多晶硅的生产工艺及研究

多晶硅的生产工艺及研究

毕业论文（设计）

2012 届

题目多晶硅的生产工艺及研究专业

学生姓名

学号

小组成员

指导教师

完成日期2012年4月8日

毕业论文（设计）任务书班级 02、4、8

1、论文（设计）题目：多晶硅的生产工艺及研究

2、论文（设计）要求：

（1）学生应在教师指导下按时完成所规定的内容和工作量，最好是独立完成。

（2）选题有一定的理论意义与实践价值，必须与所学专业相关。（3）主题明确，思路清晰。

（4）文献工作扎实，能够较为全面地反映论文研究领域内的成果及其最新进展。

（5）格式规范，严格按系部制定的论文格式模板调整格式。

（6）所有学生必须在月日之前交论文初稿。

3、论文（设计）日期：任务下达日期 2012年2月17日

完成日期2012年4月8日4、指导教师签字：

毕业论文（设计）成绩评定

报告

序号评分

指标

具体要求

分数

范围

得

分

1 学习

态度

努力学习，遵守纪律，

作风严谨务实，按期完

成规定的任务。

0—10

分

2 能

力

与

质

量

调

研

论

证

能独立查阅文献资料及

从事其它形式的调研，

能较好地理解课题任务

并提出实施方案，有分

析整理各类信息并从中

获取新知识的能力。

0—15

分

综

合

能

力

论文能运用所学知识和

技能，有一定见解和实

用价值。

0—25

分

论

文

（

论证、分析逻辑清晰、

正确合理，

0—20

分

设计）质量

3 工作

量

内容充实，工作饱满，

符合规定字数要求。绘

图(表)符合要求。

0—

15分

4 撰写

质量

结构严谨，文字通顺，

用语符合技术规范，图

表清楚，字迹工整，书

写格式规范，

0—

15分

合计

0—

100

分

评语：

成绩：

评阅人（签

名）：

日

期：

毕业论文答辩及综合成绩

答辩情况

自述情况清

晰

、

完

整

流

利

简

练

清

晰

完

整

完

整

熟

悉

内

容

基

本

完

整

熟

悉

内

容

不

熟

悉

内

容

提出问题

回答问题

正

确

基

本

正

有

一

般

有

原

则

没

有

回

确性

错

误性

错

误

答

答辩小组评语及建议成绩：

答辩委员会综合成绩：

答辩委员会主任签字：

年月日

多晶硅的生产工艺及研究

学号姓名

摘要：多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境友好，在

前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅加工成SiHCl3，再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCl3和HCl经过分离后再循环利用。硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗的流化床中，是硅烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅，也可以生产太阳能级多晶硅。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法和区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅的。区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到太阳能级硅的。

关键词：多晶硅，西门子法，硅烷法，冶金法，

太阳能电池

目录

1 多晶硅简介 (1)

1.1多晶硅的定义及性质 (1)

1.2多晶硅的利用价值 (1)

2 多晶硅的生产工艺 (2)

2.1工艺原理 (2)

2.2生产工艺方法 (2)

2.2.1 西门子法 (2)

2.2.2 硅烷法 (3)

2.2.3 流化床法 (4)

2.2.4 冶金法 (6)

3 多晶硅尾气回收工艺研究与发展 (8)

3.1回收方法 (8)

3.1.1 湿法回收 (8)

3.1.2 干法回收 (8)

3.1.3 膜分离回收 (9)

4 多晶硅质量影响因素的分析 (11)

4.1原料对多晶硅质量的影响 (11)

4.1.1 三氯氢硅对多晶硅质量的影响 (11)

4.1.2 氢气对多晶硅质量的影响 (11)

4.2反应温度的影响 (11)

4.3混合气配比的影响 (12)

4.4设备洁净条件的影响 (12)

4.5其他 (12)

5 多晶硅生产工艺的危险及有害因素 (13)

5.1多晶硅生产过程中化学物质的危险特性 (13)

5.2工艺过程危险、有害因素分析 (13)