PVD真空镀膜机作业指导书
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肃PVD真空镀膜机作业指导书
蒁一.开机
葿1. 检查水路是否畅通,确定冷却塔、激进泵是否正常工
作(水压需达到0.4Mpa以上)。
芃2. 检查气路是否畅通,确定空压机是否正常工作(气压
需达到0.5Mpa)。
袁3.开启电源开关,打开《开机》、《维持泵》开关,待真
空计的热偶计读数在10pa以下时,打开《扩散泵温控仪1、2》,《扩散泵1、2》四个开关。即扩散泵升温(大约1小时左右)。
薁4. 距加热时间约10分钟左右,开启低温捕集器,待6分钟冷却时间过后,按《F1》启动低温捕集器。待温控仪
上的设定温度达到时,即可正常生产操作。
薅二.生产操作
羅1. 确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放
置完毕。
蚀2. 开启《粗抽泵》,将抽气手自动档切换至自动档,打开《自动抽气》开关,待真空室大门吸合即可。
蚁3. 当罗茨泵自动开启时,按低温捕集器《F2》,开启捕集器制冷功能。
羆4. 此操作应工艺的不同而有较大的变化,此处不一一详
述,即为口述。
蒃5. 工艺完成后,关闭电子枪、离子源(必须先归零灯丝
电流,再关电源)等开关,打开《自动充气》开关,待精
抽阀闭合后,将抽气手自动档切换至手动档(此处必需注
意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去
的外,其他开关都不可按下,以免操作失误造成扩散泵暴
露大气!),按捕集器F3,开启回温功能,待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上,打开《充气阀》,待真空室门打开,关闭《充气阀》。(注:《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆)
蚃6. 以上循环,即为正常操作流程。
螁三.停机
莇1. 将真空室门吸合,抽至一定真空,关闭除《停机》开
关的所有开关。(注:此停机开关,正常生产中严禁开启)
膅2. 待真空镀膜机冷却一小时后,方可关闭电源,空压机,冷却塔,激进泵。
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袀
螈注:以上所有操作必须严格执行,未经允
许不可更改,若应操作失误造成镀膜机受
到损坏,影响等因素,操作员将承担相应
责任。
薃
警告:本机器有多处高压变压器,电压高达8KV,为避免安全事故,未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。
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仅供个人用于学习、研究;不得用于商业用途。
For personal use only in study and research; not for commercial use.
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Pour l 'étude et la recherche uniquement à des fins personnelles; pas à des fins commerciales.仅供个人用于学习、研究;不得用于商业用途。
обучения,
исследований
для
и не должны людей,
используются
толькодля
которые
использоватьсявкоммерческихцелях.
For personal use only in study and research; not for commercial use