mems 梳状驱动
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
mems 梳状驱动
MEMS梳状驱动是一种利用MEMS执行器改变波导光栅耦合器梳齿之间的间距的技术。它的工作原理是：梳状驱动执行器的水平致动拉伸了悬浮的光栅，改变了光栅梳齿之间的距离，从而导致光栅的面外角发射发生变化。
MEMS梳状驱动在谐振MEMS陀螺上有重要应用，它可以测量谐振频率和Q因子等参数。在光束操纵领域，研究结果显示，在1550 nm波长，驱动电压低于20 V，静态功耗低于uW的条件下，光束转向可达5.6°。