热膜式气体流量传感器优势分析

热膜式气体流量传感器优势分析

气体流量传感器在现在社会中占有着非常重要的地位，应用广泛，极大的影响着社会各行各业的发展。如工业生产、科学实验、保证产品质量、提高生产效率、节约能源、促进科技的发展等方面都有很重要的作用。

气体流量传感器种类繁多，目前，气体流量传感器的种类比较多，有截流式、容积式、涡街式、电磁式、热式、超声波式等若干种。多数是采集流体的温度、压力等信号，再换算成流量。但由于气体流动状态不稳定，使其流量测量准确性受到影响。而由美国的科学家发明的插入式托马斯热式气体流量传感器，为流量的测量带来了一场革命，实现了直接测量流体质量流量的目的。

热膜式气体流量传感器优势分析，随着MEMS技术的发展，使生产具有小体积、低成本、批量制造、稳定性好、功耗低等特点的热膜式气体流量传感器成为可能，因此从问世到如今，伴随着MEMS技术的发展，其一直都在飞速发展。小而强的产品是当今社会所急需的产品，而采用MEMS工艺制造的产品，正好能满足社会的这一需要。热模式流量传感器体积的小型化，检测性能的提高，将对社会的发展做出积极的贡献。

放眼国内，很多技术还不成熟，国内市场上大部分的产品都是进口而来。在国外，主要有瑞士、荷兰、欧美和日本等技术发达的国家，凭借他们先进的半导体技术大力发展热式流量传感器，并已取得了喜人的成果刚。但总的看来，目前市场上这类产品相互不兼容，产品还

没有实现商业化，应用也没有普遍化，高精度符合客户要求的热式气体质量流量传感器尚在进一步的研究中。

热膜式气体质量流量传感器成为一种正在发展且具有广阔前景的新技术产品。是一种性能良好且价格便宜，现已取代进口的产品。