全自动9槽硅料清洗机

4.3.2 超声波清洗工位
位置
2、8#槽
处理方式
超声波+鼓泡+旋转
时间 处理液 槽材质 处理温度 时间管理
超声波 温度管理
自定 纯水
司
PP-N
50℃±5℃
公
限 有触摸屏直接管理时间
功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警 时间控制范围 1 秒
有 2.4kW，40kHz.
OMRON 温度控制器电子控制
3.2.10 控制面板铭板包括：装置名称，各开关动作标注等
苏3.2.11 部件标注铭板包括：各部件的名称，气体及液体流动方向等 3.2.12 涂装要求：各部分使用耐腐蚀性涂料涂 2 回以上，表面涂装光洁无凸点等
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苏州聚晶科技有限公司
地址：苏州市相城区太平工业园顺乐路 9 号
Tel：0512-65436999
2.工艺流程
2.1 被清洗物 硅料多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等
2.2 工艺流程
1# 2# 3#
上料平台 浸泡
碱液清洗 超声清洗
司
回收料
公 进料检验
限
有
4#
酸液清洗
技 多晶硅
5#
科 纯水清洗
晶 6#
酸液清洗
聚7#
纯水清洗
州 8#
超声漂洗
苏
9#
氮气热吹
下料平台
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2.3 工艺细节：
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Fax:0512-65997431
E-mail:jkinfo@chnjktech.com http://www.chnjktech.com
位置
9#槽
处理方式
热风循环
处理液 处理温度 槽材质 时间管理
苏州聚晶科技有限公司以雄厚的设计力量为支持，以先进的生产工艺和制造工艺为保证，
根据客户要求，专业设计制造各类非标机械，各类晶体腐蚀专用处理设备，各类环保清洗设备，
各类环保超声波清洗机，各类自动化生产设备的大型高新技术生产企业，
司 自成立以来，在中国非标设备制造领域以高科技，高品质的产品树立良好的市场形象，同时
酸液
RT
PVDF 排掉
司 公 限
4.3.6 清洗槽 位置 处理方式 处理液
5、7#槽 鼓泡+旋转 纯水
有 技
处理温度 槽材质
科 RT
PP-N
时间管理
晶有触摸屏直接管理时间
功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警
聚时间控制范围 1 秒
州
苏
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4.3.7 氮气吹干槽
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3.设备技术参数
3.1 清洗工件要求
3.1.1 名称
硅料
3.1.2 材质 3.1.3 节拍 3.1.4 清洗篮外形尺寸 3.1.5 清洗篮负荷重量
是我们莫大的荣幸，我们将以最优质的服务回报贵公司！
聚 州 苏
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3. 清洗工作过程由 欧姆龙系列 PLC 控制。
4.
聚 清洗作业员将装满工件的清洗篮放置在进料台上，清洗篮根据设定的程序，自动
依次送到各工位，对工件进行清洗、漂洗，漂洗后的工件由链条传输到下料位， 由链条送出，最后由作业员将清洗篮取走。
州 1.4 设备基本动作分析 →欲处理工件装篮放于上料台上，通过链条传送，经上料位置上料
3.2.6 非常停止开关设置：在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关，作业岗位操
作开关旁须明显设置有非常停止开关
聚 3.2.7 压缩空气：压力 5±0.5kgf /cm2，接管口径 1/2″
3.2.8 环境要求：空气温度：5-40℃ 相对湿度：﹤90%
州 3.2.9 主铭板包括：设备名称，型号，厂家，出厂编号，出厂日期，简要电气参数等
控制回路：DC24V 3.2.3 生产能力：~240pcs/h
技 （节拍 20min/篮, 每篮一根晶棒 ）
科 3.2.4 电气性能：E 级，并有良好的接地，抵抗 500MΩ以上
3.2.5 会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩，有人员作业岗位使用双
晶 开关启动作业，易对人造成伤害部分设置光电安全门
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工序名称
方式
介质
温度
时间 加热功率
1
浸泡
2 超声波碱液清洗
3
超声波清洗
服务热线：0512-65436999
传真号码：0512-65997431
电子邮箱：jkinfo@chnjktech.com
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Si ~15min/篮（每篮放 40Kg）
司
公 L730 * W410 * H200mm(以实际设计为准)
max60kg
3.2 设备基本要求 3.2.1 设备形式：室内放置型
限
有 3.2.2 机械手平移速度：10~16 m / min
3.2.2 电源：~80kW(max)，以最终设计为准 三相 380±10%，50Hz（5 线制）,操作
酸液清洗
鼓泡+旋转
技HF+HCL
RT
~60s
7
纯水漂洗
8
超声波清洗
科 鼓泡+旋转+溢流
纯水
晶鼓泡+旋转+溢流
超声波：2.4kW /40kHz
纯水
RTBaidu Nhomakorabea
~5min
RT
~90s
9kW
聚 9
氮气热吹
N2
注：各清洗槽加热功率按预热升温 40 分钟计(温升 50℃)
70℃
~60s
14kw
州
苏
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4.3.5 酸液清洗工位
位置
4、6#槽
处理方式
旋转+鼓泡
处理液 处理温度 加热方式 加热功率 槽材质 溢流
司 公
限 3.3.8 设备状态指示灯：设备要有明确的指示灯显示设备运转状态
有 4 设备基本组成
技 4.1 本设备是一个全自动的处理设备，工作过程由欧姆龙系列 PLC 控制。设备主要由
以下几部分组成。 移载机械臂
科
清洗本体 上下料台
晶
聚 控制电柜
4.2 移载机械臂
州 4.2.1 升降部分 刹车马达
苏滚珠丝杆 直线导轴 带座直线轴承
西门子伺服电机 SFU3520-4(附图) SFC30(φ30) SC30uu
负荷
100kg
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4.2.2 平移部分 刹车马达
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Fax:0512-65997431
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3.3 控制系统主要功能
3.3.1 欧姆龙系列 PLC 控制，彩色触摸屏操作
3.3.2 报警、设备各项参数检测
3.3.3 具备低水位保护功能 3.3.4 自动手动转换开关 3.3.5 加热器、马达等开关 3.3.6 清洗时间、温度、传动速度调节器 3.3.7 紧急停止开关
西门子伺服电机
齿轮、齿条
模数 m=2.5
带座直线轴承 导轨 4.3 清洗本体 4.3.1 纯水浸泡工位
位置 处理方式 时间 鼓泡 处理液 槽材质 温度 时间管理
溢流
SBR30UU SBR30S2
司
1#槽 鼓泡+旋转+快排 自定 CDA 纯水
公 限 有
技 2mmSUS316
RT
科有触摸屏直接管理时间
功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警
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全自动硅料清洗机
JK-CS-GLL
司
公
限
技术说明书
有 技
科
晶
聚
州 设备制造商： 苏州聚晶科技有限公司 苏设备交货期： 见合同
苏→经过机械手传输到各清洗槽进行处理 →由下料工位输入下料位，
→将已经处理过的工件人工转移
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公司大力扩展与国内各企业研究所的合作，积极吸取国际先进技术，争取成为具有国际水准的专
业精密设备设计制造公司。
公 经过多年的努力，公司已经发展成大型的专业精密机械设备生产企业，我们的设备制造工艺
更加精致，技术设计水平更加先进，不断向市场推出新的高品质，高档次，高技术的产品，赢得
限 了国内外客户的信赖与支持。我们涉及的行业包括硅芯、硅棒、硅料、清洗腐蚀设备，硅片超声
公 限
有 该设备主要由上料台、清洗部分、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控部
分组成。
技 设备走向：方案图按 “左进右出”方式，(客户自选)工件由作业员在左边上料，
经清洗后，作业员在右边下料。
科 1.3 设备描述
1. 此装置是一个全自动的处理设备。
晶 2. 10.4 英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作。
晶时间控制范围 1 秒 1#槽溢流排走
聚
州
苏
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技
4.3.4 碱液清洗工位 位置
科3#槽
处理方式 处理液
晶超声波+旋转+循环 碱液
聚 处理温度
加热方式
50℃±5℃（可调） 不锈钢在线加热器直接加热
州加热功率 槽材质
苏 超声波 溢流
9KW（4.5kW/支） 2mmSUS316 2.4kW，40kHz. 回循环槽
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技 专用设备/磁性材料等行业，得到了用户的一致好评。 非晶硅镀膜前清洗/TCO 膜清洗等填补国内生产技术空白。 我公司广泛采用国外技术，走在国内同行业的前列。这些产品一经推出即获得国内外客商的
科 一致好评。 “质量为本，科技创新，诚信守约，顾客满意”是我们一贯的原则，竭城欢迎各界新老朋友
晶 垂询惠顾。 再次感谢贵公司选择苏州聚晶科技有限公司的专用处理设备，贵公司能成为我们的用户，
波清洗、全自动硅片切片后腐蚀清洗装置、全自动单晶硅/多晶硅扩散前腐蚀、清洗装置、全自动 单晶硅/多晶硅扩散后去氧化层磷硅玻璃装置、石英管、石墨舟全自动清洗装置。硅片插片机、刻
有 蚀机、扩散炉、ＰＥＣＶＤ、半自动丝网印刷及供酸系统。石墨/发动机/压缩机/轴承/电子/花纤/
油嘴油泵/ 在光学行业 / 五金行业 / CRT 专用设备 / LCD TFT 专用设备 / ITO 专用设备 / PCB
4
酸液清洗
鼓泡+快排+旋转
超声波：2.4kW /40kHz 鼓泡+旋转
超声波：2.4kW /40kHz 鼓泡+旋转
鼓泡+旋转
纯水 NaOH 纯水 HF+HNO3
RT
~5min
50℃±5
司
℃ 50℃±5
公~5min
9kW
~5min
9kW
限℃
RT
~50s
5
纯水清洗
鼓泡 +旋转+溢流
有 纯水
RT
~30s
6
1.概述
1.1 设备概要
A．清洗对象：多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等
B．材质 ：Si C．生产能力 ：~160Kg/hr
司
D．节拍 ：~15min/篮(用户自定，可调) E．清洗篮外形有效尺寸 ：L730 * W410 * H200（mm） F．清洗篮装载能力 ： 40Kg / 篮 G．清洗介质：碱、酸、水 1.2 设备组成