况正常，进行各个炉管DLV调试。 （备注：运行记录检查方法、DLV调试方法同上。）
片子的处理办法：选一、二组片子下传观察效率，无明显异常整体下传并跟踪 效率。
工艺控制点异常
3.均匀性异常调节 情况1：若出现方阻正常，均匀性异常情况按如下步骤进行： 解决方法：首先，选择该组均匀性超片的片子进行抽测，观察均匀性，若仍不正 常，按如下操作。
是 检查是否需要更换磷源、外围 是否正常、判断是否为片源问 题 否 运行下一管观察均匀性是否正常 不 正 常 微调DLV，将各温区方阻趋于 中心值 更换磷源、调节外围 正常 无需调节
图6：在图5中调试完成后，按图6方式保存。
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 情况2：某一炉管方阻超出上限5Ω/♢以上。 解决方法：首先检查运行记录、磷源温度是否有报警，若无报警请设备人员检 查炉管密闭性、热电偶是否存在其他异常情况，若无异常运行下一管观察方阻。
片子的处理办法：1、若片子颜色与扩散后片子接近或颜色较浅，将片 子进行反面扩散，跟踪效率，若颜色较深，将其进行返工。 2、进行返工处理。
图4：选择需要导入的工艺点 击向左的箭头，完成工艺导入。
扩散常见异常处理
编写人：扩散工序 日期：2013.8.29
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Lightway New Green Energy Co., Ltd
目录
工艺控制点标准
工艺控制点异常
效率异常
扩散工序更改工艺方法
工艺控制点标准
扩散半成品标准 LWX01B工艺
名称 平均方阻 炉管均匀性 单点异常 标准 85±15Ω /□ ≤13% 85±20Ω /□
产生的片子处理方法：该组片子单独下传，观察效率情况。
工艺控制点异常
2.扩散方阻超出下限 情况2：某一炉管整体方阻严重超出下限或超出下限5Ω/□以上。 解决方法：首先检查运行记录、磷源温度是否有报警，若无报警请设备人员检 查热电偶 等是否存在其他异常情况，若无异常观察下一管进行观察。
产生的片子处理方法：该组片子进行返工处理。
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 情况3：某一炉管某一温区明显异于其他温区，如炉口、炉尾方阻较其他温区 高10Ω/♢左右。 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警请设备人员检查炉管密闭 性、热电偶是否存在其他异常情况，若无异常运行下一管工艺观察方阻情况。 （备注：运行记录检查方法同上。） 片子的处理办法：质检对各个篮子中片子进行抽测，将异常温区片子取出、返 工，其它温区片子下传，跟踪效率。
LWX02工艺
名称 平均方阻 炉管均匀性 单点异常 标准 75±15Ω /□ ≤13% 75±20Ω /□
扩散外围条件标准
名称 废排 热排 标准 0.8-1.0mbar 0.8-1.2mbar
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 情况1：某一炉管整体方阻或某一温区接近上限或超出上限5Ω/♢以内。 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警按如下步骤进行。
检查是否需要更换磷源
否
是
更换磷源
正常
运行下一管观察方阻是否正常
不 正 常
无需调节
进行DLV调试
产生的片子处理方法：该组片子单独下传，观察效率情况。
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 运行记录检查方法如下：
图1：在工艺电脑上选 择上图软件，并打开， 弹出图2对话框
图2：点击红圈中按钮 弹出图3对话框
图3：选择需要查看的 炉管号等信息
若图4中全选为工 艺详细运行记录
图5
图4：选择需要查看的信息， 然后点击OK，弹出图5对话 框
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 DLV调试原则及方法 调试原则：1、方阻较正常范围高1Ω/♢，DLV中温度上调1℃。 2、DLV中从炉口至炉尾温度趋势基本为依次降低。 3、DLV各温区温度调试区间炉口到炉尾依次为：（11，-5），（9， -7），（8，-8），（3，-13） ，（1，-15）。 调试方法：
产生的片子处理方法：将均匀性严重异常温区的片子拿出，其余片子单独下传， 观察效率情况。
工艺控制点异常
3.均匀性异常调节 情况2：单点异常。 解决方法：首先，选择该组均匀性超片的片子进行抽测，观察均匀性，若仍不正 常，按如下操作。
是 检查是否需要更换磷源、外围 是否正常、判断是否为片源问 题 否 运行下一管观察均匀性是否正常 不 正 常 微调DLV，将各温区方阻趋于 中心值 更换磷源、调节外围 正常 无需调节
图1：选择工艺 电脑中如图软件， 并进入，弹出图 2对话框
图2：选择红圈中DLV单击，弹出 图3界面
图3
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 调试方法：
图4：选中图3中右侧DLV文件点击 下方check out，将其导入左侧， 然后点击下方Edit，弹出图5界面。
图5：在图5界面中选择需要调试的炉 管号及其对应的工艺名称，对下面参 数进行调试。
扩散工序更改工艺步骤
扩散炉上更改工艺步骤如下：
图1：点击run，将设 备暂停，然后点击问 号处，弹出图2对话框
图2：输入用户名和密 码，然后点击OK按钮
图3：点击上图中的Setup， 弹出图4对话框
图6：在Recipe行右侧下 拉菜单选择需要的工艺 点击右下角的Apply
图5：点击右下角的 Modify
工艺控制点异常
2.扩散方阻超出下限 情况1：某一炉管整体方阻或某一温区接近下限或超出下限5Ω/♢以内 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警按如下步骤进行。
是
查看生产是否为刚换过磷源 否 运行下一管观察方阻是否正常 不 正 常 调节DLV 调节DLV 正常 无需调节
DLV调试原则：1、方阻较正常范围低1Ω/♢，DLV中温度下调1℃。 2、DLV中从炉口至炉尾温度趋势基本为依次降低。 3、DLV各温区温度调试区间炉口到炉尾依次为：（11，-5）， （9，-7），（8，-8），（3，-13） ，（1，-15）。 调试方法：同上。
产生的片子处理方法：将均匀性严重异常温区的片子拿出，其余片子单独下传， 观察效率情况。
效率异常
电池车间出现整体效率异常，扩散工序排查方法：
• 测试分析扩散后少子寿命，对比正常时期/正常线别的少子寿命，检查是否存在异常。 • 整理检查各Tube方阻、均匀性。 • 做出各个Tube的SPC折线图（方阻、均匀性）是否存在异常。 • 查看效率异常前后SPC是否存在异常。