北京七星华创电子

4、质量流量控制器直接与计算机连接的接线方 法。
如果是MFC/MFM直接与计算机连接，需要用户自己 如果是MFC/MFM直接与计算机连接，需要用户自己 提供±15V电源（要求电源抗干扰能力要强）；将 提供±15V电源（要求电源抗干扰能力要强）；将 “设定”线接计算机D/A输出；将“流量检测”线 设定”线接计算机D/A输出；将“流量检测” 接计算机A/D输入端；“信号地” 接计算机A/D输入端；“信号地”线接外部信号参 考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“ 考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“电源 地”，分别引线，一起接在±15V电源的公共端。 ，分别引线，一起接在±15V电源的公共端。 5、调零 首次使用或工作一段时间后，若发现零点偏移, 首次使用或工作一段时间后，若发现零点偏移, 可以 调整。能通过外罩上进气口侧面的调零孔调整, 调整。能通过外罩上进气口侧面的调零孔调整,也可 揭开外罩调整。注意：调零时流量管路不能通气 （或将阀门关闭）；必须在开机预热15分钟以上， （或将阀门关闭）；必须在开机预热15分钟以上， 待流量计零点稳定以后进行。通常除调零电位器外， 其它电位器不得轻易调整。
转换系数使用说明 质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用N2标定， 质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用N2标定， 实际使用中如果是其它气体，必要时可进行读数修正， 方法是以流量显示仪显示的流量乘以流量转换系数。 如是单组份气体，其转换系数可在我厂产品技术说明 书中查得，也可以根据下面的基本公式计算；如是多 组份气体（假定由n 组份气体（假定由n种气体组成），请按下列混合气 体公式计算其转换系数C 体公式计算其转换系数C： 基本公式： C=0.3106 N /ρ(Cp) 其中： ρ——为气体在标准状态下的密度 ——为气体在标准状态下的密度 CP——为气体的定压比热 CP——为气体的定压比热 N ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组 ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组 份有关, 份有关, 见说明书）
D07-7B引脚定义
图2.7B型质量流量控制器结构图 2.7B型质量流量控制器结构图
D型插座 锁紧螺母 电路印制板 调零电位器 传感器 出气接头 电磁调节阀
进气接头
流量通道
3、通过显示仪与计算机（或其他外部信号）的 连接方法。
用户要检测流量输出信号时，将线引至显示仪 外控信号插座的“流量检测” 外控信号插座的“流量检测”和“信号地”。 信号地” 也可直接与计算机的A/D转换器连接，+5V输 也可直接与计算机的A/D转换器连接，+5V输 出电压对应MFC满量程值。若流量设定使用 出电压对应MFC满量程值。若流量设定使用 外部信号，应将转换开关打到外设并从显示 仪上的外控信号插座送入0~5V外设电压。也 仪上的外控信号插座送入0~5V外设电压。也 可直接与计算机的D/A转换器连接，实现自动 可直接与计算机的D/A转换器连接，实现自动 控制。如果用户还需要实现关闭和清洗功能， 可以 用两个继电器转换触点来实现，一个控 制关闭，一个控制清洗，两个都不动作则为 自动控制。
调节阀 分流器通道 入口 出口
图1
D07系列质量流量计 D07系列质量流量计/控制器设计原理 系列质量流量计/
被测气体被分成两路：一路通过流量管道，另 一路通过毛细传感器管，两个管路都已被设计 确保它们中气体的流率是相同的，传感器管道 上有两个精密的热敏电阻，首先它们被加热， 当流动产生时，气体从上游到下游必然会带走 热量，而温度的结果和热敏元件电阻的改变量 是成比例的，0~5V或4~20mA信号送到流量计 是成比例的，0~5V或4~20mA信号送到流量计 算仪，然后指示出被测气体的流量
质量流量控制器耐压与工作压差的区别
所谓耐压是指质量流量控制器在正常工作状态 下所能承受的最大压力。超过此压力可能导 致流量控制器泄露甚至损坏流量计。 所谓工作压差是指质量流量控制器在正常工作 时进气端与出气端的压力之差，要求气源压 力差要保持稳定，以确保能在此条件下工作。
质量流量控制器的操作
1、开机操作 使用时主要操作在流量显示仪上进行。阀门控制 开关及流量设定电位器在前面板上，流量设定的 内部或外部信号选择开关一般在后面板上。当设 定选择开关打到“ 定选择开关打到“内”时，用设定电位器设定流 量，打到“ 量，打到“外”时，由外部信号设定流量（参见 流量显示仪的使用说明书）。
D07系列质量流量计操作事项 D07系列质量流量计操作事项
1、质量流量控制器输出信号与流过通道的气体的 流量是成正比例的，在满量程时流量检测电压信 号是+5V，我公司生产的D07系列的质量流量控 号是+5V，我公司生产的D07系列的质量流量控 制器的量程比为50 制器的量程比为50 ：1，在量程比范围内，质量 流量控制器流量呈线性变化，低于或超出量程比， 流量是非线性的，甚至流量显示仪所显示的流量 是不准确的。其流量检测电压输出值可能达到 +10V，所以当质量流量控制器的阀控开关置于 +10V，所以当质量流量控制器的阀控开关置于 清洗位置时，显示流量不准确，而且可能出现流 量增大显示反而减小的异常现象。但是这种现象 不会对流量控制器本身造成损害。
2、预热操作 先将质量流量控制器与显示仪接好，关闭气源， 上电待15分钟后观察零点飘移情况，如果零点 上电待15分钟后观察零点飘移情况，如果零点 有便宜，则先应该对流量控制器进行调零操作。 零点调整好后，打开气源，开始工作。 3、操作顺序 操作时应先打开电源，并将阀控开关置于关闭 挡，将设定电位器设置为零，再开气，待零点 稳定后，将阀控开关打到阀控位置，然后再将 设定电位器调制所需的值，这种操作方式无过 冲。
f.标定和不同气体的换算 f.标定和不同气体的换算 本流量计出厂通常用氮气（N2）标定。如果要求用 本流量计出厂通常用氮气（N2）标定。如果要求用 使用气体标定, 使用气体标定, 需要在订货时与销售人员特别申明。 用氮气标定的流量计用户使用其它气体时, 用氮气标定的流量计用户使用其它气体时, 可以通过 附录 9.1 的转换系数进行换算, 算出被使用气体的流 的转换系数进行换算, 量。将质量流量控制器显示出的流量读数，与某使用 气体的转换系数相乘，即得该被测气体在标准状态下 的质量流量。 例如：一个出厂标定为1000 例如：一个出厂标定为1000 SLM(N2) 的 MFC，通甲 MFC，通甲 烷气体时显示的流量为860 SLM， 从附录9.1 烷气体时显示的流量为860 SLM， 从附录9.1 查得甲 烷的转换系数为0.719，则甲烷的实际流量为 烷的转换系数为0.719，则甲烷的实际流量为 860×0.719即618.3 SCCM。 860×0.719即 SCCM。 用户使用混合气体，可以通过公式法, 用户使用混合气体，可以通过公式法, 计算出混合气 体的转换系数 。具体公式如下：
D07系列质量流量控制器安装与接线 D07系列质量流量控制器安装与接线
1、为确保质量流量控制器计量精度，在用户 没有特殊要求情况下，我公司按水平方向 进行标定，也可根据用户需要进行垂直或 平趴标定，质量流量控制器应安装在无射 频源干扰、无振动的环境中。如果工作环 境有射频干扰，则需要采取必要的屏蔽措 施，干扰有传导和辐射两种。
+ 5 .0 0 V
流量显示仪
设定
(0 ~ + 5 .0 0 V )
1 0 0 .0
流量显示 电源 +15V 0V -15V 内
~220V
外
(0 ~ + 5 .0 0 V ) COM
设
定
百度文库
流量检测 0 电 平
out
se t
质量流量计
放大器
质量流量 控制器
+15V
关闭 驱动 阀控 清洗
比较器
I
传感器
-1 5 V
2、用户对质量流量控制器的控制操作是PLC上进 、用户对质量流量控制器的控制操作是PLC上进 行，PLC有显示、设定以及提供电源的作用。用 行，PLC有显示、设定以及提供电源的作用。用 户也可以自己提供电源。当用户自己提供电源时 必须提供+15V和 必须提供+15V和-15V 的电源、0~5V的设定信号、 的电源、0~5V的设定信号、 流量检测信号。与我公司配套的显示仪面板上有 一个三位阀门控制开关，当打到关闭时，质量流 量控制器的阀门关闭，当打到清洗时，阀门开到 最大，可以清洗气路，只有打到阀控时，才可以 对质量流量控制器进行流量控制。
d.阀口密封问题 d.阀口密封问题 质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当 截止阀使用, 截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户如果使用 腐蚀性气体, 腐蚀性气体, 通常应该在质量流量控制器进出气口各加 一个截止阀, 一个截止阀, 以保证工作安全。 e.注意工作压差 e.注意工作压差 对于质量流量控制器要特别注意工作介质的气压，应 注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范 围之内。特别是在高压下工作时，气压差过大，流量 将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器 时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压 差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。
北京七星华创 电子股份有限公司 流量计分公司
产品使用说明及相关事项
D07系列质量流量控制器工作原理 D07系列质量流量控制器工作原理
1. 流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测 量气体的质量流量(无需温度压力补偿) 量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感 器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放 大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将 差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流 过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器 决定主通道的流量。D07系列质量流量控制器与 决定主通道的流量。D07系列质量流量控制器与 流量显示仪连接后的工作原理如图所（1）示 流量显示仪连接后的工作原理如图所（1
注意事项 a.禁用流量介质 a.禁用流量介质 b.使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时， b.使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时， 须在气路中加装过滤器等。如果流量计出口接有液体 源瓶, 应在流量计出口加装单向阀, 源瓶, 应在流量计出口加装单向阀, 防止液体回流损坏 流量计。 c.使用腐蚀性气体问题 c.使用腐蚀性气体问题 控制器通道采用的材料为: 控制器通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于 (相当于 316L不锈钢) 聚四氟乙烯, 316L不锈钢) , 聚四氟乙烯, 氟橡胶等耐蚀材料。在用 户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下, 户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下, 可以用于控制一般的腐蚀性气体。使用氨气、有机溶 剂蒸汽（如丙酮等）或其它强腐蚀性气体（如BCl3、 剂蒸汽（如丙酮等）或其它强腐蚀性气体（如BCl3、 BBr3等）的用户，应在定货时声明。 BBr3等）的用户，应在定货时声明。
4、阀控功能 当阀开关置于“阀控”位时, 当阀开关置于“阀控”位时, 用户也可通过外控信号 插座上的“阀控”线控制阀门, 当阀控线接+15V时， 插座上的“阀控”线控制阀门, 当阀控线接+15V时， 阀门关闭；当阀控线接-15V时，阀门开到最大，处于 阀门关闭；当阀控线接-15V时，阀门开到最大，处于 清洗状态；当阀控线悬空时，阀门处于自动控制状 态。 在操作阀门进行“清洗”后，不得直接转至“阀控” 在操作阀门进行“清洗”后，不得直接转至“阀控” 位工作，必须先将阀门置至“关闭” 位工作，必须先将阀门置至“关闭”位，然后再转至 “阀控”位工作。 阀控” 5、关机操作 切断电源后，流量自动截止。最好先关气（将阀控开 关置于“关闭”位和关闭气路中的截止阀）, 关置于“关闭”位和关闭气路中的截止阀）, 后断电 源。 6、通气工作: 待零点稳定后, 即可通气工作。注意观察 、通气工作: 待零点稳定后, 气体流量, 气体流量, 最好不要超过满量程使用。