多晶制绒异常情况处理

换药的时候一定要暂停生产并等换完药后再生产
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下料的硅片表面没有清洗干净
1、检查NaOH槽、酸洗槽气动泵气压，是否因为气压太小导致泵未打开，引起各槽浓度过低，而清洗不干净
2、检查碱洗酸洗槽的配药时间是否清洗已超过20000片，如超过必须换药后再生产
将未清洗干净的硅片再次返工清洗
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配槽时进液时间太长
供酸房管道不够大，导致与库特勒设备供酸时间匹配不一致
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刚配完液时腐蚀量不足
1、整体溶液未被激活，而部分溶液温度不稳定，如果可以就Baidu Nhomakorabea部分假片
2、在溶液激活的情况下腐蚀量仍不足，建议加一些HNO3，少加HF
注：
1、出现异常现象后，在分析工艺原因时务必结合现场的实际情况，检查设备的各槽体和其他部门是否有异常（比如腐蚀液状况是否正常，温度波动是否在工艺范围要求内，自动补液系统是否有堵塞等），并请设备人员协同一起解决。
6
制绒后片子表面有棕黄色残留物
1、手动NaOH加液，一般加2到3L，再观察情况，若一批以后情况仍无改善通知当班工艺技术员
2、检查3槽出口风刀是否风量过小或堵住，导致携带很多水进入4槽，而无法硅片表面清洗干净
检查NaOH的配药时间，是否已经清洗超过20000片
7
减薄量逐渐变小，加液后没有明显效果
检查2号槽出口水刀放置的角度是否偏移或者水流量是否过大，导致部分水流入制绒槽
工艺常见问题以及解决方法（Intex）
常见问题
解决方法
备注
1
腐蚀槽漏液，表现为腐蚀槽流量明显下降
手动加液（HF加液每次5L，HNO3和DI水按溶液设定的初始配比加）
可能是后面的循环泵漏液导致腐蚀液液面下降
2
腐蚀量过高
加快带速或降低腐蚀槽温度（在可调范围内调节，否则通知当班工艺技术员）
在该腐蚀量回到正常水平的时候，应该将所调节的参数改回原数值
注意水刀放置时角度，还有风刀的角度，每次清线后都要检验
8
称重片在整批次的位置不统一
由于每天第一批次所生产时温度较低，故第一批次的腐蚀量较低，而后面批次的腐蚀量会随着温度的提高而提升，所以称重片要放在整个批次的中间
这样不会导致称重片的腐蚀量变化过大导致在过程中误操作补液量
9
集中供液添加桶添加时间过长
检查酸房供酸桶是否已抽空并换桶，检查储液桶的液位传感器是否正常，以及酸房是否报警，如有异常必须通知当班工艺技术员和设备人员
2、可调范围在各工序的PPM里，请工艺人员仔细阅读，若有更新会及时通知。
3
腐蚀量过低
降低带速或升高腐蚀槽温度（在可调范围内调节，否则通知当班工艺技术员）
4
制绒后片子表面发亮
减少HNO3的补液量（在可调范围内调节，否则通知当班工艺技术员）
在该表面情况回到正常水平的时候，应该将所调节的参数改回原数值
5
制绒后片子表面有过多暗纹
减少HF的补液量（在可调范围内调节，否则通知当班工艺技术员）