半导体晶圆搬运洁净机械手臂项目路演PPT-北京锐洁机器人科技有限公司
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Reje project introduction 半导体晶圆搬运洁净机械手臂
锐洁项目介绍
目 录
02 03
项目概述商业模式
应用案例
04
01关于我们
市场前景05
关于我们
+
半导体高端制造行业
+
主营业务：半导体、LED 、液晶设备用洁净机械手臂，包括真空和大气机械手等，半导体集成设备包括EFEM 、Sorter 等
+经营理念：“真诚、协作、学习、创新” ，为客户及行业实现更高价值
+
时间：成立于2013年
地点：总部位于北京经济技术开发区，苏州设有华东办事处，预计2016年成立深圳华南办事处
生产基地
强调类型图表关于我们
+
优
秀留学创业团队
+行政总监：刘冬梅（英国留学经历）
1、国外专修国际贸易及经营管理
2、回国创办成立空气净化设备公司，拥有丰富实际经营管理经验
+
2014年董事长与诺贝尔物理学奖获得者中村修二博士合影
董事长：周卫国（日本留学经历）
1、半导体行业20年从业经验
2、作为第一发明人获得国内外13项 发明专利
3、国外研发的大型液晶面板搬运机械手臂获得成功
4、协助国内厂家完成中国第一台国产LED 刻蚀机的 研发和
市场化工作
强调类型图表关于我们
+自主知识产权
发明专利：（机械手臂相关专利）
公司拥有机械手臂核心技术，数十项发明专利，能够
自主研发生产半导体高端机械手及集成设备
专利名称专利号
真空装置P 2002-28469 A 一种基片处理系统及其机械手臂装置ZL 2009 1 0242381.3
一种基片处理系统及其机械手臂装置CN 102452559 A
传送装置及系统CN 102452559 A 基板传输机构和具有它的基板传输系统CN 103287847 A 一种触屏控制与驱动一体化的4轴步进电机闭环控制系统201510077771.5一种利用NFC技术于机械手臂实现通讯的方法201510054128.0 +
关于我们
发明专利：
一种利用NFC技术于机械手臂实现通讯的方法
通过这种技术可以帮助客户非常容易地实现现场机械
手臂状态的采集。
强调类型图表项目概述
Project introduction
机械手臂：旋转轴、升降轴、手臂伸缩轴
电机系统：步进电机闭环控制
采用钢带驱动和直线导轨配合的方式，提升手臂运动轨迹直线性精度，降低加工成本
采用先进步进电机，增加机械式绝对值编码器，实现电机闭环控制，解决丢步问题，提高响应性
整体构造
强调类型图表
项目概述
Project introduction
关键技术
机械绝对值编码器 闭环控制原理电机软件
驱动装置结构设计
钢带加工及厚度优化 部件材质优化与表面处理
本项目的洁净机械手臂关节部的驱动装置采用了钢带和摩擦轮组合方式并且在电机控制方面，为了实现步进电机的闭环控制，综合运用了以上关键技术解决了该问题。
强调类型图表项目概述
Project introduction
3、拥有洁净机械手臂市场的专业技术团队
公司核心技术人员在国内外半导体行业从业20多年，拥有丰富行业经验，技术团队拥有较强创新性，协作互补，综合实力强，能够研发设计出满足客户需求产品
竞争优势
1、拥有电机控制以及手臂结构的核心技术该项目电机的闭环控制技术和手臂结构技术均突破现有技术基础，并通过测试验证，在中国当前市场具有一定得唯一性和前瞻性
2、国内市场最高的性价比优势
使用全新结构手臂技术，降低了加工成本，具有绝对价格优势
4、最佳的市场进入时机
目前国内市场对洁净机械手臂需求量大，机器人产业也成为国家和市政府重点开发和支持领域，公司市场规模稳定增长，在未来10年内，中国半导体行业都将会保持良好的发展态势
强调类型图表项目概述
Project introduction
运用领域
1、可用于半导体PVD，CVD，刻蚀设备等工艺设备内部的晶圆传输，以及
半导体芯片生产线上的晶圆检测设备。
2、具体应用包括在大气环境下从晶圆盒中取出晶圆，并传输上述晶圆到半导体工艺设备的进料室内部，或者在不同的晶圆盒之间传输晶圆。
3、其中真空洁净机械手臂还可以在高真空环境下传输晶圆。通过使用不同的末端执行器本项目产品还可以传输一些特殊的晶圆，比如温度超过600度
的高温晶圆，厚度减薄到100μm以下的减薄晶圆等。
其它产品
公司研发产品主要为大气洁净机械手臂、真空洁净机械手臂以及使用半导体晶圆搬运洁净机械手臂的半导体晶圆及晶圆容器的传输集成设备，具体包括：
1、LED蓝宝石晶圆Sorter(RS-1501）
这款设备于今年上半年研发成功，并已经出厂实现销售。这种设备可以同时对应12个2寸蓝宝石晶圆片盒（每盒最大25片），设备传片效率极高，非常适合生产线上的产品检测等用途。
2、国产首台半导体减薄晶圆Sorter（ RS-1506）
这款设备为国内第一台同类型的国产设备，具有里程碑意义。相对国外的同类型设备，性价比高，为客户节省了大量采购成本，打破了国外设备在中国市场形成的竞争垄断，填补了国内同
类型产品市场空白。
项目概述
Project introduction