半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水(PCW)系统施工规范

半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水（PCW）

系统施工规范

目录

1.一般说明

2.产品.材料说明

3.施工说明

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1. 一般说明

1.1. 说明

3 台泵浦扬程103 m 75kw 流量5000 LPM , sus 30

4 本体,主管φ225A sus 304 40s 保

温。缓冲水槽sus 304, 衔接RO 或DI 水。过滤器sus304 ,5 μm(标准滤材) , pou 7 kg/c

㎡。

制程冷却水系统,供应机台16℃供应21℃回水稳定冷却水系统, 冷却机台温度。

本规范适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要求。1.2.工程范围

制程冷却水系统:泵浦组,桶槽, 板式热交换器(配合冰水系统),管路,PLC 控制系

统,

1.2.1.本案工程范围包含运送安装、及测试调整以下之制程冷却水系统：

1.2.1.1 制程冷却水泵浦。

1.2.1.2.板式热交换器。

1.2.1.3.制程冷却水泵浦防振基座之安装与调整，防振基座需包含避振弹簧基座及。

1.2.1.4.缓冲水槽及附属管路。

1.2.1.5.制程冷却水过滤器。

1.2.1.6.所有控制组件及控制管线。

1.2.1.7.所有水泵之动力配线。

1.2.1.8. 防止结露之必要保温。

1.3.标准及法规

1.3.1.各设备应符合下列任一项标准：

1.3.1.1.ASTM

1.3.1.

2.lSO

1.3.1.3.ANSL

1.3.1.4.NEMA

1.4.送审资料

1.4.1.送审设备型录、尺寸图、材质和电气规格表。

1.4.

2.送审系统负荷运转分析(SYSTEM PROFILE ANALYSlS)如下：

1.4.

2.1.多台泵浦并联运转性能曲线图(PARALLEL PUMPlNG CURVES)

1.4.

2.2.系统运转特性图(SYSTEM CURVE)

1.4.

2.

3.系统并联衔接点(PUMP STAGlNG POINTS)

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1.4.3.泵浦用于开放系统时，应标示净正吸水头需求(NPSHR)。

1.4.4.P.C.W 系统图及系统设备表，并附上P&ID.系统控制说明。

２. 产品.材料说明

2.1 制程冷却水泵系统

2.1.1.水泵浦型式为单段端吸式。

2.1.2.泵浦外壳为不锈钢制(SS304)，泵浦叶轮为半开放，经水力及机械平衡之不锈钢

(SS304)叶片，确保安静与平滑之操作，泵壳并附有释压平衡孔(PRESSURE RELlEF

BAlANCE HOLES)。

2.1.

3.水泵轴封为机械轴封，材质可为钢材及耐磨合成橡胶或同等功能之产品，轴承框架

的组合须组配与电动马达同一等级，滚珠轴承以薄雾润滑(OILMlST LUBEICATlON)，以

确保运转时的平滑与安静。

2.1.4.联结头须为柔性并能吸收起动时之扭转振动，在马达与泵浦轴连接时需经准确的校

准。联结头需附保护盖。

2.1.5.马达与泵浦共置且由于重结构钢材焊接并置于水平校准之基座上。

2.1.6.泵浦外壳须有交脚直接支撑于褒浦外壳上，以防止泵浦于维修时，因泵浦外壳的悬

空而造成应变(STRAlN)。

2.1.7.每具泵浦由一定速马达驱动。马达须合于NEMA 之规范。设计速度之泵浦马达制动

马力，不得超出马达之马力。马达全密闭风扇冷却(TEFC)F 级绝缘，且至少有15%之安

全系数。

2.1.8.变频系统(VARIABLE SPEED PUMPlNG SYSTEM)

2.1.8.1.变频系统包括控制器(CONTROLLER)，变频器(ADJUSTABLE FREQUENCY DRlVE)，

压差传送器(DIFFERENTlAL PRESSURE SENSOR/TRANSMlTTER)流量传送器(FLow

SENSOR/TRANSMITTER)及其它各厂家可提供之标准配备。该变频系统应于原厂执行

全功能测试合格后并检附相关之证明文件方可出厂。

2.1.8.2.马达在正常运转下以变频器控制，当变频器故障或检修时，需可自动及手动切

换至旁路起动。当马达超过3OHP(含)以上，则旁路启动需以Y-启动。

2.1.8.

3.变频器

2.1.8.

3.1.变频器之箱体应符合NEMA1 之有关规定且3～3OHP(含)采墙挂式安装，

3OHP 以上落地式按箱体装需设计并需附排风扇。

2.1.8.

3.2.应为Wl 或PWM 系统用于驱动鼠笼式感应马达，使噪音度需符合IEEE 和FCC

规定。

2.1.8.

3.3.符合NEMA 及IEEE 或其它同等之规定。

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2.1.8.

3.

4.周围环温允许值为，10 至40℃而相对湿度为95%不冷凝的情况。

2.1.8.

3.5.全速时之效率为及其功率因子应在90%以上。

2.1.8.

3.6 .以下功能为设计基准各厂家应提供相对功能：

2.1.8.

3.6.1.Current limit to 110%of drive rating

2.1.8.

3.6.2.Phase to phase short circuit

2.1.8.

3.6.3.Phase to ground short circuit

2.1.8.

3.6.

4.Phase rotation insensitive

2.1.8.

3.6.5.Current limit protection

2.1.8.

3.6.6.Over voltage protection

2.1.8.

3.6.7.Under voltage protection

2.1.8.

3.6.8.Over temperature protection

2.1.8.

3.6.9.Ground fault protection

2.1.8.

3.6.10.input disconnect switch

2.1.8.

3.6.11.Variable overload to protect motor from excess cu『rent at low speed