电子封装电迁移

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在对电子封装软钎焊后的元器件和系统结构进行可靠性和耐久性评价以及寿命预测时, 需要考虑的因素很多,如封装钎料的可焊性、强度、抗氧化性、抗冲击性能、蠕变及应力松弛特性、腐蚀特性、疲劳特性等。

电迁移通常是指在电场作用下使金属离子发生迁移的现象。分别为发生在相邻导体表面的如常见的银离子迁移和发生在金属导体内部的金属化电子迁移。

金属电迁移失效,通常是指金属层因金属离子的迁移在局部区域由质量堆积(Pileup)而出现小丘(Hillocks)或品须,或由质量亏损出现空洞(V oids)而造成的器件或互连性能退化或失效。通常在高温、强电场下引起。

电迁移引起器件失效形式:短路、断路、参数退化

在众多电子封装技术中,迅速发展的倒装芯片( Flip chip)工艺作为新一代封装技术则刚好可以满足越来越多的I/O互连的封装要求,因而广泛地用于微处理器、无线电子消费产品等电子封装中;伴随而来是,倒装芯片微互连焊点中的电迁移问题则成为微电子器件可靠性和耐久性的关注焦点之一。

铝导线中存在电迁移破坏,这种破坏是由于晶界扩散所致。单晶的电迁移是通过晶格扩散完成,而多晶则为晶界电迁移方式,单晶导线相对于多晶导线而言性质更加均匀,所以在相同条件下,单晶铝导线的寿命高于多晶铝导线。

铜基合金电迁移失效主要是表面扩散,合金中晶体微结构对电迁

移的影响不大。铜及其合金中最容易发生电迁移的地方是铜引线上部与SiC等电介质层相交接的地方。

一旦互连线中形成了空洞,电流通过的截面积就会缩小,从而导致空洞邻近区域的电流密度增高,我们称之为电流拥挤效应。

电流通过导体时电能转化成热,把这种现象叫做焦耳热效应。焦耳热效应会在焊点(凸点)中产生热点(hot-spot),有时甚至会使焊点产生部分熔化现象。另外,局部焦耳热会造成钎料凸点中存在很大的温度(热)梯度,从而引发热迁移。

电子封装中常采用贵金属或近贵金属作为UBM(Under Bump Metallization凸点下金属化层)它们以间隙扩散方式快速扩散,而目前的钎料主要以Sn基为主,在室温下这些贵金属或近贵金属即可与Sn反应而在界面生成金属间化合物( IMC)。在电流作用下,焊点阴极处电子从IMC流向钎料,而阳极处电子流动方向则刚好相反,所以电迁移加速了阴极IMC的分解,贵金属或近贵金属在阴极迅速溶解后向阳极扩散而促进了阳极IMC的形成,这就是所谓的极化效应。

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