电子级氢氟酸

电子级氢氟酸

电子级氢氟酸用于超大规模集成电路芯片，太阳能电池，LED和TET-LCD面板制造过程的蚀刻和清洗，原子能工业化学试剂。电子级氢氟酸是集成电路(IC)制造的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗。由于电子级氢氟酸的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响，生产工艺技术要求很高，目前主要依靠进口产品满足国内市场需求。随着世界半导体制造业向中国大陆的逐步转移，国内电子级氢氟酸需求量年增长约10％。电子级氢氟酸也主要供应电子行业，特别是太阳能电池生产厂家。近年来，我国相关行业发展迅速，对电子级氢氟酸的需求也逐年提高。

据悉，国内目前仅有四五家企业生产EL级电子级氢氟酸，属电子级的低端产品，在产量、质量方面与进口产品尚有较大差距。

浙江凯恒电子材料有限公司是巨化股份全资子公司之浙江凯圣氟化学有限公司的控股子公司。致力于含氟系列超高纯微电子化学品的研发、生产、销售和服务，公司拥有目前国内最先进的年产3万吨电子级氢氟酸生产装置，是国内最大的电子级氢氟酸生产商。主要产品：电子级氢氟酸(UP-SS级、UP-S级、UP级，EL级)等系列产品，公司配备ICP-MS和861型离子色谱仪等先进的分析测试仪器，产品性能及各项指标均处于国内领先地位。

浙江蓝苏氟化有限公司是由中化蓝天下属企业浙江蓝天环保高科技股份有限公司与苏威氟控股（亚太）有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金5000余万元。公司位于浙江省衢州高新技术产业园区，专业从事氟化学品的生产和销售。公司现有2万吨/年无水氢氟酸生产线和5000吨/年电子级氢氟酸生产线，其中电子级氢氟酸引进苏威公司技术，填补国内空白。

福建永飞化工有限公司（福建省邵武氟化工厂）公司综合生产能力无水氟化氢56000 吨、高纯超净氢氟酸 15000 吨、硫酸 120000 吨、氟化盐 10000 吨、六氟化硫 600 吨、五氟化碘 60 吨，五氟化锑10吨，企业生产规模在全国氟行业内名列前茅。