洁净室一次回风处理过程及DDC控制、节能分析

洁净室一次回风处理过程及DDC控制、节能分析

摘要：本文以千级洁净室为例，分析了洁净空调送风量、送风温差以及送风状态点的确定方法，介绍了DDC自动控制系统在洁净室空气处理过程中的应用，分析了在高热少湿型洁净室中常用的一次回风空气处理方式，与传统一次回风空气处理过程相比较，在洁净室空气处理过程中应用合适的一次回风空气处理方式，可节省再热量及等量的冷量，同时应用DDC自动控制系统，可实现变水量运行，精确控制空调温湿度，节能效果显著。

关键词：送风量，一次回风，DDC自动控制，变水量，节能

在洁净室的设计过程中，其送风量一般按换气次数确定，对于百级以上洁净室，其要求严格，为洁净单向流，一般不按换气次数确定，其送风量为：送风口有效面积*出风口风速（风速一般为0.25m/s~0.3 m/s，考虑衰减，一般取0.4 m/s ~0.45 m/s）。千级洁净室：50～60次/h，万级洁净室：15～25次/h，十万级洁净室：10～15次/h[1]（对于高热型电子厂房应还要按消除余热去计算送风量，两者取较大值）。其送风状态点较之舒适性空调难确定。现以某电子厂洁净室夏季一次回风系统为例，设计参数见下表：

洁净室设计参数表1

风量负荷计算见下表：热湿比的定义为空气的焓变化和湿量变化之比ε=Q/W Q为室内计算的热负荷W为室内计算是湿负荷

洁净室风量负荷计算表2

3 136 3 15 16 6120 20 0.00092 21739 612 5508

备注：新风量取10%

空气处理过程：采用一次回风处理方式，室外新风与回风混合后处理至露点L，经再热后至送风状态点O，由O点沿热湿比线吸收室内余热余湿后，达到室内状态点。处理过程如下图所示：

图1：洁净室一次回风空气处理焓湿图

由于洁净空调是根据送风量来确定送风温差（送风温差较小），故一般不能采用露点送风。

各状态点确定（以千级洁净室为例）：

Δh=Q/G

Δh：室内状态点同送风状态点的焓差（i n-i o）；

Q：室内余热；

G：房间送风量；

室内状态点焓值i n为：50.26kJ/kg，Q：40 kw，G：23430 m3/h（7.81kg/s），可得：

Δh=40/7.81

=5.12kJ/kg

即可求出送风状态点的焓值i o =45.14 kJ/kg，过i o作等焓线与热湿比线（对于高热型电子厂房，室内散湿量极少，主要散湿源为人体散湿，热湿比线近似于垂直，所以对回风的处理不能是除湿过程）的交点即可得送风状态点O。L点：连接室内点N与送风状态点O，并延长与95%等相对湿度线相交，即得L点。M点：根据新回风混合，混合比等于新回风之反比，即NM/MW=新风量/回风量，即得M点。各状点参数见下表：

各状态点参数表3

由图可知：

室内负荷：Q1=G*（i n-i o）

=7.81*5.12

=40kw

新风负荷：Q2=G w*（i w-i n）=G*（i w-i n）

=0.781*41.82

=32.7kw 再热量：Q3=G*（i o-i l）

=7.81*3.94

=30.77kw

总负荷：Q= G*（i w-i l）=Q1+Q2+Q3

=40+32.7+30.77

= 103.5kw

同理可计算其他几间洁净室的冷量同再热量。

洁净室一次回风冷量同再热量表4

对于上述十万级洁净室，若按规范所要求的换气次数去确定其送风量，进而计算确定送风状态点，可发现，由于送风量过小，在焓湿图上找不这一状态点，此时送风量必须按消除室内余热来计算（此情况下可采用露点送风，不须再热）。

上述十万级洁净送风量：

G=Q/i n-i l

=30/(50.26-41.2)

=3.31kg/s（9933m3/h）

新风负荷：G w=0.331*（92.08-50.26）

=13.84kw

观察分析可知，在一次回风系统中须再热，浪费能源，同时由于冷热抵消，还要多消耗等量的冷量，不符合节能原则。

由于现阶段，自动控制技术越来越成熟，大部分工程公司都采用PI控制器或DDC控制器来控制空调的温湿度（控制冷冻水流量），控制原理如下图所示：

图2：DDC自动控制原理图

控制原理：

安装在回风管内的温度传感器T检测的温度送至DDC与设定的点相比较，用比例积分控制，输出相应的电压控制电动调节阀M的开度，从而精确调节冻冻水流量，使送风温度保持在所需要的范围内。

同理，安装在回风管内的湿度传感器H所检测的湿度送往DDC与设定值相比较，用比例积分控制输出相应的电压信号，控制表冷器电动调节阀或加湿器的电动调节阀的开度，控制除湿量或加湿量，使送风相对湿度保持在所要求的范围内。

由于DDC根据回风所反馈的温湿度自动控制冷水的流量同加湿用蒸汽量，控制精确，故现对DDC的使用已走进了一个误区：对于一次回风系统不使用再热，完全依赖DDC的自动控制，即室内多少负荷，通过DDC控制电动阀，给冷盘管多少冷冻水量，或相当一部分人认为，用DDC控制冷冻水量，便处理过的空

气直接达到送风状态点，省去再热量同等量的冷量。通过分析可知，仅用DDC控制不能使空气状态直接达到送风状态点。结合焓湿图，详细分析如下：

方案1：方案2：

图3：方案1空气处理焓湿图图4：方案2空气处理焓湿图方案1:从焓湿图可看出：从M点到O点是一个降温除湿过程，但O点不是露点，且线段MO上任一点都不存在露点，故从M点直接处理至O点是不可能实现的。

方案2：从焓湿图可看出：从M点到L点是等湿过程（即提供的冷冻水温度高于其露点，即干盘管），从L点到O点为等焓除湿过程，这一个过程难以实现。

方案3：从焓湿图可看出：新风集中处理至露点L（承担部分室

负荷），室内回风处理至L’点（等湿过程），处理过的新风同回风的混

合点刚好在送风状态点O上：L’O/OL=新风量/回风量。

此种空气处理方式，新风由新风机组集中处理，再与处理过的回

风混合至送风状态点，省去再热量，适用于多图5：方案3空气处理焓湿图个回风机组集中布置。

对于此种空气处理方式，回风机组同新风机组对冷冻水水温要求不同，由于冷水机组的冷冻水供回水温度通常为7o C-12o C，故新风机组直接引自冷水机组冷冻水即可，而回风机组所用冷冻水则须经换热器换热。回风处理状态点可由DDC控制系统精确控制。各状态点参数如下表所示：

一次回风各状态点参数表5 状态点干球温度湿球温度露点温度相对湿度含湿量焓

o C o C o C % g/kg kJ/kg N 24 17.8 14.4 55 10.22 50.26

W 35.7 28.5 26.4 58.8 21.83 92.08