垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜

垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜

刘英明;徐静;钟少龙;翟雷应;吴亚明

【期刊名称】《光学精密工程》

【年(卷),期】2013(021)002

【摘要】提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜.理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜.制作的扫描镜镜面尺寸为3 mm×2 mm,谐振频率为1.32 kHz.测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64 nm；扫描镜在驱动电压为95 V时可以实现最大2.4°的扭转角度；测得其开启时的响应时间为1.887 ms,关断时的响应时间为4.418 ms.

【总页数】8页(P400-407)

【作者】刘英明;徐静;钟少龙;翟雷应;吴亚明

【作者单位】中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海200050;中国科学院大学,北京100039;中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海200050

【正文语种】中文

【中图分类】TH703

【相关文献】

1.无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 [J], 翟雷应;徐静;钟少龙;吴亚明

2.基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征 [J], 栗大超;吴文刚;袁勇;郝一龙;胡小唐

3.梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响 [J], 乔大勇;杨璇;夏长锋;曾琪;潘春晖;练彬

4.一种垂直梳齿驱动V型梁微镜设计 [J], 李晓莹;孙瑞康;燕斌;乔大勇

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